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基于铂黑修饰金电极的葡萄糖传感器的研究 被引量：4
1
作者 饶能高 奚日辉 +2 位作者 李华清 王利 蔡新霞 《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第1期11-14,共4页
利用铂黑颗粒吸附能力强、比表面积大、电催化活性高等优良特性 ,与基于MEMS技术制备的基础电极相结合 ,通过物理吸附法固定葡萄糖氧化酶 ,从而制备出高性能的葡萄糖传感器。该传感器应用于血清中葡萄糖的测定 ,其灵敏度和线性范围分别... 利用铂黑颗粒吸附能力强、比表面积大、电催化活性高等优良特性 ,与基于MEMS技术制备的基础电极相结合 ,通过物理吸附法固定葡萄糖氧化酶 ,从而制备出高性能的葡萄糖传感器。该传感器应用于血清中葡萄糖的测定 ,其灵敏度和线性范围分别为 4 5 7nA/mmol,1～ 30mmol;线性相关系数为 0 986。 展开更多
关键词 MEMS 葡萄糖传感器 铂黑颗粒 电化学修饰 金电极
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基于位跳变检测提高GPS信号处理增益方法研究 被引量：1
2
作者 何秋生 程亚奇 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2010年第2期99-102,共4页
研究了一种利用导航数据位跳变信息提高GPS信号处理增益的方法.通过充分使用数字信号处理技术,对多段连续的、长度一定的数据进行相关处理,并比较多次的相关结果,从而估计出导航数据位发生跳变所在的数据段(数据段长度只要在1～5ms内即... 研究了一种利用导航数据位跳变信息提高GPS信号处理增益的方法.通过充分使用数字信号处理技术,对多段连续的、长度一定的数据进行相关处理,并比较多次的相关结果,从而估计出导航数据位发生跳变所在的数据段(数据段长度只要在1～5ms内即可).利用这个跳变位置,就可以避开数据位跳变位置以及受其影响的数据,从而延长参加相干积分的数据长度.研究结果表明,利用得到的位跳变位置,可以在使用同样数据长度的情况下,使接收机处理增益提高1.45～5.23dB. 展开更多
关键词 全球定位系统 GPS信号 导航数据位跳变 位跳变检测
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用激光拉曼散射法测量电子线路板中元件的温度 被引量：1
3
作者 丁硕 刘玉龙 +2 位作者 张锐 李振明 易华珍 《光散射学报》 2003年第2期78-81,共4页
本文针对电子学中电子线路板上元器件通电后要精确测量其温度的问题引入了激光拉曼散射光谱技术,介绍了该方法在无损伤探测电子元器件(通各种电流后)表面温度方面的应用,为设计电子线路板散热问题提供了可参考的数据。并开拓了激光拉曼... 本文针对电子学中电子线路板上元器件通电后要精确测量其温度的问题引入了激光拉曼散射光谱技术,介绍了该方法在无损伤探测电子元器件(通各种电流后)表面温度方面的应用,为设计电子线路板散热问题提供了可参考的数据。并开拓了激光拉曼散射光谱技术在电子学中的应用,也同时为测量复杂结构物体表面温度提供了较好的方法。 展开更多
关键词 电子线路板 元件 温度测量 激光拉曼散射法 电子学
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半导体器件辐射效应研究 被引量：5
4
作者 刘忠立 《信息与电子工程》 2012年第6期748-753,共6页
在回顾半导体器件辐射效应取得丰富研究成果的基础上,介绍近年来半导体辐射效应研究的一些动向,其中包括航空及地面环境的单粒子效应、综合辐射环境下的辐射效应、化合物半导体器件的单粒子效应、光电器件的辐射效应、功率半导体器件的... 在回顾半导体器件辐射效应取得丰富研究成果的基础上,介绍近年来半导体辐射效应研究的一些动向,其中包括航空及地面环境的单粒子效应、综合辐射环境下的辐射效应、化合物半导体器件的单粒子效应、光电器件的辐射效应、功率半导体器件的辐射效应、绝缘体上硅(SOI)CMOS集成电路的辐射效应及混合信号电路辐射加固设计技术,给出了一些典型的研究结果,并指出在这些效应方面应该继续研究的方向。 展开更多
关键词 半导体器件 抗辐射加固 研究动向
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电子束焊接在传感器封装中的应用 被引量：3
5
作者 林世昌 范炳林 +2 位作者 张燕生 王秀梅 胡宗耀 《电子工艺技术》 1990年第5期16-19,共4页
本文通过对利用高真空电子束焊机,对压力传感器、振动筒传感器等器件的封袋工艺进行了大量的实验研究表明:真空电子束焊接,加热点小、功率密度高、焊接速度快、便于控制、电子束作用力微小、焊缝精度高、工件不氧化等特点,非常适用于多... 本文通过对利用高真空电子束焊机,对压力传感器、振动筒传感器等器件的封袋工艺进行了大量的实验研究表明:真空电子束焊接,加热点小、功率密度高、焊接速度快、便于控制、电子束作用力微小、焊缝精度高、工件不氧化等特点,非常适用于多种传感器的封袋工艺。 展开更多
关键词 传感器 封装 电子束焊接 焊接
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用于快速检测血色素的生物传感器研究
6
作者 姜利英 李华清 +3 位作者 刘春秀 罗贤波 吴一戎 蔡新霞 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期77-79,共3页
