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多靶磁控溅射系统磁场优化设计
被引量：
1
1
作者
庞恩敬
朱颖
+3 位作者
李芬
李刘合
卢求元
朱剑豪
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期908-912,共5页
磁场分布对磁控溅射稳定性、离化率、靶材利用率及成膜质量都有重要影响,合理分布可使靶材附近等离子体分布均匀,不同位置溅射速率差减小,靶材刻蚀范围增大,靶材寿命延长,溅射过程稳定性提高。本文针对六靶复合表面改性设备,用有限元法...
磁场分布对磁控溅射稳定性、离化率、靶材利用率及成膜质量都有重要影响,合理分布可使靶材附近等离子体分布均匀,不同位置溅射速率差减小,靶材刻蚀范围增大,靶材寿命延长,溅射过程稳定性提高。本文针对六靶复合表面改性设备,用有限元法对磁场进行模拟,得到较理想的磁场分布,为优化设计提供理论依据。
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关键词
磁场
多靶
有限元模拟
原文传递
焊接温度场与力学场模拟的研究进展
被引量：
26
2
作者
薛忠明
杨广臣
张彦华
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第11期977-980,989,共5页
综述了国内外有关焊接温度场与力学场模拟的最新研究进展 ,主要内容包括焊接温度场和力学场模拟的基础理论、关键模型及模拟方法。对焊接温度场、显微组织转变及焊接残余应力的耦合分析进行了讨论 ,介绍了几种典型的焊接模拟专用软件以...
综述了国内外有关焊接温度场与力学场模拟的最新研究进展 ,主要内容包括焊接温度场和力学场模拟的基础理论、关键模型及模拟方法。对焊接温度场、显微组织转变及焊接残余应力的耦合分析进行了讨论 ,介绍了几种典型的焊接模拟专用软件以及并行有限元分析技术。
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关键词
研究进展
焊接
温度场
应力
变形
数值模拟
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职称材料
电子束焊接动态过程仿真分析
被引量：
5
3
作者
张海泉
李刘合
+3 位作者
张彦华
史建刚
李光
夏立芳
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2002年第3期256-259,共4页
基于有限差分理论和入射电子束服从高斯分布、在有限平板中匙孔理想化为旋转抛物面的基本假设,利用C++Buildel快速开发软件,在Windows NT平台上综合OpenGL图形接口及多线程技术开发了电子束焊接动态过程仿真系统EBWSIM.结果表明:该系统...
基于有限差分理论和入射电子束服从高斯分布、在有限平板中匙孔理想化为旋转抛物面的基本假设,利用C++Buildel快速开发软件,在Windows NT平台上综合OpenGL图形接口及多线程技术开发了电子束焊接动态过程仿真系统EBWSIM.结果表明:该系统通过友好的图形用户界面可实现工艺参数、材料参数、约束控制、视点追踪等焊接过程与移动热源焊接匙孔及其三维温度场的可视化实时交互,并能够实时仿真电子束深熔焊各点的热循环、焊缝横截面、热影响区分布、焊缝钉形缺陷和匙孔曲面的形成过程,模拟结果与实验数据吻合较好.
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关键词
动态过程
仿真分析
电子束焊接
可视化技术
有限差分法
OPENGL
计算机仿真
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职称材料
带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究
被引量：
1
4
作者
李刘合
刘红涛
+1 位作者
罗辑
许亿
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期233-241,共9页
采用大尺寸矩形石墨靶作为真空阴极电弧源,研制了带状真空电弧磁过滤器.使用法拉第杯和朗缪尔探针对90?弯曲磁过滤器中的带状等离子体出口所在平面的15个区域的离子能量和密度进行了测试;用该带状真空电弧磁过滤器制备了类金刚石膜(diam...
采用大尺寸矩形石墨靶作为真空阴极电弧源,研制了带状真空电弧磁过滤器.使用法拉第杯和朗缪尔探针对90?弯曲磁过滤器中的带状等离子体出口所在平面的15个区域的离子能量和密度进行了测试;用该带状真空电弧磁过滤器制备了类金刚石膜(diamond-like carbon,DLC);对相应位置上的类金刚石膜进行了Raman分析和膜厚测量.结果表明:磁过滤器出口所在平面的15个划分区域中离子能量分布接近麦克斯韦分布,离子能量分布与类金刚石膜的结构具有明显的对应特征,离子密度分布与DLC膜膜厚分布相互之间具有相关性.
