基于MEMS技术的安培酶免疫传感器研究 被引量：3

1

作者 边超 许媛媛 +3 位作者 孙红光 张虹 陈绍凤 夏善红 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第11期2195-2198,共4页

该文采用MEMS工艺制备可集成安培酶免疫传感器,用于人免疫球蛋白IgG的检测。该传感器以硅作为基底,铂作为电极,工作电极敏感面积1mm2。SU-8胶形成的微反应池结构使该传感器试剂用量仅为μl量级。聚吡咯作为酶与电极之间的电子转移基体... 该文采用MEMS工艺制备可集成安培酶免疫传感器,用于人免疫球蛋白IgG的检测。该传感器以硅作为基底,铂作为电极,工作电极敏感面积1mm2。SU-8胶形成的微反应池结构使该传感器试剂用量仅为μl量级。聚吡咯作为酶与电极之间的电子转移基体聚合于工作电极敏感表面,戊二醛作为交联剂进行抗体(羊抗人IgG)的固定。抗体与酶标抗体(辣根过氧化物酶HRP标羊抗人IgG)对人IgG进行特异性夹心识别,通过检测酶标HRP对底物H2O2催化产生的电流信号实现免疫检测。该传感器工作电压?0.3V,检测下限5ng/ml,线性范围5～255ng/ml,响应时间3min,具有响应快、下限低、试剂用量少、微型化、便于集成等优点。 展开更多

关键词 安培酶免疫传感器 MEMS 聚吡咯 IGG

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基于微/纳米加工技术的微型电化学免疫传感器研究 被引量：4

2

作者 许媛媛 边超 +1 位作者 陈绍凤 夏善红 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2149-2152,共4页

生物传感器的研制越来越趋向于微型化、集成化、智能化以及无创伤的方向发展.研制基于微/纳米加工技术的电化学免疫传感器顺应了这一趋势,利用微电子机械系统(MEMS)技术在硅基芯片上制备微型三电极系统和SU-8微型池,并采用自组装单层膜... 生物传感器的研制越来越趋向于微型化、集成化、智能化以及无创伤的方向发展.研制基于微/纳米加工技术的电化学免疫传感器顺应了这一趋势,利用微电子机械系统(MEMS)技术在硅基芯片上制备微型三电极系统和SU-8微型池,并采用自组装单层膜和纳米金修饰微型电极表面用于抗体的固定化,研制出新型的电化学免疫传感器.研究表明,这种微型电化学免疫传感器易于实现批量生产,便于集成,检测过程只需要少量的样品,大大降低有毒试剂的消耗,减少环境污染,同时具有分析成本低,响应时间快,检测下限低和适用于现场快速检测等优点. 展开更多

关键词 微/纳米加工技术 微型电化学免疫传感器 微电子机械系统(MEMS) 抗体

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基于氧化还原聚合物固定双酶的谷氨酸传感器的研究 被引量：9

3

作者 李华清 郭宗慧 +5 位作者 刘春秀 姜利英 崔大付 刘文勇 黄勇 蔡新霞 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第U09期1-4,共4页

在塑料基片上制备了金薄膜的两电极系统的生物传感器。集成化的Ag｜AgCl参比电极采用丝网印刷在薄膜电极上。以聚乙二醇二缩水甘油醚（PEGDGE）为交联剂，将辣根过氧化酶（HRP）和谷氨酸氧化酶（GLOD）固定到聚乙烯吡啶与2，2＇-双吡啶... 在塑料基片上制备了金薄膜的两电极系统的生物传感器。集成化的Ag｜AgCl参比电极采用丝网印刷在薄膜电极上。以聚乙二醇二缩水甘油醚（PEGDGE）为交联剂，将辣根过氧化酶（HRP）和谷氨酸氧化酶（GLOD）固定到聚乙烯吡啶与2，2＇-双吡啶锇形成的氧化还原复合物中，滴在电极表面形成传感器的工作电极。实验结果表明，该生物传感器在谷氨酸溶液的浓度为1．0×10^-6～4．0×10^-4moL／L的范围内，具有很好的线性关系（r=0．9998，n=9），灵敏度为37．5mA（moL／L）^-1cm^-2；谷氨酸检出限为1.0×10^-6mol／L；传感器响应时间为10s且有良好的一致性和稳定性，使用一个月后仍能保持其初始活性的90％。该传感器可以用于食品工业中的谷氨酸的快速检测和在线监测等。 展开更多

