砷化镓半导体表面自然氧化层的X射线光电子能谱分析 被引量：5

1

作者 任殿胜 王为 +1 位作者 李雨辰 严如岳 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第10期1191-1194,共4页

用X射线光电子能谱 (XPS) ,测量了Ga3d和As3d光电子峰的结合能值 ,指认了砷化镓 (GaAs)晶片表面的氧化物组成 ,计算了表面氧化层的厚度 ,定量分析了表面的化学组成 ;比较了几种不同的砷化镓晶片表面的差异。结果表明 :砷化镓表面的自然... 用X射线光电子能谱 (XPS) ,测量了Ga3d和As3d光电子峰的结合能值 ,指认了砷化镓 (GaAs)晶片表面的氧化物组成 ,计算了表面氧化层的厚度 ,定量分析了表面的化学组成 ;比较了几种不同的砷化镓晶片表面的差异。结果表明 :砷化镓表面的自然氧化层主要由Ga2 O3 、As2 O5、As2 O3 和单质As组成 ,表面镓砷比明显偏离理想的化学计量比 ,而且 ,氧化层的厚度随镓砷比的增大而增加 ;溶液处理后 ,砷化镓表面得到了改善。讨论了可能的机理。 展开更多

关键词 砷化镓半导体 表面自然氧化层 X射线光电子能谱 结合能值

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砷化镓晶片表面的XPS研究 被引量：4

2

作者 任殿胜 王为 +1 位作者 李雨辰 严如岳 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第4期270-274,共5页

用X射线光电子能谱分析技术 (XPS)研究了几种砷化镓抛光片及经不同表面处理方法处理的砷化镓晶片表面的化学计量比和表面化学组成。结果表明砷化镓抛光片的表面自然氧化层中含有Ga2 O3、As2 O5、As2 O3及元素As;表面化学计量比明显富镓 。

关键词 晶片 砷化镓 XPS 表面特性 X射线电子能谱分析

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二次离子质谱的深度分辨本领 被引量：6

3

作者 朱怡峥 桂东 +3 位作者 陈娉 马农农 韩象明 查良镇 《真空》 CAS 北大核心 2000年第5期14-17,共4页

深度剖析是二次离子质谱在半导体以及各种其它薄膜材料分析中最重要的应用 ,深度分辨本领是表征其分析能力的重要参数 ,国际标准化组织 ( ISO)最近正在研究和制定这方面的国际标准。本文在概述了SIMS深度分辨本领影响因素的基础上 ,推... 深度剖析是二次离子质谱在半导体以及各种其它薄膜材料分析中最重要的应用 ,深度分辨本领是表征其分析能力的重要参数 ,国际标准化组织 ( ISO)最近正在研究和制定这方面的国际标准。本文在概述了SIMS深度分辨本领影响因素的基础上 ,推导了δ掺杂层深度分辨函数的解析表达式 ,讨论了其物理意义 ,特别是分辨参数的定义。在 CAMECA IMS4 f仪器上用 5.5ke V的氧束对 Si中 Ga Asδ掺杂多层膜样品进行了深度剖析 ,讨论了所得分辨参数及影响因素。结合国外实验室 ISO巡回测试的结果 。 展开更多

关键词 二次离子质谱 深度分辨 半导体 薄膜材料 分析

原文传递

全国产化掺镱双包层高功率光纤激光器的研制 被引量：1

4

作者 贾秀杰 郭占城 +4 位作者 范万德 付圣贵 袁树忠 宁鼎 董孝义 《南开大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期87-90,共4页

利用自行研制的大模面积双包层光纤和光学耦合系统以及国产的 LD 泵源,研制开发出一种便携式掺 Yb^(3+)双包层光纤激光器,最大激光输出功率达到了12.73w,斜率效率为76.9%,激光器的光-光转换效率为45%.实现了全国产化的、高功率、高转换... 利用自行研制的大模面积双包层光纤和光学耦合系统以及国产的 LD 泵源,研制开发出一种便携式掺 Yb^(3+)双包层光纤激光器,最大激光输出功率达到了12.73w,斜率效率为76.9%,激光器的光-光转换效率为45%.实现了全国产化的、高功率、高转换效率的稳定激光输出,而且具有较高的光束质量,给出了该激光器的实验结果,并对其主要特性进行了简要的分析。 展开更多

关键词 掺镱双包层大模面积光纤 全国产光纤激光器 斜率效率 光-光转换效率

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影响SI-GaAs单晶抛光片均匀性的因素研究 被引量：1

5

作者 赖占平 齐德格 +3 位作者 高瑞良 杜庚娜 刘晏凤 刘建宁 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期176-179,共4页

