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发挥科技创新优势 服务地方经济转型——中国电子科技集团公司第二研究所“十一五”科技创新工作回顾
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作者 刘济东 《科技创新与生产力》 2010年第12期6-8,共3页
中国电子科技集团公司第二研究所(以下简称"二所")隶属于中国电子科技集团公司,主要从事军工电子先进制造技术研究和电子专用设备研发。"十一五"以来,在官产学研合作机制推动下,二所围绕"军品立所、民品强所、相互支撑、协调发... 中国电子科技集团公司第二研究所(以下简称"二所")隶属于中国电子科技集团公司,主要从事军工电子先进制造技术研究和电子专用设备研发。"十一五"以来,在官产学研合作机制推动下,二所围绕"军品立所、民品强所、相互支撑、协调发展"的发展路径,以增强自主创新能力为突破口, 展开更多
关键词 地方经济转型 中国电子科技集团公司第二研究所 "十一五" 科技创新工作
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构建大党建工作格局 推动服务型党组织建设的探索和实践——以中国电子科技集团公司第二研究所为例
2
作者 佘海云 《行政科学论坛》 2017年第7期60-62,共3页
一、加强基层服务型党组织建设的重大意义党的十八大报告指出:"以服务群众、做群众工作为主要任务,加强基层服务型党组织建设。"党的十八届三中全会又强调,充分发挥基层党组织的战斗堡垒作用,为全面深化改革做出积极贡献。习近平总... 一、加强基层服务型党组织建设的重大意义党的十八大报告指出:"以服务群众、做群众工作为主要任务,加强基层服务型党组织建设。"党的十八届三中全会又强调,充分发挥基层党组织的战斗堡垒作用,为全面深化改革做出积极贡献。习近平总书记在全国国有企业党的建设工作会议上强调:"坚持服务生产经营不偏离,把提高企业效益、增强企业竞争实力、实现国有资产保值增值作为国有企业党组织工作的出发点和落脚点, 展开更多
关键词 党组织建设 国有企业党组织 战斗堡垒作用 基层党组织 群众工作 企业改革 全面深化改革 党的建设 党建工作责任 企业竞争实力
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高校与研究所联合培养研究生的协同育人模式探索与实践——以电子科技大学与中国电子科技集团公司第二十九研究所的合作为例
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作者 董刘杨 王逸如 刘玲 《中文科技期刊数据库(全文版)教育科学》 2022年第5期88-91,共4页
高水平创新型人才是推动国家发展的动力之一。研究生联合培养基地的建设,不仅能增进校所合作与交流,共同解决技术难题,而且对新形势下促进高校培养高水平创新型人才具有良好的推动作用。电子科大-中国电科29所研究生联合培养基地,在校... 高水平创新型人才是推动国家发展的动力之一。研究生联合培养基地的建设,不仅能增进校所合作与交流,共同解决技术难题,而且对新形势下促进高校培养高水平创新型人才具有良好的推动作用。电子科大-中国电科29所研究生联合培养基地,在校所合作模式、协同培养研究生等方面作出了育人成效显著,创新了研究生联合培养新模式。 展开更多
关键词 联合培养 专业学位研究生 校所协同 基地建设
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不变中求变——对中国电子科技集团公司企业文化建设的解析
4
作者 李洋 《消费导刊》 2015年第4期165-166,共2页
中国企业经历T30年的快速发展,已经具备了自我发展的能力和基础,但是当企业把自己放在更加广阔的市场中、更高的技术背景中与世界领先的企业竞争的时候,中国企业不得不承认自身的巨大差距。成功之后衰败,创新之后怠情——此模式长... 中国企业经历T30年的快速发展,已经具备了自我发展的能力和基础,但是当企业把自己放在更加广阔的市场中、更高的技术背景中与世界领先的企业竞争的时候,中国企业不得不承认自身的巨大差距。成功之后衰败,创新之后怠情——此模式长久以来存在各行各业中,因此,若想要拥有长久的成功,就必须面对“变革文化”,做不到对本企业文化的清晰的理解,“变革”就不可能实现漕譬者将以中国电子科技集团公司(以下简称中国电科)为例,从对中国电科现有总体文化建设的认知入手,对中国电科企业文化应用状况进行小结,着重就中国电科企业文化建设如何实现“变革”提出意见和建议。 展开更多