关键词 氧化还原聚合物 电流型生物传感器 谷氨酸氧化酶 辣根过氧化酶

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传感器芯片系统研究与应用 被引量：1

4

作者 夏善红 边超 +7 位作者 孙楫舟 陈贤祥 彭春荣 董汉鹏 陈庆永 佟建华 郑凤杰 张虹 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期6-9,共4页

基于微纳制造、微电子等技术的传感器芯片系统具有体积小、质量轻、功耗低、易于批量化生产、成本低、易于集成化等优点,是传感技术领域的一个重要研究方向。近年来相关的研究主要包括微纳传感器芯片、微传感器阵列、多传感器集成芯片... 基于微纳制造、微电子等技术的传感器芯片系统具有体积小、质量轻、功耗低、易于批量化生产、成本低、易于集成化等优点,是传感技术领域的一个重要研究方向。近年来相关的研究主要包括微纳传感器芯片、微传感器阵列、多传感器集成芯片系统、传感器与电路集成芯片系统、微流控芯片系统、无线网络传感器节点芯片系统等。文中分别以糖化血红蛋白免疫传感器、催化燃烧气体传感器和电场传感器为例,简要介绍若干典型的生物量、化学量和物理量微传感器系统及其应用。 展开更多

关键词 微型 传感器 芯片系统

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基于MEMS技术微型静电场传感器系统设计与研制 被引量：1

5

作者 刘世国 彭春荣 +1 位作者 陈贤禅 夏善红 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期326-327,共2页

针对基于MEMS技术的微型静电场传感器的输出信号微弱、信噪比低等特点,采用高精度运算放大器和直接数字合成器芯片设计出了一种基于封装小但没有浮点运算器的单片机的微型静电场传感器系统,并通过一定的算法解决了单片机运算能力弱的问... 针对基于MEMS技术的微型静电场传感器的输出信号微弱、信噪比低等特点,采用高精度运算放大器和直接数字合成器芯片设计出了一种基于封装小但没有浮点运算器的单片机的微型静电场传感器系统,并通过一定的算法解决了单片机运算能力弱的问题,最终整个系统的测试精度能达到5%,分辨率能达到500 V/m,检测时间小于1 s. 展开更多

关键词 微型静电场传感器 微弱信号 相关检测

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电化学生物传感器 被引量：4

6

作者 蔡新霞 李华清 +2 位作者 饶能高 王利 崔大付 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期359-361,共3页

介绍了电化学生物传感器的分类、基本测试原理和研究进展 ,该类传感器可对多种生化参数进行直接实时动态检测 ,基于微机电系统 (MEMS)加工技术和微电子IC制造技术 ,电化学传感器在向着微型化。

关键词 电化学生物传感器 测试原理 生化参数 动态检测 微机电系统 集成化

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基于分子印迹聚合膜的胆固醇丝网印刷生物传感芯片 被引量：4

7

作者 薛茜男 边超 +4 位作者 任振兴 孙楫舟 卞贺明 韩泾鸿 夏善红 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第11期2735-2739,共5页

该文基于自组装技术在丝网印刷金电极表面制备分子印迹膜,研制胆固醇电化学仿生生物传感芯片。利用扫描电镜(SEM)对平面裸金电极、厚膜裸金电极及其修饰电极进行了形貌的分析比较,采用循环伏安分析法对电极修饰过程的电化学特性进行表征... 该文基于自组装技术在丝网印刷金电极表面制备分子印迹膜,研制胆固醇电化学仿生生物传感芯片。利用扫描电镜(SEM)对平面裸金电极、厚膜裸金电极及其修饰电极进行了形貌的分析比较,采用循环伏安分析法对电极修饰过程的电化学特性进行表征,采用计时电流法对胆固醇生物传感芯片的浓度响应特性进行检测。结果表明,基于丝网印刷工艺的厚膜电极不仅能满足自组装分子印迹仿生膜的修饰,而且电极表面具有明显的纳米放大效应。传感器对0～700nM不同浓度胆固醇进行检测,线性范围50nM～700nM,灵敏度达到-4.94μA/[lg(nM)],线性相关系数为0.994。该胆固醇传感芯片具有较高的准确性,检测准确度达到了99.56%。 展开更多

