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题名高科技工业厂房(二次配)工艺管线专业的应用及特性
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作者
马宏俊
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机构
同方股份有限公司高科技厂务事业部
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出处
《中国科技期刊数据库 工业A》
2024年第2期0168-0171,共4页
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文摘
近年来,随着新建电子厂房的蓬勃发展和芯片国产化替代浪潮的引领,半导体产业也如雨后春笋般涌现,客户对工业厂房的需求,由原来的schedule、工期的要求、生产目标的要求,包括投产运行的目标,逐步在向更高更深层次发展,比如节能高效、可持续、绿色安全、高质量等要求,同时,企业也在不断加强相关规范标准要求,以达成建厂目标。
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关键词
二次配
BIM技术
二次配设计
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分类号
TU277.9
[建筑科学—建筑设计及理论]
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题名动态补偿下洁净室空气温湿度计测量误差自动控制
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作者
马宏俊
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机构
同方股份有限公司高科技厂务事业部
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出处
《自动化与仪表》
2024年第2期21-24,29,共5页
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文摘
温湿度计受使用环境差异、设备老化损坏和人为操作失误等影响,测量误差较大,为此,提出动态补偿下的洁净室空气温湿度计测量误差自动控制方法。基于传播系数整合精密露点仪差异、温湿度箱湿度变化、重复测量温湿度计、温湿度计分辨力导致的温度、湿度测量误差数据,引入稳定性函数来描述最大允许温湿度误差的稳定特性,并将该函数作为控制装置的参考。建立温湿度传感器和控制装置之间的数学关系,基于数学关系设计一种适用于此问题的反滤波补偿器,采用递推方式进行周期性的测量误差参数校准与补偿过程,实现动态补偿控制。实验测试结果表明,经由所提方法控制后,可取得与实际结果非常接近的测量结果,将测量误差控制在非常小的范围内,确保温湿度计测量结果具有高精度。
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关键词
动态补偿函数
温湿度计测量误差
反滤波补偿器
传播系数
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Keywords
dynamic compensation function
measurement error of temperature hygrometer
anti filtering compensator
propagation coefficien
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH71
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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