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题名可见光三维针孔形状误差矢量衍射分析
被引量：2
- 1
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作者
许嘉俊
邢廷文
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机构
中国科学院光电技术研究所应用光学实验室
中国科学院大学
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期64-70,共7页
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文摘
干涉仪是光学元件面形加工中必不可少的检测设备,其检测精度限制了光学面形的加工精度。点衍射干涉仪利用亚微米量级的针孔衍射产生参考波,理论上的检测精度能够达到纳米及纳米以下。基于有限元方法,计算了300～400nm直径针孔,在膜层厚度300nm时,存在不同形状误差时,衍射参考波前与理想波面的偏差。同时,针孔形状误差引入的衍射参考波前像差也进行了分析。针孔椭圆截面长轴为380nm,短轴为320nm时,衍射波面误差约为0.9e-3λ。
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关键词
光学检测
点衍射干涉仪
矢量衍射
波前分析
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Keywords
optical testing
point diffraction interferometer
vector diffraction
wave-front analysis
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
TN247
[电子电信—物理电子学]
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题名采用非均匀有理B样条曲面延展光学元件面形误差
被引量：11
- 2
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作者
李云
邢廷文
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机构
中国科学院光电技术研究所应用光学实验室
中国科学院研究生院
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期212-218,共7页
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文摘
在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,通常需要对原始面形误差数据进行边缘虚拟延展。要求原始面形误差数据与虚拟延展面光滑拼接,并在延展区域具有可控的不确定性。非均匀有理B样条(NURBS)曲面常用在机械制造领域对复杂形状物体进行三维建模。引入非均匀有理B样条曲面并结合泽尼克(Zernike)多项式拟合对一典型的圆形光学元件面形误差自由曲面数据进行延展。通过对典型面形误差曲面延展前后的等效功率谱密度曲线分析可以看出,延展后在面形误差频率大于0.05mm-1时其面形误差改善量均大于70%;将该典型延展面应用于特定驻留时间求解算法中,使得预测加工精度的均方根值由1.18nm改善至0.19nm。这表明,采用非均匀有理B样条曲面延展光学元件面形误差能够获得光滑拼接的虚拟延展曲面,并能大大改善离子束抛光工艺中驻留时间算法的求解精度。
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关键词
光学制造
面形误差延展
非均匀有理B样条
离子束抛光
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Keywords
optical fabrication
surface error extension
non-uniform rational B-spline
ion beam figuring
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分类号
O43
[机械工程—光学工程]
O439
[机械工程—光学工程]
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题名点衍射干涉仪系统误差标定
被引量：9
- 3
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作者
许嘉俊
邢廷文
徐富超
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机构
中国科学院光电技术研究所应用光学实验室
中国科学院大学
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期199-203,共5页
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文摘
点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪,其参考波由一定尺寸针孔衍射产生,因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制,使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点,主要的系统误差来源于针孔衍射波与理想球面波的偏差。设计了一种新的点衍射干涉仪系统误差标定结构,降低了对准难度。同时提出了利用干涉图信息计算CCD位置,去除几何结构慧差的方法。搭建了基于双孔干涉的系统误差标定系统,在针孔直径为3μm时,系统误差为0.009λ。
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关键词
测量
光学检测
点衍射干涉仪
双孔干涉
误差标定
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Keywords
measurement
optical testing
point diffraction interferometer
two-hole interference
error calibration
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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题名可见光二维小孔矢量衍射分析
被引量：18
- 4
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作者
许嘉俊
邢廷文
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机构
中国科学院光电技术研究所应用光学实验室
中国科学院研究生院
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期39-44,共6页
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文摘
现代精密光学系统的发展,对光学元件的加工和检测提出了非常严格的要求,达到纳米量级。相移式点衍射干涉仪是一种应用在纳米精度检测中的常用干涉仪,其参考波前由直径在几百纳米量级的小孔衍射产生,其衍射波前与理想波面的误差,决定了干涉仪的检测精度。基于有限元方法,计算了聚焦入射情况下,不同直径小孔的衍射波面。分析了聚焦斑发生对准误差和倾斜误差下,对衍射波面的影响。
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关键词
物理光学
光学检测
点衍射干涉仪
矢量衍射
波前分析
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Keywords
physical optics optical testing point diffraction interferometer vector diffraction wavefront analysis
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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题名用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析
被引量：7
- 5
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作者
冯婕
邓超
邢廷文
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机构
中国科学院光电技术研究所应用光学实验室
中国科学院大学
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2012年第11期67-72,共6页
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文摘
为实现非球面元件表面面形的高精度检测,提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图(CGH)和待测非球面的多功能计算全息图。多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全息3部分组成。介绍了各部分的工作原理及其设计方法,比较了辅助全息装调方法和普通装调方法的优劣,并给出了检测Φ187.72mm、F数为1.71的凹非球面镜的计算全息设计实例,分析了影响全息检测精度的各项误差源,计算得出所设计的计算全息的检测精度可达4.75nm,实现了非球面元件面形的高精度检测。
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关键词
全息术
非球面检测
计算全息图
光学设计
误差分析
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Keywords
holography
aspheric-surface testing
computer-generated holograms
optical design
error analysis
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分类号
O438.12
[机械工程—光学工程]
TB96
[机械工程—光学工程]
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