关键词 中国电子科技集团公司 企业文化建设 文化变革
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军工科研院所改企转制问题研究——以中国电科第二十研究所为例探索改制新模式 被引量:1
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作者 赵岩 任浩 +1 位作者 李洋 张琪 《中国军转民》 2018年第10期75-77,共3页
自1999年科研院所转制改革以来,军工科研院所在研发及科技成果转化、经营、管理等诸多方面取得了显著成绩,积累了一定竞争优势。随着国有企业改革不断深化,军民融合深度推进,新时代军工科研院所迫切需要进行改企转制改革,从而进一... 自1999年科研院所转制改革以来,军工科研院所在研发及科技成果转化、经营、管理等诸多方面取得了显著成绩,积累了一定竞争优势。随着国有企业改革不断深化,军民融合深度推进,新时代军工科研院所迫切需要进行改企转制改革,从而进一步融入地方经济、增强发展动力、提高发展活力。 展开更多
关键词 军工科研院所 转制问题 研究所 国有企业改革 改制 中国 科研院所转制 科技成果转化
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利用匹配滤波的调频连续波激光测距技术研究
6
作者 张鹏 封治华 +5 位作者 张鹏飞 赵渊明 阮友田 韩文杰 张辉 康朝阳 《激光技术》 北大核心 2025年第1期53-61,共9页
基于差频解算的调频连续波激光测距技术存在测量距离短、易受噪声干扰、受非线性调频影响大的问题。为了在相同机制条件下解决此问题,提出了基于匹配滤波的调频连续波激光测距方法,改进相干探测光路,加入信号反转单元和信号共轭单元,将... 基于差频解算的调频连续波激光测距技术存在测量距离短、易受噪声干扰、受非线性调频影响大的问题。为了在相同机制条件下解决此问题,提出了基于匹配滤波的调频连续波激光测距方法,改进相干探测光路,加入信号反转单元和信号共轭单元,将混频器换成卷积器,同时满足系统响应与发射波形匹配,并进行了相关仿真实验。结果表明,相比差频解算方法,匹配滤波方法可实现两倍于差频解算方法的测距范围,信噪比提高了9.5 dB,在非线性调频误差为19.8 MHz、198 MHz和396 MHz条件下均能得到较高分辨率的距离谱,表现出较好的抵抗非线性调频的能力。此研究可为该领域的科研工作者提供技术指导和新的思路。 展开更多
关键词 激光技术 调频连续波 匹配滤波 激光测距 信噪比 非线性
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基于D-S证据理论的多智能体系统冲突数据融合机制研究
7
作者 王娜 刘静渝 +1 位作者 李皓然 夏晓峰 《重庆大学学报》 北大核心 2025年第2期22-34,共13页
多智能体信息融合(multi-agent information fusion,MAIF)系统主要面向多个智能体之间的信息融合、调节、交流和矛盾处理。研究针对数据高度冲突条件下的D-S证据理论失效问题,提出一种将重构的基本概率分配和信念熵相结合的多智能体系... 多智能体信息融合(multi-agent information fusion,MAIF)系统主要面向多个智能体之间的信息融合、调节、交流和矛盾处理。研究针对数据高度冲突条件下的D-S证据理论失效问题,提出一种将重构的基本概率分配和信念熵相结合的多智能体系统冲突数据融合方法。该方法使用重构的基本概率分配和信念熵修正证据的可靠性,获得更合理的证据,使用Dempster组合规则将证据进行融合得到结果,在2个实验中均得到了超过90%的置信度。实验表明了该方法的有效性,提高了MAIF系统辨识过程的精度。 展开更多
关键词 基本概率分配 D-S证据理论 多智能体 信息融合
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压电超声换能器金属外壳切削工艺研究
8
作者 李亚飞 董姝 +3 位作者 李瑞峰 鲜晓军 唐盘良 马晋毅 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期69-74,共6页
