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晶圆级薄膜铌酸锂波导制备工艺与性能表征
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作者 叶志霖 李世凤 +5 位作者 崔国新 尹志军 王学斌 赵刚 胡小鹏 祝世宁 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期426-433,共8页
随着光子集成和光通信技术的快速发展,低损耗波导是实现高效光子传输的关键元件,其性能直接影响整个集成芯片的性能。因此,低损耗波导的制备技术是当前铌酸锂集成光子技术研究的热点和难点。本研究针对晶圆级低损耗薄膜铌酸锂波导的制... 随着光子集成和光通信技术的快速发展,低损耗波导是实现高效光子传输的关键元件,其性能直接影响整个集成芯片的性能。因此,低损耗波导的制备技术是当前铌酸锂集成光子技术研究的热点和难点。本研究针对晶圆级低损耗薄膜铌酸锂波导的制备工艺进行了深入研究,在4英寸的薄膜铌酸锂晶圆上,基于深紫外光刻和电感耦合等离子体刻蚀技术,成功制备出了传输损耗低于0.15 dB/cm的波导,同时刻蚀深度误差控制在10%以内,极大地提高了波导结构的精确度。此外,本研究还提出了一种基于微环谐振腔的晶圆上波导损耗的表征方案,能更精确地评估波导性能。通过测试,发现所制备的波导合格率超过85%,显示出良好的可重复性和可靠性。本文中发展的晶圆级薄膜铌酸锂加工工艺,对推进铌酸锂波导的大规模制备和应用具有重要意义。 展开更多
关键词 薄膜铌酸锂 晶圆级加工 波导损耗测量 深紫外光刻 ICP刻蚀 集成光子技术
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基于网络互联的水泥土搅拌桩施工监测系统 被引量：1
2
作者 戴正伟 倪荣萍 +1 位作者 张虞 吴冰 《江苏建筑》 2020年第3期70-73,共4页
水泥土搅拌是软基处理的常用手段。但现阶段对整个水泥土搅拌桩施工过程中的监测手段较为单一,依赖人力较多。利用当前网络互联技术及完善的传感、探测技术可以实现监测过程无人化、准确化,获得相关质量信息"可调取、可验证、可对... 水泥土搅拌是软基处理的常用手段。但现阶段对整个水泥土搅拌桩施工过程中的监测手段较为单一,依赖人力较多。利用当前网络互联技术及完善的传感、探测技术可以实现监测过程无人化、准确化,获得相关质量信息"可调取、可验证、可对比、可监督"的工程全生命周期数据体系。该文以横江大道的SG3建标工程为例,可见整个监测系统监测精度高、智能程度高,横江大道整个工程存在打桩长度不够、用浆量不足等问题,但通过监测系统,又进行了补桩的操作,一定程度上弥补了打桩过程中的失误,保证了路基的安全。 展开更多
关键词 水泥土搅拌桩 软土地基 全自动 施工系统 网络互联
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