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题名微/纳真空器件封装技术
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作者
李兴辉
韩攀阳
杜婷
蔡军
冯进军
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机构
中国电子科技集团公司第十二研究所、微波电真空器件国家级重点实验室
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出处
《真空电子技术》
2022年第6期14-22,共9页
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基金
国家自然科学基金项目(61831001)。
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文摘
极度微型化的微/纳真空器件要求专门的封装技术。论文综述了适用于微/纳真空器件封装的真空键合和电极互连技术,同时系统分析了一些相关技术,包括实现真空获得与维持的微型、可集成真空泵技术和非蒸散、薄膜吸气剂技术,监测器件工作环境的真空度测量技术,以及检测器件封装的真空检漏技术等。分析结果对微/纳真空器件的设计与工艺实现提供了有益参考。
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关键词
微/纳真空器件
封装
键合
互连
真空泵
吸气剂
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Keywords
Vacuum micro/nano devices
Packaging
Bonding
Interconnection
Vacuum pump
Getter
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分类号
TN11
[电子电信—物理电子学]
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题名微型化真空泵技术
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作者
李兴辉
杜婷
韩攀阳
陈海军
蔡军
冯进军
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机构
中国电子科技集团公司第十二研究所、微波电真空器件国家级重点实验室
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出处
《真空》
CAS
2023年第4期54-59,共6页
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基金
国家自然科学基金重点项目资助(61831001)。
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文摘
微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面,分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性,介绍了膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展,并总结了当前存在的技术障碍。结果表明,目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后,其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低,但具有低功耗、可集成优势,对便携式系统和高真空微系统十分必要。
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关键词
微机电系统
真空微电子器件
真空泵
微封装
微型化
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Keywords
micro-electro-mechanical system
vacuum microelectronics device
vacuum pump
micro packaging
microminiaturization
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名短毫米波行波管双周期永磁聚焦仿真设计
被引量：1
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作者
吴玉娟
刘世硕
陈炤飞
谢青梅
张小青
字张雄
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机构
中国电子科技集团公司第十二研究所、微波电真空器件国家级重点实验室
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出处
《真空电子技术》
2022年第6期78-81,103,共5页
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文摘
通过对行波管周期永磁聚焦系统的研究,设计了适用于短毫米波行波管的双周期永磁聚焦系统,该结构轴向磁场分布中三次谐波对一次谐波占比接近50%,有效上移聚焦不稳定区。通过三维软件CST、OPERA对行波管的电子光学系统进行仿真计算,仿真结果表明双周期结构能够在较大磁场周期下实现电子注的低脉动传输,流通率达到100%,电子注的波动为25%。双周期永磁聚焦系统能够有效扩大聚焦周期,降低聚焦压力。
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关键词
周期永磁
短毫米波
行波管
电子注
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Keywords
Periodic permanent magnet
Short millimeter
TWT
Electron beam
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分类号
TN124
[电子电信—物理电子学]
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