提供了一种用于快速检测血色素的生物传感器,不仅检测方法简单、耗样少,而且可以极大地缩短血色素的响应时间,在200～3000μmol/L浓度范围内具有很好的线性关系,其响应时间和线性相关系数分别为30s和0.99.适于一次性使用,制作简单,能小... 提供了一种用于快速检测血色素的生物传感器,不仅检测方法简单、耗样少,而且可以极大地缩短血色素的响应时间,在200～3000μmol/L浓度范围内具有很好的线性关系,其响应时间和线性相关系数分别为30s和0.99.适于一次性使用,制作简单,能小批量制备,成本低,具有很好的应用前景. 展开更多
关键词 血色素 生物传感器 微机电系统 薄膜电极
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刻蚀腔室内衬用抗等离子体腐蚀涂层的研究现状 被引量：1
7
作者 张有茶 夏洋 +4 位作者 贾永昌 张庆钊 王文东 刘金虎 王聪瑜 《热喷涂技术》 2014年第3期19-23,共5页
干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子IC制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀。本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与现状,从耐等离子体刻蚀材料、悬浮液等离子喷涂技术和在线监测技... 干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子IC制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀。本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与现状,从耐等离子体刻蚀材料、悬浮液等离子喷涂技术和在线监测技术领域的发展展望了抗等离子体刻蚀涂层的未来发展趋势。 展开更多
关键词 等离子体刻蚀 腔室内衬 悬浮液等离子喷涂 在线监测
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多通道半导体离子传感器的研究
8
作者 傅敏恭 龙定华 邹子亚 《南昌大学学报（理科版）》 CAS 1995年第2期170-175,共6页
本文采用半导体工艺、封装技术、表面化学修饰技术制备多通道半导体离子传感器，该离子传感器能同时输出三个稳定的信号，通过钾离子敏感膜的实验，结果表明，传感器的响应性能良好。
关键词 离子传感器 多通道 钾离子敏感膜 半导体
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基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状
9
作者 史海涛 欧毅 +6 位作者 陈大鹏 张青川 伍小平 焦斌斌 李超波 罗小光 由春娟 《电子工业专用设备》 2007年第1期6-9,共4页
非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注。一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来。介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前景。
关键词 非制冷红外成像 MEMS 双材料微悬臂梁阵列 光学读出
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常见气体声表面波传感器研究进展 被引量：4
10
作者 李晶晶 李冬梅 +3 位作者 赵以贵 柯导明 陈军宁 贾锐 《传感器世界》 2009年第3期6-10,共5页
声表面波(SAW)气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注。本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波传感器的研究进展。
关键词 声表面波 气体传感器 有害气体 敏感材料
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低压电子枪的设计和特性
11
作者 郭铸九 夏善红 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第A10期156-159,共4页
本文利用高电压把电子从阴极中拉出，再把它减速到人们所希望的能量，这种低压电子枪在工程和科学研究方面有着广泛的应用。本文还给出了电子枪设计原理和方法，通过两把实用电子枪的例子进行说明。本枪能获得３０～３００ｅＶ能量的高... 本文利用高电压把电子从阴极中拉出，再把它减速到人们所希望的能量，这种低压电子枪在工程和科学研究方面有着广泛的应用。本文还给出了电子枪设计原理和方法，通过两把实用电子枪的例子进行说明。本枪能获得３０～３００ｅＶ能量的高准直束流。由于离子流和热速度效应的影响，所测得电流比空间电荷最大限制流稍大。 展开更多
关键词 电子枪 电子流 低压 设计 特性
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MiniSAR与无人机系统集成应用研究 被引量：7
12
作者 王军锋 《北京测绘》 2013年第6期42-45,共4页