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关键词
离子能量
离子密度
类金刚石膜
拉曼光谱
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职称材料
Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展
被引量：
4
5
作者
徐晔
蔡珣
+2 位作者
陈秋龙
沈耀
李刘合
《新技术新工艺》
2006年第8期5-8,共4页
随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响。
关键词
Ti-Si-N膜
纳米复合膜
微观结构
纳米硬度
工艺参数
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职称材料
题名
多靶磁控溅射系统磁场优化设计
被引量：
1
1
作者
庞恩敬
朱颖
李芬
李刘合
卢求元
朱剑豪
机构
北京航空航天大学
香港城市
大学
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期908-912,共5页
基金
国家自然科学基金(10775013,11075012)
教育部新世纪优秀人才支持计划
“中央高校基本科研业务费”专项资金(YWF-10-01-A07)资助
文摘
磁场分布对磁控溅射稳定性、离化率、靶材利用率及成膜质量都有重要影响,合理分布可使靶材附近等离子体分布均匀,不同位置溅射速率差减小,靶材刻蚀范围增大,靶材寿命延长,溅射过程稳定性提高。本文针对六靶复合表面改性设备,用有限元法对磁场进行模拟,得到较理想的磁场分布,为优化设计提供理论依据。
关键词
磁场
多靶
有限元模拟
Keywords
Magnetic field, Multi-target, Finite element simulation
分类号
TB79 [一般工业技术—真空技术]
原文传递
题名
焊接温度场与力学场模拟的研究进展
被引量：
26
2
作者
薛忠明
杨广臣
张彦华
机构
北京航空航天大学
机械工程
及自动化
学院
材料
加工与
控制
工程
系
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第11期977-980,989,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 5 9875 0 0 3)
文摘
综述了国内外有关焊接温度场与力学场模拟的最新研究进展 ,主要内容包括焊接温度场和力学场模拟的基础理论、关键模型及模拟方法。对焊接温度场、显微组织转变及焊接残余应力的耦合分析进行了讨论 ,介绍了几种典型的焊接模拟专用软件以及并行有限元分析技术。
关键词
研究进展
焊接
温度场
应力
变形
数值模拟
Keywords
welding temperature field stress distortion simulation
分类号
TG4 [金属学及工艺—焊接]
TB115 [理学—应用数学]
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职称材料
题名
电子束焊接动态过程仿真分析
被引量：
5
3
作者
张海泉
李刘合
张彦华
史建刚
李光
夏立芳
机构
北京航空航天大学
材料
加工与
控制
工程
系
哈尔滨工业
大学
材料
科学与
工程
学院
出处
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2002年第3期256-259,共4页
基金
国防预研基金
文摘
基于有限差分理论和入射电子束服从高斯分布、在有限平板中匙孔理想化为旋转抛物面的基本假设,利用C++Buildel快速开发软件,在Windows NT平台上综合OpenGL图形接口及多线程技术开发了电子束焊接动态过程仿真系统EBWSIM.结果表明:该系统通过友好的图形用户界面可实现工艺参数、材料参数、约束控制、视点追踪等焊接过程与移动热源焊接匙孔及其三维温度场的可视化实时交互,并能够实时仿真电子束深熔焊各点的热循环、焊缝横截面、热影响区分布、焊缝钉形缺陷和匙孔曲面的形成过程,模拟结果与实验数据吻合较好.
关键词
动态过程
仿真分析
电子束焊接
可视化技术
有限差分法
OPENGL
计算机仿真
Keywords
electron beam welding
visualization technology
finite difference method
OpenGL
分类号
TG456.3 [金属学及工艺—焊接]
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究
被引量：
1
4
作者
李刘合
刘红涛
罗辑
许亿
机构
北京航空航天大学机械工程及自动化学院材料加工与控制系
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期233-241,共9页
基金
国家自然科学基金(批准号:11275020)
国家科技重大专项(批准号:2014zx04012012)资助的课题~~
文摘
采用大尺寸矩形石墨靶作为真空阴极电弧源,研制了带状真空电弧磁过滤器.使用法拉第杯和朗缪尔探针对90?弯曲磁过滤器中的带状等离子体出口所在平面的15个区域的离子能量和密度进行了测试;用该带状真空电弧磁过滤器制备了类金刚石膜(diamond-like carbon,DLC);对相应位置上的类金刚石膜进行了Raman分析和膜厚测量.结果表明:磁过滤器出口所在平面的15个划分区域中离子能量分布接近麦克斯韦分布,离子能量分布与类金刚石膜的结构具有明显的对应特征,离子密度分布与DLC膜膜厚分布相互之间具有相关性.
关键词
离子能量
离子密度
类金刚石膜
拉曼光谱
Keywords
ion energy
ion density
diamond-like carbon
Raman spectrum
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展
被引量：
4
5
作者
徐晔
蔡珣
陈秋龙
沈耀
李刘合
机构
上海交通
大学
先进热处理与表面改性
工程
技术研究中心
北京航空航天大学
机械
设计与
自动化
学院
材料
加工与
控制
系
出处
《新技术新工艺》
2006年第8期5-8,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50271004)
上海市纳米专项基金资助项目(0359nm005)
文摘
随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响。
关键词
Ti-Si-N膜
纳米复合膜
微观结构
纳米硬度
工艺参数
Keywords
Ti-Si-N film, nanocomposite coating, microstructure, nano hardness, processing parameters
分类号
TB33 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多靶磁控溅射系统磁场优化设计
庞恩敬
朱颖
李芬
李刘合
卢求元
朱剑豪
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
原文传递
2
焊接温度场与力学场模拟的研究进展
薛忠明
杨广臣
张彦华
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
26
下载PDF
职称材料
3
电子束焊接动态过程仿真分析
张海泉
李刘合
张彦华
史建刚
李光
夏立芳
《材料科学与工艺》
EI
CAS
CSCD
2002
5
下载PDF
职称材料
4
带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究
李刘合
刘红涛
罗辑
许亿
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
下载PDF
职称材料
5
Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展
徐晔
蔡珣
陈秋龙
沈耀
李刘合
《新技术新工艺》
2006
4
下载PDF
职称材料
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