为满足金属导电物体探测的要求,采用机械方法切削压电超声换能器金属外壳以形成0.10 mm绝缘台阶。借助有限元仿真软件ANSYS/LS DYNA分析发现,径向切削过程中陶瓷片所受应力为56.35 MPa,远小于轴向切削过程中陶瓷片所受应力216.25 MPa,... 为满足金属导电物体探测的要求,采用机械方法切削压电超声换能器金属外壳以形成0.10 mm绝缘台阶。借助有限元仿真软件ANSYS/LS DYNA分析发现,径向切削过程中陶瓷片所受应力为56.35 MPa,远小于轴向切削过程中陶瓷片所受应力216.25 MPa,故在分段叠加切削过程中陶瓷片所受的应力变形明显更小。结合理论分析和切削试验制定了3次叠加径向进刀工艺,优化了金属残留毛刺去除方法,解决了切削过程中频发的换能器匹配透声端面损伤及其与压电陶瓷分层的问题,对于压电超声换能器的应用推广具有重要意义。 展开更多
关键词 超声换能器 金属外壳 切削加工 有限元仿真
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一种单元化、可拓展的电子设备机箱构型研究
9
作者 刘冠宏 何超 《舰船电子工程》 2024年第6期209-215,220,共8页
为了满足设备硬件的可在线升级需求,实现设备功能结构的可重构,论文依据长期的电子机箱设计经验,结合工程实际提出了一种模块统形,单元化划分的方法,设计了一种单元化、可拓展机箱的结构构型。将模块划分为结构、电气接口一致的标准模... 为了满足设备硬件的可在线升级需求,实现设备功能结构的可重构,论文依据长期的电子机箱设计经验,结合工程实际提出了一种模块统形,单元化划分的方法,设计了一种单元化、可拓展机箱的结构构型。将模块划分为结构、电气接口一致的标准模块单元,之后根据功能选择模块单元拼接成机箱。文章通过ANSYSWorkbench和ICEPAK对机箱的力学性能和散热性能进行了评估,结果表明该机箱可以满足上装设备试验要求。该机箱构型适应综合化的发展趋势,同时具备现有综合化设备不具备的结构简单,构型灵活等优点,对相关设计具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 模块化和可扩展 机箱构型 模块单元 综合化
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新一代电子目标整编业务框架研究 被引量:1
10
作者 李高云 刘昕卓 +2 位作者 李福林 周超 吴腾亚 《中国电子科学研究院学报》 2024年第4期369-374,共6页
电子目标整编是将零散、模糊、矛盾的原始素材,通过各种迹象对照、关联等去粗取精、去伪存真,转变为有序、精准、可靠的情报信息。文中剖析了传统电子目标整编面临的文本类资料处理负荷日益剧增、海量低密度价值数据提取困难、体系级情... 电子目标整编是将零散、模糊、矛盾的原始素材,通过各种迹象对照、关联等去粗取精、去伪存真,转变为有序、精准、可靠的情报信息。文中剖析了传统电子目标整编面临的文本类资料处理负荷日益剧增、海量低密度价值数据提取困难、体系级情报的整编与分析欠缺等主要问题与挑战,提出了电子目标整编业务“智能+”新框架,并对其典型的核心技术进行了探讨与思考,最后给出了工程实践中的部分实例,旨在为大模型、大数据等新兴技术赋能电子目标整编业务模式研究,提供技术参考与借鉴。 展开更多
关键词 电磁大数据 电子目标整编 语义提取 语言大模型
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基于MPPC阵列的核辐射成像探测器性能影响因素研究
11
作者 陶祖才 王强 +6 位作者 肖雄 宋宝林 张文强 刘双全 黄先超 丁雨憧 徐扬 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第1期40-48,共9页
本文使用YSO晶体阵列和MPPC阵列组成核辐射成像探测器,探究了基于MPPC阵列的核辐射成像探测器性能关键影响因素,包括前端电阻网络、光导厚度和光导边缘切割深度。首先,前端电子学实验发现,采用均匀电荷分配电路(SCD)可改善图像变形问题... 本文使用YSO晶体阵列和MPPC阵列组成核辐射成像探测器,探究了基于MPPC阵列的核辐射成像探测器性能关键影响因素,包括前端电阻网络、光导厚度和光导边缘切割深度。首先,前端电子学实验发现,采用均匀电荷分配电路(SCD)可改善图像变形问题并提高信噪比。接着,在SCD基础上研究了不同厚度光导(0、1.0、1.5、2.0、2.5mm)对成像性能的影响,结果显示光导厚度为1.5mm时具有最佳分辨效果,但仍无法区分晶体阵列边缘像素。最后,在1.5mm光导基础上,对光导外围进行不同深度切割并插入增强型镜面反射膜(ESR),实验表明全部切透且加入反射膜时,可以明显区分出边缘晶体单元。 展开更多