关键词 电化学传感芯片 分子印迹 自组装单层膜 胆固醇 丝网印刷

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电位无标型糖化血红蛋白免疫微传感器 被引量：3

8

作者 边超 薛茜男 +2 位作者 孙楫舟 张虹 夏善红 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期332-336,共5页

研制了基于标准CMOS工艺和微加工技术的电位无标型免疫微传感器,可实现糖化血红蛋白浓度与血红蛋白浓度的简便检测。该微传感器包括含有信号读出电路的场效应型微传感集成芯片和一次性测试试条。微传感集成芯片由本实验室设计并经新加坡... 研制了基于标准CMOS工艺和微加工技术的电位无标型免疫微传感器,可实现糖化血红蛋白浓度与血红蛋白浓度的简便检测。该微传感器包括含有信号读出电路的场效应型微传感集成芯片和一次性测试试条。微传感集成芯片由本实验室设计并经新加坡Chartered半导体公司流片制备。一次性测试试条采用微加工技术制备于柔性塑料片上,包括敏感电极阵列和三维微结构测量池。基于自组装单层膜并引入纳米金颗粒的方法,在测试试条电极表面固定抗体。采用循环伏安法和交流阻抗法对电极表面的修饰过程进行了测试和分析。该传感器对糖化血红蛋白和血红蛋白检测的线性范围分别为4～24mg/L和60～180mg/L。 展开更多

关键词 CMOS 微加工 电位型 糖化血红蛋白 集成芯片

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基于二元混合自组装包裹纳米颗粒的微传感器抗体固定方法 被引量：2

9

作者 薛茜男 边超 +3 位作者 佟建华 孙楫舟 张虹 夏善红 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期804-808,共5页

采用二元混合自组装膜修饰纳米金颗粒,在经自组装单分子层修饰的金电极上阵列式排布,并通过共价键固定抗体形成生物敏感膜。采用原子力显微镜、扫描电镜和阻抗谱分别对电极表面的修饰过程进行了表征。纳米粒子在微电极表面均匀分布,没... 采用二元混合自组装膜修饰纳米金颗粒,在经自组装单分子层修饰的金电极上阵列式排布,并通过共价键固定抗体形成生物敏感膜。采用原子力显微镜、扫描电镜和阻抗谱分别对电极表面的修饰过程进行了表征。纳米粒子在微电极表面均匀分布,没有明显的团聚,并且可实现抗体有效固定。基于标准互补金属氧化物半导体(Complementary metal oxide semiconductor,CMOS)工艺和微加工技术,利用该抗体固定化方法,制备了糖化血红蛋白免疫微传感器,可同时检测血液中的糖化血红蛋白和血红蛋白含量,其对糖化血红蛋白和血红蛋白的检测范围分别为14～170μg/L和167～570μg/L。 展开更多

关键词 纳米金 互补金属氧化物半导体 微加工 糖化血红蛋白 集成芯片

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采用电聚合方法固定抗体的IgG检测微传感器 被引量：2

10

作者 边超 许媛媛 +2 位作者 孙红光 陈绍凤 夏善红 《自然科学进展》 北大核心 2006年第3期380-384,共5页

采用微电子机械系统MEMS工艺制备微电极芯片,并利用电化学聚合方法将抗体(羊抗人 IgG)与吡咯共同聚合在工作电极敏感表面,用于人免疫球蛋白IgG的安培酶免疫检测．该传感器以硅作为基底,铂作为电极,工作电极敏感面积2 mm2．SU-8胶形成的... 采用微电子机械系统MEMS工艺制备微电极芯片,并利用电化学聚合方法将抗体(羊抗人 IgG)与吡咯共同聚合在工作电极敏感表面,用于人免疫球蛋白IgG的安培酶免疫检测．该传感器以硅作为基底,铂作为电极,工作电极敏感面积2 mm2．SU-8胶形成的微反应池结构使该传感器试剂用量仅为μL量级．该传感器工作电压-0．3V,线性范围5-655ng/mL,响应时间3min,具有制备简便、响应快、试剂用量少、检测浓度低、微型化、便于集成等优点． 展开更多

