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题名一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化
被引量：4
- 1
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作者
黄树森
郭南翔
黄晖
宋朝辉
李欣昕
王跃林
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机构
中科院上海微系统与信息技术研究所传感器国家重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期305-308,共4页
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基金
国家重点基础研究发展规划项目"集成微光机电系统研究" (G19990 3 3 10 1)
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文摘
给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理。该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率。基于分析模型 ,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则。采用SOI硅片和深反应离子刻蚀 (DRIE)
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关键词
微机械
压阻式加速度传感器
设计优化
微粱直拉直压
离子刻蚀
振动频率
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Keywords
accelerometer
axially stretched and compressed tiny beams
design optimization
scaling rules
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统
被引量：2
- 2
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作者
郭斌
陈士清
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机构
中科院上海微系统与信息研究所传感器国家重点实验室
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出处
《电子产品世界》
2008年第3期142-144,147,共4页
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文摘
传感器技术是信息社会的四大支柱之一,传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中,根据电容的物理特性制作的传感器占有重要地位。电容传感器是很好的状态传感器,可提高电容检测,尤其是微小电容检测的精度,是目前测控技术的热点。本文重点介绍一套微小电容差分高精度检测电路,该套电路可测物体的运动加速度,加速度计的分辨率可达2-18。
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关键词
电容式传感器
MEMS
信号调理
检测电路
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分类号
TP274.4
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名微弱信号调理电路和模数转换电路的探讨
被引量：7
- 3
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作者
郭斌
欧阳烨
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机构
中科院上海微系统与信息研究所传感器国家重点实验室
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出处
《微计算机信息》
北大核心
2008年第23期233-235,共3页
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文摘
模拟电路的设计知识虽散,设计人员需具备一定的实践经验,但也是有轨可寻。本文通过直流激励MEMS压力传感器,尤其是交直流激励MEMS差分电容振动加速度传感器的调理电路和模数转换电路的实现二个典型电路,来阐述模拟电路的设计的一些方法、规律,抛砖引玉。
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关键词
差分电容传感器
前置放大
阻抗匹配
信号调理
线性放大
A/D模数转换电路
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Keywords
pressure sensor
capacitance vibration acceleration sensor
analog circuit
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分类号
TP216
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名带CAN总线的汽车仪表总程
被引量：5
- 4
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作者
郭斌
欧阳烨
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机构
中科院上海微系统与信息研究所传感器国家重点实验室
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出处
《微计算机信息》
北大核心
2008年第20期259-261,309,共4页
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文摘
本文从硬件和软件二方面,结合一个带CAN接口的强单片机PIC18F458,从实际工程应用角度来阐述一个较复杂的仪表系统工程的实现。其中较系统的介绍了PIC18f458单片机系统外围电路,单片机系统与步进仪表电机接口、与液晶显示模块接口、与小键盘扩展接口尤其重要的是单片机CAN通信软、硬件接口等五个部分。
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关键词
PIC18F458单片机
CCP1
ECCP1
步进马达
LCD显示控制
CAN驱动控制
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Keywords
PIC18F458 single chip CCP1 ECCP1 STEPMOTOR CAN communication
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分类号
TP336.7
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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