高度PLmapping均匀的SI GaAs单晶抛光片是制作大功率微波器件和大规模超高速数字集成电路的理想衬底。本工作对影响SI GaAs单晶抛光片均匀性的各种因素进行了研究。发现位错密度对晶体的宏观电阻率均匀性和微观均匀性以及PLmapping均匀... 高度PLmapping均匀的SI GaAs单晶抛光片是制作大功率微波器件和大规模超高速数字集成电路的理想衬底。本工作对影响SI GaAs单晶抛光片均匀性的各种因素进行了研究。发现位错密度对晶体的宏观电阻率均匀性和微观均匀性以及PLmapping均匀性都有一定的影响 ;而晶体的AB EPD和抛光工艺对PLmapping均匀性影响更大 ,AB EPD与热处理工艺有关。对实验现象进行了解释。 展开更多

关键词 砷化镓 单晶 均匀性 抛光片 缺陷 衬底 集成电路

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X射线多重衍射的一些实验研究 被引量：1

6

作者 郝建民 杨传铮 《分析测试学报》 CAS CSCD 1999年第5期25-28,共4页

使用在试样架上附加有Φ旋转装置的X射线粉末衍射仪,对Si(001)晶片和In1 -xAlxAs/GaAs一维超点阵样品,进行了一些X射线多重衍射实验研究,初步解释了所获得的多重衍射花样 ,得到了一些有关的结构信息。

关键词 X射线衍射 多重衍射 砷化镓 单晶体

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用XPS研究Na_2S钝化的GaAs(100)表面 被引量：1

7

作者 任殿胜 李雨辰 +1 位作者 严如岳 王为 《现代仪器》 2001年第3期28-30,共3页

本文用Na_2S·9H_2O的水溶液及乙醇和异丙醇溶液对GaAs表面进行了钝化处理;用X射线光电子能谱仪(XPS)对钝化表面的化学组成和价态以及钝化层的厚度进行了研究。结果表明,经不同的Na_2S溶液处理后GaAs表面的自然氧化层会被除去,表面... 本文用Na_2S·9H_2O的水溶液及乙醇和异丙醇溶液对GaAs表面进行了钝化处理;用X射线光电子能谱仪(XPS)对钝化表面的化学组成和价态以及钝化层的厚度进行了研究。结果表明,经不同的Na_2S溶液处理后GaAs表面的自然氧化层会被除去,表面生成硫化镓和硫化砷;硫化物的含量与硫化层厚度与所用溶液的极性有关;并对钝化机理进行了探讨。 展开更多

关键词 GAAS 表面钝化 XPS

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掺镱双包层结构石英光纤的优化设计及制作

8

作者 衣永青 宁鼎 +1 位作者 荆光明 梁小红 《光通信研究》 北大核心 2003年第6期46-49,共4页

文章主要介绍了用MCVD工艺及溶液掺杂法制备掺Yb3+双包层结构石英光纤的优化设计、原理及制作工艺.制作出Yb3+掺杂浓度高(吸收损耗在976nm时为2～10dB/m)、本底损耗低(在1.3μm时为10dB/km)的掺Yb3+双包层结构石英光纤.

关键词 MCVD 溶液掺杂 镱掺杂 双包层结构石英光纤

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VGF结晶法中砷化镓表面平衡温度的计算

9

作者 魏东 马一太 +1 位作者 李贵全 王占龙 《上海理工大学学报》 CAS 北大核心 2001年第3期279-282,共4页

根据VGF结晶技术的特点,建立了结晶炉内的辐射换热模型,并利用有限差分法对变温条件下砷化镓晶体表面的辐射换热进行了数值求解. 模拟结果得出了晶体表面平衡温度的变化规律,与设定值比较具有良好的一致性. 所得结果确定了晶体生长过程... 根据VGF结晶技术的特点,建立了结晶炉内的辐射换热模型,并利用有限差分法对变温条件下砷化镓晶体表面的辐射换热进行了数值求解. 模拟结果得出了晶体表面平衡温度的变化规律,与设定值比较具有良好的一致性. 所得结果确定了晶体生长过程数值模拟的热边界条件,并对实际的温度控制提供了重要的理论依据. 展开更多

关键词 VGF 砷化镓 平衡温度 辐射换热

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掺铥石英光纤的掺杂浓度实验研究 被引量：2

10

作者 王文涛 阮灵 +2 位作者 宁鼎 唐凤再 张雪玮 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2000年第4期273-276,共4页

