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超薄类金刚石膜纳米摩擦性能研究 被引量：4
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作者 陈曦 丁建宁 +5 位作者 李长生 刘东平 范真 朱守星 邓新绿 杨继昌 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期47-50,共4页
使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究。结果表明:氢化非晶碳膜(a C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm... 使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究。结果表明:氢化非晶碳膜(a C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm以下薄膜的微观承载性能和膜厚存在明显的正比例关系。通过分析磨损深度和循环次数之间的关系以及对磨损区域的导电性研究,表明a C∶H膜表层的微观承载性能较其内层相差很大,表面存在着一层软膜。 展开更多
关键词 类金刚石膜 原子力显微镜 摩擦性能
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