关键词 MEMS 安培酶免疫传感器 电聚合 聚吡咯 IGG

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基于双层电化学结构的微型安培免疫传感器 被引量：1

11

作者 边超 许媛媛 +2 位作者 孙红光 陈绍凤 夏善红 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第1期1-3,共3页

文中利用MEMS工艺在硅基底上制备铂微电极芯片,并采用双层电化学结构进行抗体的固定,用于人免疫球蛋白IgG的安培酶免疫检测.第一层为聚吡咯过渡层,第二层为抗体与聚邻苯二胺的共聚层.该传感器工作电压-0.3 V,检测下限5 ng/mL,线性范围5... 文中利用MEMS工艺在硅基底上制备铂微电极芯片,并采用双层电化学结构进行抗体的固定,用于人免疫球蛋白IgG的安培酶免疫检测.第一层为聚吡咯过渡层,第二层为抗体与聚邻苯二胺的共聚层.该传感器工作电压-0.3 V,检测下限5 ng/mL,线性范围5～355 ng/mL,响应时间3～5 min,具有制备简便、响应快、下限低、试剂用量少、微型化、便于集成等优点. 展开更多

关键词 安培酶免疫传感器 电化学聚合 聚吡咯 聚邻苯二胺 IGG

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微结构TRAIL生物传感器的研制 被引量：1

12

作者 张虹 巩祥鹏 +1 位作者 韩泾鸿 黄俊琪 《广西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2005年第1期92-94,共3页

TRAIL是新的肿瘤坏死因子之一,仅诱导肿瘤细胞和病毒感染细胞凋亡,而不引起正常细胞凋亡.这一特点在肿瘤治疗中具有潜在的广泛应用前景.介绍了一种可用于检测TRAIL的场效应型免疫生物传感器,叙述了其工作原理和制备方法.传感器是以离子... TRAIL是新的肿瘤坏死因子之一,仅诱导肿瘤细胞和病毒感染细胞凋亡,而不引起正常细胞凋亡.这一特点在肿瘤治疗中具有潜在的广泛应用前景.介绍了一种可用于检测TRAIL的场效应型免疫生物传感器,叙述了其工作原理和制备方法.传感器是以离子敏场效应管为基础,利用抗原和抗体免疫反应的特异性结合构成的.采用吸附方法将TRAIL抗体制备在离子敏场效应管敏感栅上形成生物敏感膜.实验结果表明,用场效应型免疫传感器能快速检测TRAIL受体,响应时间为3～5min;TRAILR1的检测范围:0.1～100mg/L;实验所需样本量少,对临床肿瘤治疗具有积极的意义. 展开更多

关键词 生物传感器 TRAIL 肿瘤 物理电子学

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基于自组装分子印迹膜的胆固醇电化学传感器 被引量：1

13

作者 薛茜男 边超 +3 位作者 任振兴 卞贺明 韩泾鸿 夏善红 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期162-163,170,共3页

基于自组装技术在丝网印金电极表面制备分子印迹膜,研制胆固醇电化学仿生传感器。采用循环伏安分析法对电极修饰过程的电化学特性进行表征,采用计时电流法对胆固醇传感器的浓度响应特性进行检测。将传感器对0～700nM不同浓度胆固醇进行... 基于自组装技术在丝网印金电极表面制备分子印迹膜,研制胆固醇电化学仿生传感器。采用循环伏安分析法对电极修饰过程的电化学特性进行表征,采用计时电流法对胆固醇传感器的浓度响应特性进行检测。将传感器对0～700nM不同浓度胆固醇进行检测,线性范围为100～700 nM,灵敏度为-2.4 nA/nM. 展开更多

关键词 分子印迹 自组装单层膜 胆固醇 电化学传感器

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具有自定位功能的无线传感器网络节点设计与实现 被引量：1

14

作者 孟令军 夏善红 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2007年第10期76-78,共3页