介绍了掺 Tm3+石英光纤的研究概况与溶液掺杂法的简要工艺过程。着重阐述了制备工艺中稀土离子溶液浓度对掺杂浓度的影响 ,Tm3+掺杂浓度与 Tm3+特征吸收峰值间的关系。关于最佳掺杂浓度问题也进行了初步讨论。

关键词 溶液掺杂 掺杂浓度 掺铥石英光纤 实验

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离子色谱法测定石英微粉水萃取液中的Cl^- 被引量：1

11

作者 王奕 褚连青 王金钢 《化学分析计量》 CAS 2002年第2期34-34,36,共2页

建立了离子色谱法测定石英微粉水萃取液中Cl^-的方法。比对试验证明,该方法的精密度和准确度与经典方法无显著性差异,而且简便、快捷,检测时间从4h缩短到15 min。

关键词 离子色谱法 石英微粉 测定 氯离子 水萃取液 电子工业

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几种Ⅲ─Ⅴ族化合物半导体材料的研究热点 被引量：3

12

作者 毕叔和 《热固性树脂》 CAS CSCD 1999年第4期114-117,共4页

本文分别介绍了Ⅲ－Ⅴ族化合物砷化镓（ＧａＡｓ），氮化镓（ＧａＮ），锑化镓（ＧａＳｂ）的特性、生长方 法，国内外研究水平及应用。

关键词 Ⅲ-Ⅴ族化合物 生长方法 半导体材料 镓

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FAAS法测定高纯铝丝中的铁、铜、锌、锰和镁 被引量：4

13

作者 褚连青 王金钢 王奕 《现代仪器》 2000年第1期17-18,共2页

本文提出了高纯铝丝中的铁、铜、锌、锰和镁的火焰原子吸收测定方法,对基体及共存离子对待测元素的干扰及消除进行了研究,实验结果表明:方法简单、快速,加标回收率为95.0％～105％,相对标准偏差为1.51％～5.26％。

关键词 火焰原子吸收法 高纯铝丝 测定 铝 铁 铜 锌 锰

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GaSb体单晶的研究现状与展望 被引量：1

14

作者 苏宇欢 《热固性树脂》 CAS CSCD 1999年第4期111-113,共3页

本文就ＧａＳｂ体单晶的材料特性和国内外研究现状展开论述，最后展望了该材料的发展前景。

关键词 单晶 材料 现状 远景 半导体材料 锑化镓

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硫系玻璃红外光纤的特性和应用研究 被引量：2

15

作者 苏宇欢 毕叔和 任学民 《光纤与电缆及其应用技术》 2000年第5期3-8,共6页

本文综述了硫系玻璃红外光纤的材料特性和应用研究 ,并展望了该材料的发展前景。

关键词 硫系玻璃光纤 红外光纤 特性 应用

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红外电解质包层金属空芯波导的制备

16

作者 张晓东 韩颖 +3 位作者 朱守正 刘昆 赵金歧 张德生 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期246-247,共2页

介绍了用液相化学法制作红外电解质包层金属空芯波导的工艺及传输原理。我们制备了在 1 0 .6μm透过率每 0 .5 m达到 79.95 %的红外电解质包层金属空芯波导。对制作中出现的现象及测量结果进行分析。

关键词 红外 金属空芯波导 制备 电解质

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浅谈日本的质量管理 被引量：1

17

作者 王丽萍 张文娟 《轻工标准与质量》 2000年第5期50-51,共2页

关键词 日本 质量管理 质量保证体系 发展

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富铝莫来石相的XRD定量 被引量：3

18

作者 郝建民 《现代仪器》 2001年第3期26-27,30,共3页

本文利用已发表的单晶莫来石相的结构数据,分析了莫来石相计算衍射峰强度随铝硅原子比的变化,找到了强度不受铝硅原子比影响的组合衍射峰,100％(110)+56％[(120)+(210)],实现了富铝莫来石的定量。

关键词 XRD 莫来石 定量

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圆形电介质包层金属空心光纤 被引量：2

19

作者 苏宇欢 《光纤与电缆及其应用技术》 2001年第4期39-45,共7页

综述了圆形电介质包层金属空心光纤的材料特性、制作工艺与应用 。

关键词 空心光纤 红外光纤 圆形电介质

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渐变折射率塑料光纤的研究动态 被引量：1

20

作者 毕叔和 《光纤与电缆及其应用技术》 2001年第5期1-8,共8页

介绍了渐变折射率塑料光纤 (GI- POF)的传输性能、制造方法和应用 ,简述了国内GI- POF的研究动态和展望。

关键词 塑料光纤 渐变折射率光纤 阶跃折射率光纤 聚甲基丙烯酸甲醌 传输性能 带宽 衰减

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