近年来无人机机载合成孔径雷达(SAR)技术发展迅速,成为全天时、全天候数据获取的重要手段。本文对无人机机载合成孔径雷达国外发展应用和国内研究进展进行了阐述,对Mini SAR载荷与无人机飞行平台系统集成进行了测试研究,并验证了在黄河... 近年来无人机机载合成孔径雷达(SAR)技术发展迅速,成为全天时、全天候数据获取的重要手段。本文对无人机机载合成孔径雷达国外发展应用和国内研究进展进行了阐述,对Mini SAR载荷与无人机飞行平台系统集成进行了测试研究,并验证了在黄河冰情凌汛应急监测的适用性,最后指出了无人机机载Mini SAR在行业应用中的价值。 展开更多
关键词 MINI SAR 无人机 系统集成 应用研究
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我国新型三氧化二铝表面钝化研究获进展
13
《功能材料信息》 2011年第6期38-39,共2页
目前，中科院微电子研究所在新型A1203表面钝化研究上取得突出进展。良好的表面钝化对于提升晶体硅太阳能电池的开路电压十分重要，传统晶体硅电池常用等离子体增强化学气相沉积法沉积SiNx：H薄膜，除了能够降低反射率以外，还对Si电池... 目前，中科院微电子研究所在新型A1203表面钝化研究上取得突出进展。良好的表面钝化对于提升晶体硅太阳能电池的开路电压十分重要，传统晶体硅电池常用等离子体增强化学气相沉积法沉积SiNx：H薄膜，除了能够降低反射率以外，还对Si电池的表面进行了较好的钝化。然而传统SiNx：H薄膜对晶体硅的表面钝化效果有限，因此对表面钝化技术的探索和研究，一直是国际上的重点研究领域。最近几年，国际上利用A1203对晶体硅进行表面钝化，再结合新的工艺，有效地提升Tp型和n型晶体硅电池的效率，Al2O3钝化技术有望在太阳能电池的生产中得到大规模的应用。 展开更多
关键词 表面钝化 等离子体增强化学气相沉积法 三氧化二铝 晶体硅太阳能电池 SINX 钝化技术 电子研究所 AL2O3
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基于MEMS的光力学红外成像 被引量：22
14
作者 潘亮 张青川 +4 位作者 伍小平 段志辉 陈大鹏 王玮冰 郭哲颖 《实验力学》 CSCD 北大核心 2004年第4期403-407,共5页
非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注。近期 ,非制冷的热机械型红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备。本文提出了一种新型光学读出的红外探测仪。此红外探测仪的核心器件焦平面阵列 (FPA)由无硅基... 非制冷红外成像仪以其优良的性价比和高可靠性而倍受关注。近期 ,非制冷的热机械型红外成像仪有望发展成为新的低价格高性能的红外成像设备。本文提出了一种新型光学读出的红外探测仪。此红外探测仪的核心器件焦平面阵列 (FPA)由无硅基底结构的微悬臂梁阵列构成。每个微悬臂梁独立地把入射的红外热辐射转化为被光学系统探测的热变形。它不需要读出电路、真空腔和制冷装置 ,其理论上的噪声等效温度差接近致冷型红外成像系统 ,而制作成本和难度将大幅降低。制作的无硅基底单层膜结构的FPA ,其单元尺寸为 2 0 0 μm× 1 0 0 μm ,阵列大小为 1 5 0× 1 0 0像素数。实验制作的系统探测到温度为 5 0 0K左右的热物体像 ,热像采样频率为 1 2幅 /秒。 展开更多
关键词 非制冷 微悬臂梁 红外探测仪 像素数 红外成像系统 读出电路 光力学 FPA 近期 左右
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定容法正压漏孔校准装置 被引量：14
15
作者 卢耀文 齐京 +5 位作者 陈旭 刘志宏 张明志 闫睿 徐天伟 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期579-584,共6页
研制出定容法正压漏孔校准装置。采用满量程分别为133 Pa（差压式）、1.33×10^5Pa（绝压式）的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量结果的影响;采用高精度半导体双级恒温系统获得了296... 研制出定容法正压漏孔校准装置。采用满量程分别为133 Pa（差压式）、1.33×10^5Pa（绝压式）的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量结果的影响;采用高精度半导体双级恒温系统获得了296±0.02 K的恒温效果,减小温度对漏孔漏率的影响;通过三个不同的标准体积作为定容室,拓宽装置的校准范围。研究结果证实,研制的校准装置仅采用定容法实现了3×10^-1~4×10^-8Pa·m^3/s的校准范围,合成标准不确定度为1.2%~3.2%。 展开更多
关键词 正压漏孔 校准 检漏 定容法
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光学读出室温物体红外成像 被引量：10
16
作者 郭哲颖 张青川 +5 位作者 陈大鹏 伍小平 董凤良 缪正宇 熊志铭 李超波 《实验力学》 CSCD 北大核心 2005年第2期213-218,共6页
