期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
利用双束技术制备纳米锆氧化物薄膜的研究 被引量：1
1
作者 杨斌 黄宁康 +1 位作者 雷家荣 汪德志 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期852-855,共4页
作者采用离子束溅射沉积Zr的同时 ,进行氧离子的轰击 ,随着注入离子束流密度的变化 ,所形成的锆氧化物薄膜从非晶态向晶态转化 ,其形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶 .实验发现 ,衬底不同对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也... 作者采用离子束溅射沉积Zr的同时 ,进行氧离子的轰击 ,随着注入离子束流密度的变化 ,所形成的锆氧化物薄膜从非晶态向晶态转化 ,其形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶 .实验发现 ,衬底不同对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也不同 . 展开更多
关键词 双离子束技术 锆氧化物 纳米晶粒 薄膜 制备
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部