分析了微波烧结的原理和特点,并将其引入气敏元件的制备工艺中,研究微波烧结工艺对纯纳米ZnO厚膜阵列元件的气敏性和稳定性的影响。实验表明:微波烧结ZnO厚膜时间越长,厚膜电导和敏感性越小。在20,40,60 min 3种烧结对比中,20 min烧结...分析了微波烧结的原理和特点,并将其引入气敏元件的制备工艺中,研究微波烧结工艺对纯纳米ZnO厚膜阵列元件的气敏性和稳定性的影响。实验表明:微波烧结ZnO厚膜时间越长,厚膜电导和敏感性越小。在20,40,60 min 3种烧结对比中,20 min烧结的元件具有最好的敏感性和最低的最佳敏感温度,60 min烧结的元件具有最好的稳定性。可见微波烧结可以有效调控气敏元件的敏感性和稳定性,是一种值得推广的新的气敏元件的制备技术。展开更多
文摘分析了微波烧结的原理和特点,并将其引入气敏元件的制备工艺中,研究微波烧结工艺对纯纳米ZnO厚膜阵列元件的气敏性和稳定性的影响。实验表明:微波烧结ZnO厚膜时间越长,厚膜电导和敏感性越小。在20,40,60 min 3种烧结对比中,20 min烧结的元件具有最好的敏感性和最低的最佳敏感温度,60 min烧结的元件具有最好的稳定性。可见微波烧结可以有效调控气敏元件的敏感性和稳定性,是一种值得推广的新的气敏元件的制备技术。