关键词 MPPC阵列 YSO晶体阵列 核辐射成像探测器 电子学 前端电阻网络 光导厚度 光导边缘切割深度
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掺铈钆镓铝石榴石闪烁晶体辐照效应研究
12
作者 韩恒利 王强 +6 位作者 万前银 屈菁菁 安康 陈研 肖雄 任科静 丁雨憧 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期104-107,共4页
使用^(60)Co放射源对掺铈钆镓铝石榴石(Ce:GAGG)闪烁晶体样品进行辐照,剂量率为3×10^(5)Rad/h,辐照总剂量分别为10^(6)Rad、10^(7)Rad和10^(8)Rad。通过测试辐照前后Ce:GAGG闪烁晶体样品的透过率、相对光输出、能量分辨率及衰减时... 使用^(60)Co放射源对掺铈钆镓铝石榴石(Ce:GAGG)闪烁晶体样品进行辐照,剂量率为3×10^(5)Rad/h,辐照总剂量分别为10^(6)Rad、10^(7)Rad和10^(8)Rad。通过测试辐照前后Ce:GAGG闪烁晶体样品的透过率、相对光输出、能量分辨率及衰减时间来研究辐照效应。实验结果表明,经过10^(8)Rad辐照,晶体的透过率在450~900 nm波段无明显变化,在320 nm处降幅最大(为8.9%);晶体的光输出降低了1.47%,能量分辨率略有下降;晶体的相对光输出、能量分辨率及衰减时间等性能未发生明显改变。验证了该晶体具有良好的抗γ辐照能力,在高剂量核辐射探测领域中具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 透过率 相对光输出 能量分辨率 衰减时间 辐照损伤
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三维高机动交互式跟踪模型研究
13
作者 王泽慧 惠黎明 +1 位作者 董云龙 王中训 《雷达科学与技术》 北大核心 2025年第2期216-226,236,共12页
针对传统机动目标跟踪模型对不同维度(坐标轴)分量之间耦合问题考虑较少,难以满足三维高机动目标跟踪要求的问题,提出了一种利用交互式多模型架构,应用3个平面内的二维耦合运动模型(Coordinated Turn,CT模型)集来重构三维高机动运动模... 针对传统机动目标跟踪模型对不同维度(坐标轴)分量之间耦合问题考虑较少,难以满足三维高机动目标跟踪要求的问题,提出了一种利用交互式多模型架构,应用3个平面内的二维耦合运动模型(Coordinated Turn,CT模型)集来重构三维高机动运动模型的算法。同时,为了更好地适应解耦运动情况,在3个平面CT模型集的基础上,增加了具有不同过程噪声系数的匀速(Constant Velocity,CV)模型集。仿真结果表明,上述交互式多模型架构和机动目标运动模型集能较好地实现三维高机动目标跟踪,相比于两类经典的三维机动目标跟踪技术,性能有较高的提升。 展开更多
关键词 机动目标跟踪 三维高机动模型 交互式多模型算法 耦合运动模型
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一种射频SiP模组链路快速验证方法研究
14
作者 崔梦琦 余怀强 +2 位作者 张磊 王玺 代春玥 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期108-112,共5页
针对射频SiP模组设计周期长、成本高、兼容性差等问题,提出了一种射频SiP模组链路快速验证方法。该方法将射频SiP模组内的射频器件分装于不同积木块中,再将积木块拼接形成有目标电路功能的验证链路。通过对该链路进行测试,可快速验证射... 针对射频SiP模组设计周期长、成本高、兼容性差等问题,提出了一种射频SiP模组链路快速验证方法。该方法将射频SiP模组内的射频器件分装于不同积木块中,再将积木块拼接形成有目标电路功能的验证链路。通过对该链路进行测试,可快速验证射频SiP模组设计是否达标。为实现积木块间良好互连,设计了高频连接桥压接结构。测试结果经去嵌计算,得到18 GHz内插入损耗最大值为1.34 dB。通过搭建与测试二次变频射频SiP模组链路,表明该方法具备低损耗、可重构、可复用等特性,对射频SiP模组快速设计具有重要的工程意义。 展开更多
