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射频集成微系统技术的发展与典型应用
1
作者 杨进 张君直 +2 位作者 朱健 韩磊 孙斌 《上海航天（中英文）》 CSCD 2024年第4期102-112,共11页
摩尔定律已经逐渐放缓,并越来越逼近其物理极限,但未来的射频系统仍然朝着更高集成度、更高性能、更高工作频率等方向发展,射频集成微系统技术是实现射频系统微型化的核心技术之一。本文首先对射频微系统的发展和现状进行了介绍,重点分... 摩尔定律已经逐渐放缓,并越来越逼近其物理极限,但未来的射频系统仍然朝着更高集成度、更高性能、更高工作频率等方向发展,射频集成微系统技术是实现射频系统微型化的核心技术之一。本文首先对射频微系统的发展和现状进行了介绍,重点分析了美国国防高级研究计划局(DARPA)的微系统发展历程和经典项目,接着对射频微系统的技术路线和解决方案进行了梳理和总结,随后通过一系列典型应用案例,展现了最新的射频集成微系统技术,最后提出了射频集成微系统技术的进一步发展思路。 展开更多
关键词 摩尔定律 射频(RF) 集成 微系统 解决方案
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LiNbO3负极薄膜电化学性能及全固态薄膜锂离子电池应用
2
作者 胡雪晨 夏求应 +5 位作者 岳钒 何欣怡 梅正浩 王金石 夏晖 黄晓东 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2024年第2期89-95,共7页
全固态薄膜锂离子电池具有易微型化与集成化等优点,因此,非常适合为微系统供电。负极对全固态薄膜锂离子电池的性能有重要影响。现有电池通常采用金属锂作为负极,然而其枝晶生长问题及低的热稳定性限制了相应电池在工业、军事等高温、... 全固态薄膜锂离子电池具有易微型化与集成化等优点,因此,非常适合为微系统供电。负极对全固态薄膜锂离子电池的性能有重要影响。现有电池通常采用金属锂作为负极,然而其枝晶生长问题及低的热稳定性限制了相应电池在工业、军事等高温、高安全场合应用。为此,本文系统研究了LiNbO_(3)薄膜的电化学性能,结果表明:LiNbO_(3)薄膜呈现高比容量(410.2 mAh·g^(-1))、高倍率(30C时比容量80.9 mAh·g^(-1))和长循环性能(2000圈循环后的容量保持率为100%),以及高的室温离子电导率(4.5×10^(-8)S·cm-1)。在此基础上,基于LiNbO_(3)薄膜构建出全固态薄膜锂离子电池Pt|NCM523|LiPON|LiNbO_(3)|Pt,其展现出较高的面容量(16.3μAh·cm^(-2))、良好的倍率(30μA·cm^(-2)下比容量1.9μAh·cm^(-2))及长循环稳定性(300圈循环后的容量保持率为86.4%)。此外,该电池表现出优秀的高温性能,连续在100℃下工作近200 h的容量保持率高达95.6%。研究表明:LiPON|LiNbO_(3)界面不论在充放电循环还是高温下均非常稳定,这有助与提升全电池综合性能。 展开更多
关键词 全固态锂离子电池 LiNbO3薄膜 负极 界面 高温 稳定性
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石英单晶微机械陀螺仪研究进展
3
作者 孙卓 孙立涛 窦广彬 《微纳电子技术》 CAS 2024年第11期17-30,共14页
对Z切、ST切、AT切三种切割方式的石英单晶微机械陀螺仪的基本工作原理进行了阐述,梳理了不同类型陀螺仪的发展历程,重点介绍了三种石英单晶微机械陀螺仪的设计结构、性能特点及其应用场景,并从灵敏度、动态范围、稳定性、抗冲击性及工... 对Z切、ST切、AT切三种切割方式的石英单晶微机械陀螺仪的基本工作原理进行了阐述,梳理了不同类型陀螺仪的发展历程,重点介绍了三种石英单晶微机械陀螺仪的设计结构、性能特点及其应用场景,并从灵敏度、动态范围、稳定性、抗冲击性及工作频率等方面对三种类型石英微机械陀螺仪各自的性能优势与面临的技术挑战进行了评述,总结了当前国内外在石英单晶微机械陀螺仪研究领域的主要进展和创新点。最后,针对不同切割方式的石英单晶微机械陀螺仪的结构及工作特点,分析了其各自的优点与不足,进行了总结和对比,讨论了石英微机械陀螺仪的未来发展方向。 展开更多
关键词 石英 微机械陀螺仪 压电效应 Z切音叉微机械陀螺仪 ST切表面声波微机械陀螺仪 AT切厚度剪切振动陀螺仪 微电子机械系统(MEMS)
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