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MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试 被引量：1
1
作者 徐肯 王绍清 冯勇建 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第11期8-11,共4页
介绍了一种用硅–硅键合MEMS技术制作的高温电容式压力传感器,并给出了详细的制作工艺。文中对测试装置、测试电路进行了介绍和深入分析,最后用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试,测试结果表明这种微传感器可在低于350℃的条... 介绍了一种用硅–硅键合MEMS技术制作的高温电容式压力传感器,并给出了详细的制作工艺。文中对测试装置、测试电路进行了介绍和深入分析,最后用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试,测试结果表明这种微传感器可在低于350℃的条件下正常工作,且具有很大的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度,其应用前景十分广阔。 展开更多
关键词 微机电系统 高温 传感器 电容式 压力测试
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电容式加速度微传感器 被引量：1
2
作者 郑志霞 冯勇建 《莆田学院学报》 2004年第3期60-63,共4页
介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理,并进行受力分析。利用ANSYS进行有限元分析,得出加速度和电容之间的非线性关系,证明了该传感器在工艺设计上的可行性。设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程,制作出满足不同测量要求... 介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理,并进行受力分析。利用ANSYS进行有限元分析,得出加速度和电容之间的非线性关系,证明了该传感器在工艺设计上的可行性。设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程,制作出满足不同测量要求、有较高精度的加速度传感器。 展开更多
关键词 加速度 微传感器 电容式 MEMS工艺 有限元分析 形变
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7740玻璃湿法腐蚀凹槽及槽内光刻图形的研究 被引量：6
3
作者 郑志霞 林雁飞 冯勇建 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期370-372,共3页
用玻璃腐蚀工艺制作MEMS器件,腐蚀非常困难.通过对PYREX7740玻璃在Buffer溶液中腐蚀速率的研究发现,PYREX7740玻璃腐蚀1μm的槽需要25min,而作为掩膜的光刻胶在腐蚀液中只能保持10min不浮胶.为此,文中详细介绍了运用一次光刻,多次坚膜,... 用玻璃腐蚀工艺制作MEMS器件,腐蚀非常困难.通过对PYREX7740玻璃在Buffer溶液中腐蚀速率的研究发现,PYREX7740玻璃腐蚀1μm的槽需要25min,而作为掩膜的光刻胶在腐蚀液中只能保持10min不浮胶.为此,文中详细介绍了运用一次光刻,多次坚膜,多次腐蚀的工艺,来达到对PYREX7740玻璃进行深腐蚀的方法.实验结果表明,光刻胶厚度、坚膜时间、坚膜次数和坚膜温度都与光刻胶的浮胶有关,最后给出了不同条件下凹槽深度与所需的曝光和显影时间的关系,槽越深需要的曝光和显影时间越长.这对于用PYREX7740玻璃制作MEMS器件具有重要意义. 展开更多
关键词 玻璃 光刻图形 湿法腐蚀 MEMS器件 BUFFER 显影时间 光刻胶 工艺制作 腐蚀速率 详细介绍 凹槽深度 坚膜 腐蚀液 曝光
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碳酸根和碳酸氢根测定方法和自动测定仪 被引量：12
4
作者 郑志霞 张丹 冯勇建 《现代仪器》 2004年第4期44-46,共3页
油田水中含有大量的碳酸根和碳酸氢根 ,介绍采用双电极法测定的原理和方法 ,并研制基于该法的自动测定系统。测试系统以单片机为核心进行控制和信号处理 ,放大电路实现高阻抗匹配和信号放大 ,温度补偿电路实现温度的自补偿。系统具有性... 油田水中含有大量的碳酸根和碳酸氢根 ,介绍采用双电极法测定的原理和方法 ,并研制基于该法的自动测定系统。测试系统以单片机为核心进行控制和信号处理 ,放大电路实现高阻抗匹配和信号放大 ,温度补偿电路实现温度的自补偿。系统具有性能可靠、测量速度快、测量范围宽、可长时间连续使用和在线测试的特点。 展开更多
关键词 碳酸根 碳酸氢根 离子选择电极 单片机 自动测定仪 双电极法 油田水质分析
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油田水硬度测试方法及自动化测试仪器
5
作者 郑志霞 邓俊泳 +1 位作者 冯勇建 郑剑翔 《化学传感器》 CAS 2004年第1期63-66,共4页
油田水中含有大量的钠离子,离子选择电极法测油田水硬度必需克服钠离子的干扰,该文采用含有与水样同量Na^+的标准溶液校准电极来解决。测试系统以单片机为核心进行控制和信号处理,放大电路实现高阻抗匹配和信号放大。系统具有性能可靠... 油田水中含有大量的钠离子,离子选择电极法测油田水硬度必需克服钠离子的干扰,该文采用含有与水样同量Na^+的标准溶液校准电极来解决。测试系统以单片机为核心进行控制和信号处理,放大电路实现高阻抗匹配和信号放大。系统具有性能可靠、测量速度快、测量范围宽、可长时间连续使用和在线测试的特点。 展开更多
关键词 离子选择电极法 油田水 硬度测试 自动化测试仪器 单片机
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自适应控制用于消除被动加载系统中多余力
6
作者 冯勇建 《机床与液压》 北大核心 2002年第4期53-55,共3页
本文对由电液伺服系统组成的被动加载装置进行厂详细的建模研究并通过对抽油机电液被动加载系统的仿真研究,模拟了被动加载系统中的多余力。针对被动加载系统中存在强运动干扰一多余力这一显著问题,本文提出了全部用计算机控制完成的消... 本文对由电液伺服系统组成的被动加载装置进行厂详细的建模研究并通过对抽油机电液被动加载系统的仿真研究,模拟了被动加载系统中的多余力。针对被动加载系统中存在强运动干扰一多余力这一显著问题,本文提出了全部用计算机控制完成的消除强干扰的自适应控制算法并给出对被加载体运动状态进行无偏估计的卡尔曼滤波算法以提高控制精度。最后,对抽油机电液被动加载系统进行了试验研究,经过试验验证,本文给出的以计算机为核心的有卡尔曼滤波器的消除强干扰的自适应控制加载系统能有效的消除被动加载系统中的多余力,整套系统控制精度高,工作性能稳定。 展开更多
关键词 被动加载系统 多余力 自适应控制 卡尔曼滤波 电液伺服系统
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基于PIC单片机开发的高精度数据采集器 被引量：3
7
作者 谢希 冯勇建 《仪表技术》 2005年第1期53-54,57,共3页
介绍利用PIC单片机对24位的Δ ∑模数转换芯片进行应用而开发的一种通用高精度数据采集器。具体介绍了数据采 集器中的A/D转换芯片的工作原理,PIC单片机的通讯模块,实现数据采集工作的相应电路及程序流程图。
关键词 高精度 A/D转换 PIC单片机
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