关键词 射频SiP 快速验证 高频连接桥 可重构 可复用
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TC-SAW SiO_(2)温补层性能研究
15
作者 贺贞 李燕 +3 位作者 田本朗 马晋毅 肖强 梁柳洪 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期88-91,共4页
为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和... 为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和晶体结构进行分析。采用椭偏仪测试薄膜折射率及腐蚀后的膜厚变化量,并通过纳米压痕仪测量计算薄膜的硬度和弹性模量。结果表明,反应磁控溅射制备的SiO_(2)薄膜更致密、薄膜表面粗糙度更小、弹性模量更大。采用反应磁控溅射制备的SiO_(2)薄膜作为TC-SAW温补层,可以获得频率温度系数为-8.6×10^(-6)/℃的TC-SAW器件。 展开更多
关键词 TC-SAW SiO_(2)温补层 反应磁控溅射
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微电子封装用Cu键合丝研究进展
16
作者 杨蕊亦 岑政 +1 位作者 刘倩 韩星 《微电子学》 CAS 北大核心 2024年第3期468-474,共7页
引线键合仍然是微电子封装中最流行的芯片互连技术,在未来很长一段时间内都不会被其他互连方法所取代。Au键合丝由于其独特的化学稳定性、可靠的制造和操作性能,几十年来一直是主流半导体封装材料。然而,Au键合丝价格的急剧上涨促使业... 引线键合仍然是微电子封装中最流行的芯片互连技术,在未来很长一段时间内都不会被其他互连方法所取代。Au键合丝由于其独特的化学稳定性、可靠的制造和操作性能,几十年来一直是主流半导体封装材料。然而,Au键合丝价格的急剧上涨促使业界寻找用于微电子封装的替代键合材料,如Cu键合丝。与Au键合丝相比,使用Cu键合丝的主要优势是更低的材料成本、更高的电导率和热导率,使更小直径的Cu键合丝能够承受与Au键合丝相同的电流而不会过热,以及更低的Cu和Al之间的反应速率,这有助于提高长期高温存储条件下的键合可靠性。文章首先简要介绍了键合丝的发展历史。其次,介绍了Cu键合丝的可制造性和可靠性。最后,提出了键合丝的发展趋势。 展开更多
关键词 键合丝 Kirkendall空洞 可制造性 可靠性 微电子封装
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面向电子装备装配引导的AR跟踪方法研究
17
作者 杜小东 王鹏 +2 位作者 史建成 王月 帅昊 《应用科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期416-424,共9页
为了提高面向电子装备装配引导的增强现实(augmented reality,AR)跟踪方法的鲁棒性与适用性,在像素投票姿态估计网络结构的基础上,结合深度可分离卷积和通道注意力机制对AR跟踪算法进行优化。首先,针对电子装备六自由度姿态公共数据集... 为了提高面向电子装备装配引导的增强现实(augmented reality,AR)跟踪方法的鲁棒性与适用性,在像素投票姿态估计网络结构的基础上,结合深度可分离卷积和通道注意力机制对AR跟踪算法进行优化。首先,针对电子装备六自由度姿态公共数据集稀缺与使用约束较多的问题,使用RGB-D相机采集并制作AR装配引导的电子装备的六自由度姿态训练数据集。然后,在基于像素投票的姿态估计网络结构基础上,使用深度可分离卷积对网络进行轻量化,并引入通道注意力机制对通道进行权重评估,以弥补网络轻量化造成的精度损失。最后,通过电子装备装配任务对提出的方法进行AR装配引导验证。实验结果表明:提出的跟踪注册方法相对于修改前的跟踪方法具有较好的鲁棒性,同时保持了装配引导的精度,能够对弱纹理的电子装备进行跟踪。 展开更多
关键词 电子装备 增强现实 三维跟踪 深度可分离卷积 通道注意力