介绍了一种具有自定位功能的无线传感器网络节点。它包括dsPIC6014A微控制器、512 KB的SRAM,2.4 GHz波段的RF收发模块、音频收发模块及电源管理模块等。节点通过测量RF同步信号与音频信号的时间差来测量节点间的间隔距离,通过获取多个... 介绍了一种具有自定位功能的无线传感器网络节点。它包括dsPIC6014A微控制器、512 KB的SRAM,2.4 GHz波段的RF收发模块、音频收发模块及电源管理模块等。节点通过测量RF同步信号与音频信号的时间差来测量节点间的间隔距离,通过获取多个节点的距离参数来实现节点的自定位。利用实时时钟实现的电源管理模块完成节点的工作与休眠状态功耗控制。测试数据表明:该节点最远测距距离超过25 m,误差小于3%,休眠状态时的能源消耗小于12μW. 展开更多

关键词 无线传感器网络 节点定位 音频测距 实时时钟

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TRAIL受体微阵列生物传感器检测系统的初步应用

15

作者 黄俊琪 张虹 +3 位作者 巩祥鹏 韩泾鸿 李娟 吴长有 《中国免疫学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期494-496,F0003,F0004,共5页

目的:肿瘤坏死因子相关凋亡诱导配体(TNF-relatedApoptosis-inducedLigand,TRAIL)受体微阵列生物传感器检测系统为离子敏场效应型(Ionsensitivefieldeffecttransistor,ISFET)免疫生物传感器,利用此检测系统检测细胞表面的TRAIL受体。方... 目的:肿瘤坏死因子相关凋亡诱导配体(TNF-relatedApoptosis-inducedLigand,TRAIL)受体微阵列生物传感器检测系统为离子敏场效应型(Ionsensitivefieldeffecttransistor,ISFET)免疫生物传感器,利用此检测系统检测细胞表面的TRAIL受体。方法:将1∶10稀释的4种TRAIL受体的抗体吸附在此型免疫生物传感器上,对正常血管内皮细胞株EVC9611、肺癌细胞株AS49-DDP、舌癌细胞株Tca8113以及白血病人来源的白细胞进行检测。结果:这种微阵列传感器检测系统可以同时检测细胞表面的4种TRAIL受体,并发现正常血管内皮细胞株EVC9611和舌癌细胞株Tca8113的细胞表面没有4种TRAIL受体的表达,而肺癌细胞株AS49-DDP细胞表面的TRAILR2表达较多,白血病人来源的白细胞4种受体都有表达。结论:研制的TRAIL受体微阵列生物传感器检测系统可以有效地同时检测各种细胞表面的4种TRAIL受体,为进一步使用TRAIL治疗肿瘤提供基础资料。 展开更多

关键词 TRAIL受体 微阵列 离子敏场效应型 免疫生物传感器

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基于电聚合蛋白A固定抗体的免疫微传感芯片

16

作者 边超 孙辑舟 夏善红 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期370-372,386,共4页

采用MEMS工艺在硅衬底上制备了电极型免疫微传感芯片，重点探索了微传感器敏感表面抗体固定化的方法。尝试采用蛋白A与吡咯共同电化学聚合，进而由蛋白A结合抗体的方法，实现了抗体的固定。将该免疫传感器对人免疫球蛋白G（HIgG）进行... 采用MEMS工艺在硅衬底上制备了电极型免疫微传感芯片，重点探索了微传感器敏感表面抗体固定化的方法。尝试采用蛋白A与吡咯共同电化学聚合，进而由蛋白A结合抗体的方法，实现了抗体的固定。将该免疫传感器对人免疫球蛋白G（HIgG）进行检测，在5-160ng/mL以及160-640ng/mL呈分段线性的特性，实现了微剂量、低浓度的免疫检测，验证了该固定化方法的可行性。此法具有省时、简便、易控、适合微传感器固定的优点。 展开更多

关键词 免疫微传感器 微机电系统 电化学聚合 聚吡咯 蛋白A

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一种透皮无创血糖检测系统的设计与实验验证 被引量：4

17

作者 肖宏辉 常凌乾 +2 位作者 杨庆德 贺银增 蔡新霞 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期2796-2802,共7页

