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题名LTCC基板共烧平整度工艺研究
被引量：5
- 1
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作者
周峻霖
夏俊生
邹建安
洪明
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机构
华东光电集成器件研究所
中国人民解放军驻九三七三厂军事代表室
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期770-774,共5页
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文摘
LTCC共烧工艺是基板加工的重要环节,有很多因素会影响产品加工进程。一般来说,从设计上要预先充分考虑,以避免负面因素影响基板共烧效果。介绍了LTCC基板/低温共烧陶瓷基板技术及共烧致密化技术的机理,阐述了LTCC平整度重要性及改善基板表面平整度工艺的优化过程。通过综合比较版图优化前后的内层金属含量、不同尺寸样品加工、结构设计等因素,经过多重试验验证,结果表明,版图优化措施切实可行,可有效提高LTCC基板共烧平整度。
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关键词
低温共烧陶瓷基板
平整度
共烧
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Keywords
LTCC substrate
Surface finish
Co-fire
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分类号
TN45
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名带框LTCC生瓷烘干技术
被引量：2
- 2
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作者
周峻霖
夏俊生
侯育增
洪明
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机构
华东光电集成器件研究所
中国人民解放军驻九三七三厂军事代表室
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出处
《电子与封装》
2011年第4期6-11,共6页
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文摘
在LTCC基板加工中,生瓷预烘干、图形印刷后烘干可能会产生中心位置塌陷、破损、翘曲等形变问题。而LTCC是通过加工多层生瓷、按一定顺序准确对准,再层压、切割后共烧而成,为满足产品平整度及位置对准精度要求,我们必须解决各层烘干过程中存在的形变问题,保证每一层生瓷加工质量。文章介绍了LTCC基板制造过程中带框生瓷烘干的工艺方法,并通过工艺试验对当前所用两种烘干设备的工艺参数进行比较,有效改进了烘干后生瓷表面的质量。同时,我们结合不同产品进行试验,对烘箱和带框架烘干组件完成烘干原理及特点进行了分析,阐述了两种烘干工艺加工特点和工艺优化过程。
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关键词
带框LTCC生瓷
烘干
LTCC(低温共烧陶瓷)
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Keywords
frame-mounted LTCC green tape
curing
LTCC（low temperature co-fired ceramic）
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分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
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题名一种LTCC半切割基板制作技术
被引量：2
- 3
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作者
周峻霖
夏俊生
张剑
洪明
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机构
华东光电集成器件研究所
中国人民解放军驻九三七三厂军事代表室
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出处
《电子与封装》
2011年第6期4-7,共4页
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文摘
LTCC应用中,有些用户要求提供不切透的大尺寸联片LTCC基板,以方便后步自动贴装、自动粘片加工。当前使用的机械切割设备,一般都会将LTCC基板切透。由于LTCC基板使用的制作材料、层数不同,机械切割设备厂家也未推荐半切的参数,因此必须通过实验优选出适于LTCC半切的工艺参数和方法。文章选取某种蓝牙基板为例,介绍了LTCC半切割基板制作技术,通过实验优选出适于LTCC半切的工艺参数及方法,并从热压式半切和激光半切的角度阐述了两种半切加工方法和工艺优化过程,对两种工艺试验结果进行了分析比较。
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关键词
LTCC
基板
半切割
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Keywords
LTCC
substrate
half cutting
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分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
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