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新型浆锚连接方钢管混凝土拼接柱抗震性能试验研究 被引量:1
18
作者 郑立文 李智 +3 位作者 赵亮 胡少伟 李景浩 齐浩 《土木与环境工程学报(中英文)》 北大核心 2025年第1期152-166,共15页
为进一步提高用于钢-混凝土组合结构的柱构件的装配效率,并改善其抗震性能,降低生产成本,提出一种新型浆锚连接方钢管混凝土拼接柱设计方法。通过对缩尺比例为2的5个拼接柱构件和1个整浇柱构件开展拟静力试验,获得不同配筋率、配筋形式... 为进一步提高用于钢-混凝土组合结构的柱构件的装配效率,并改善其抗震性能,降低生产成本,提出一种新型浆锚连接方钢管混凝土拼接柱设计方法。通过对缩尺比例为2的5个拼接柱构件和1个整浇柱构件开展拟静力试验,获得不同配筋率、配筋形式和柱-柱节点拼接部位的新型拼接柱的抗震性能。试验结果表明:新型拼接柱构件在低周期反复荷载下的破坏过程及其形态与整浇柱构件相似,其滞回曲线饱满,耗能能力、抗承载力退化和抵抗变形(刚度)能力均比整浇柱构件更加优良,特别是将柱-柱节点拼接部位设于柱间反弯点区域的P类型构件变形能力最佳,证明了该新型拼接柱设计方法的科学性,并对提高钢-混凝土组合框架结构的整体抗震性能具有应用潜力。 展开更多
关键词 钢管混凝土柱 浆锚连接 拼接部位 拟静力试验 抗震性能
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GAGG:Ce探测器封装技术研究 被引量:1
19
作者 万前银 王强 +5 位作者 谢玉清 肖雄 张泽涛 丁雨憧 任科静 徐扬 《原子能科学技术》 北大核心 2025年第1期183-188,共6页
为提升新型闪烁晶体GAGG:Ce在辐射探测器封装中的闪烁光子收集效率,通过蒙特卡罗程序Geant4和对比实验对?25.4 mm×25.4 mm的GAGG:Ce闪烁晶体的封装技术进行了研究。基于Geant4的LUT光子运输模型分析了晶体表面为镜面和打毛两种条件... 为提升新型闪烁晶体GAGG:Ce在辐射探测器封装中的闪烁光子收集效率,通过蒙特卡罗程序Geant4和对比实验对?25.4 mm×25.4 mm的GAGG:Ce闪烁晶体的封装技术进行了研究。基于Geant4的LUT光子运输模型分析了晶体表面为镜面和打毛两种条件下,分别搭配镜面反射和漫反射反射层的光收集效率。在晶体的表面处理工艺确定后,通过实验分别对比了反射层材料及厚度、光学耦合剂折射率和光电转换器件等因素对探测器封装的影响。研究结果表明:晶体的入射面和侧面打毛、出光面抛光后,以1 mm厚度的二氧化钛涂料作为反射层,使用折射率为1.70的光学胶耦合R6231-100光电倍增管,可封装出较高闪烁光子收集效率的GAGG:Ce辐射探测器,其能量分辨率可达4.68%(@662 keV)。 展开更多
关键词 GAGG:Ce 光子收集效率 封装技术 能量分辨率
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ICP刻蚀Mo侧壁角度及刻蚀速率的研究
20
作者 田本朗 梁柳洪 +3 位作者 何成勇 罗淦 郭耀祖 米佳 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期59-62,共4页
采用基于Cl基气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀设备对金属Mo薄膜进行刻蚀,研究了刻蚀条件对侧壁角度以及刻蚀速率的控制。通过调节ICP干法刻蚀过程中射频源功率、ICP离子源功率、腔体压力、混合气体流量比例等工艺参数,实现了14.8&#... 采用基于Cl基气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀设备对金属Mo薄膜进行刻蚀,研究了刻蚀条件对侧壁角度以及刻蚀速率的控制。通过调节ICP干法刻蚀过程中射频源功率、ICP离子源功率、腔体压力、混合气体流量比例等工艺参数,实现了14.8°~85.0°图形侧壁倾角,表明图形侧壁角度可在大范围内得到控制,刻蚀速率可在148~232 nm/min调节,为薄膜体声波谐振器(FBAR)器件研制工艺打下良好基础。 展开更多
关键词 电感耦合等离子体(ICP) MO 薄膜体声波谐振器(FBAR) 侧壁角度 刻蚀速率
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