光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,它是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形。本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光... 光学读出式红外成像系统是近年来提出的一种新型红外成像技术,它是基于探测双材料微悬臂梁吸收红外辐射后的变形。本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化,并设计制作了无基底单层膜结构微梁阵列(100×100pixels,微梁尺寸200×200μm2,厚2μm)。用该阵列在光学读出系统中,获得了室温下人体的热图像。该系统在室温时(300K)噪声等效温度差(NETD)达到0.2K。 展开更多
关键词 微悬臂梁 红外成像 光学读出 光电效应
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MEMS电磁执行器CoNi MnP永磁体阵列的制备 被引量：8
17
作者 张博军 赵湛 陈绍凤 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期385-387,共3页
永磁材料在微电子机械系统 (MEMS)器件中具有重要的应用价值 ,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术 ,给出了工艺制备的实验条件 ,并利用SEM分析了阵列的表面形貌 ,电子能... 永磁材料在微电子机械系统 (MEMS)器件中具有重要的应用价值 ,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术 ,给出了工艺制备的实验条件 ,并利用SEM分析了阵列的表面形貌 ,电子能谱分析了永磁材料组分。实验结果表明 ,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构 ,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例 :Co 85 %、Ni14 %。 展开更多
关键词 MEMS 微电子机械系统 电磁执行器 CoNiMnP 永磁体阵列 电铸 制备技术
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光学读出非制冷红外成像的最新进展 被引量：11
18
作者 董凤良 焦斌斌 +3 位作者 张青川 陈大鹏 缪正宇 熊志铭 《实验力学》 CSCD 北大核心 2007年第3期401-406,共6页
针对以前红外成像中红外图像的噪声等效温度差(NETD)较大和空间分辨率不高的问题,本文在制作工艺改善的基础上,设计了一个单元尺寸分别是50μm×50μm和60μm×60μm的红外焦平面阵列(FPA),它是由0.5μm厚的SiNx和0.2μm厚的Au... 针对以前红外成像中红外图像的噪声等效温度差(NETD)较大和空间分辨率不高的问题,本文在制作工艺改善的基础上,设计了一个单元尺寸分别是50μm×50μm和60μm×60μm的红外焦平面阵列(FPA),它是由0.5μm厚的SiNx和0.2μm厚的Au构成的双材料微悬臂梁阵列构成。微梁单元倾斜角的变化利用在谱平面刀口滤波的光学方法测量。FPA是利用基于体硅的表面微加工工艺制作的,利用制作的FPA的60μm×60μm单元区域和12bitCCD,得到了室温物体的热像。讨论了60μm×60μm单元区域的性能,给出了NETD在100mK左右。和以前的工作相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善。 展开更多
关键词 非制冷红外成像 光学读出 焦平面阵列 噪声等效温度差
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高灵敏的酞菁铜薄膜NO_2气体传感器 被引量：4
19
作者 傅敏恭 龙定华 +3 位作者 游幼 赵湛 邹子亚 杨连贵 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第2期89-92,共4页
本文采用真空气相物理沉积技术,在平面叉指电极上沉积酞菁铜薄膜制成的气体传感器。该传感器对NO_2有很高的灵敏度和良好的选择性,能检测出空气中1ppm浓度的NO_2,响应时间几十秒、恢复时间几分钟。在320℃下进行退火处理,传感器的稳定... 本文采用真空气相物理沉积技术,在平面叉指电极上沉积酞菁铜薄膜制成的气体传感器。该传感器对NO_2有很高的灵敏度和良好的选择性,能检测出空气中1ppm浓度的NO_2,响应时间几十秒、恢复时间几分钟。在320℃下进行退火处理,传感器的稳定性和重复性有明显的改善。 展开更多
关键词 传感器 酞菁铜 NO2传感器
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无线传感器网络节点能量供应系统设计 被引量：11
20
作者 张玉国 赵湛 +1 位作者 方震 郭鹏 《微计算机信息》 北大核心 2008年第4期129-130,284,共3页
在影响无线传感器网络的生命周期的众多因素中,节点的能量是其中最为重要的。节点的功耗、布撒环境以及具体应用等因素,都对节点的能量供给有重大影响。本文分析了当前基于能量挖掘的节点能量供应系统,并提出了改进的无线网络传感器能... 在影响无线传感器网络的生命周期的众多因素中,节点的能量是其中最为重要的。节点的功耗、布撒环境以及具体应用等因素,都对节点的能量供给有重大影响。本文分析了当前基于能量挖掘的节点能量供应系统,并提出了改进的无线网络传感器能量供应系统,实现了利用环境能量为无线网络传感器节点永久供电。 展开更多
关键词 无线传感器网络 能量供给 节点 能量挖掘
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