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基于MEMS加工技术压力传感器工艺研究
1
作者
张栋
李永红
《传感器世界》
2007年第4期30-32,共3页
介绍了一种微压力传感器加工技术和加工工艺研究,根据所设计微压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法,并给进行详细加工步骤研究。
关键词
MEMS
压力传感器
加工工艺
光刻
腐蚀
扩散
下载PDF
职称材料
浅析手机二维码在当今代表领域中的应用
2
作者
徐阳
《网友世界》
2014年第23期17-18,共2页
随着计算机技术科快速发展,电脑及职能手机的大面积普及,二维码也随之被成功应用在很多领域。本文简单介绍了二维码技术的概况及国内外发展情况,并着重探析了其在当今社会各代表领域中的应用。
关键词
二维码
应用
科技馆
博物馆
媒体
教学
下载PDF
职称材料
题名
基于MEMS加工技术压力传感器工艺研究
1
作者
张栋
李永红
机构
中北大学信息与通讯工程学院
出处
《传感器世界》
2007年第4期30-32,共3页
文摘
介绍了一种微压力传感器加工技术和加工工艺研究,根据所设计微压力传感器的结构特点和国内现有加工设备,采用了体硅加工技术和表面加工技术相结合的方法,并给进行详细加工步骤研究。
关键词
MEMS
压力传感器
加工工艺
光刻
腐蚀
扩散
Keywords
MEMS
pressure sensor
processing technology
light scribe
erosion
diffusion
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
浅析手机二维码在当今代表领域中的应用
2
作者
徐阳
机构
中北大学信息与通讯工程学院
出处
《网友世界》
2014年第23期17-18,共2页
文摘
随着计算机技术科快速发展,电脑及职能手机的大面积普及,二维码也随之被成功应用在很多领域。本文简单介绍了二维码技术的概况及国内外发展情况,并着重探析了其在当今社会各代表领域中的应用。
关键词
二维码
应用
科技馆
博物馆
媒体
教学
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于MEMS加工技术压力传感器工艺研究
张栋
李永红
《传感器世界》
2007
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职称材料
2
浅析手机二维码在当今代表领域中的应用
徐阳
《网友世界》
2014
0
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