介绍了一种基于反离子电渗方法的非侵入式血糖监测系统。该系统通过集成恒电流源和双恒电势仪电路,配合高灵敏度介体酶传感器,实现了反离子电渗抽取和抽取至体表葡萄糖的检测。并且通过良好的降噪和提升采样精度的设计,有效提高了测量... 介绍了一种基于反离子电渗方法的非侵入式血糖监测系统。该系统通过集成恒电流源和双恒电势仪电路,配合高灵敏度介体酶传感器,实现了反离子电渗抽取和抽取至体表葡萄糖的检测。并且通过良好的降噪和提升采样精度的设计,有效提高了测量的准确性。根据所检测的葡萄糖浓度与组织液葡萄糖浓度以及血糖浓度间相对稳定的对应关系,本系统可以自动计算出血糖浓度。经过动物实验验证:该无创血糖监测系统经过一次有创校准后能够实现血糖监测。对比常规的有创测量方法,在动物血糖自然变化状态下,该系统的监测结果能够很好地反映出血糖的平均浓度值;在人为干预动物血糖浓度的情况下,该系统的监测结果能够较好地反映出血糖的变化趋势。 展开更多

关键词 血糖 无创测量 反离子电渗 中国实验用小型猪

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MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究 被引量：7

18

作者 尹韬 杨海钢 《电子器件》 CAS 2007年第4期1188-1193,共6页

MEMS电容式传感器的迅速发展为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑战.系统地分析了制约微传感器高精度电容读出电路设计的主要因素,回顾了目前主要的几种读出电路结构,阐述了这些电路的基本原理,并对影响电路分辨率的主要设计参数进... MEMS电容式传感器的迅速发展为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑战.系统地分析了制约微传感器高精度电容读出电路设计的主要因素,回顾了目前主要的几种读出电路结构,阐述了这些电路的基本原理,并对影响电路分辨率的主要设计参数进行了分析和对比,最后探讨了电容式读出电路设计的发展趋势. 展开更多

关键词 电容读出电路 MEMS电容传感器 电容分辨率 CMOS

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一种神经信号压缩感知检测方法

19

作者 徐声伟 周帅 +5 位作者 刘欣阳 周基阳 王蜜霞 宋轶琳 林楠森 蔡新霞 《网络新媒体技术》 2014年第2期21-25,共5页

针对无线传感器在神经信号检测领域需要低功耗设计的需求,设计了一种利用压缩感知方法对含动作电位的神经信号进行分段压缩的方法。首先,通过构造冗余字典,实现了对原始神经信号的稀疏化表征;然后构建了测量矩阵,实现了对原始神经信号... 针对无线传感器在神经信号检测领域需要低功耗设计的需求,设计了一种利用压缩感知方法对含动作电位的神经信号进行分段压缩的方法。首先,通过构造冗余字典,实现了对原始神经信号的稀疏化表征;然后构建了测量矩阵,实现了对原始神经信号的压缩;最后,利用稀疏分解算法,实现了对原始神经信号的重构。利用测量到的大鼠脑部神经信号对设计的方法进行实验测试,结果表明,在压缩比为10∶1及以下的情况下,可以实现对含动作电位的神经信号的分段压缩和可靠重构。 展开更多

关键词 压缩感知 动作电位 压缩比 冗余字典

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微型器件的自装配技术 被引量：2

20

作者 邓凯 夏善红 《微纳电子技术》 CAS 2003年第1期25-29,共5页

自组装技术起源于生物化学领域。20世纪90年代以来,这种新型的装配技术得到了关注并且经历了较快的发展,同时在微机电系统(MEMS)等研究领域显示了潜在的应用前景。本文阐述了自组装技术的发展,介绍了多种自组装方法,包括利用毛细力、重... 自组装技术起源于生物化学领域。20世纪90年代以来,这种新型的装配技术得到了关注并且经历了较快的发展,同时在微机电系统(MEMS)等研究领域显示了潜在的应用前景。本文阐述了自组装技术的发展,介绍了多种自组装方法,包括利用毛细力、重力以及亲水(疏水)力作为驱动的多种自组装过程,着重总结了自组装技术在MEMS领域的应用。 展开更多

关键词 微型器件 自装配技术 微机电系统 毛细作用 重力 亲水力

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