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题名3～5μm红外窗口增透涂层的制备与性能研究
被引量：2
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作者
王浩
曾宪光
孙德恩
裴晨蕊
黄佳木
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机构
重庆大学材料科学与工程学院
四川理工学院腐蚀与防护实验室
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出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2017年第8期677-681,687,共6页
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基金
中央高校基本科研业务费科研专项理工类跨学科项目资助(CDJZR14135502)
重庆市基础与前沿研究计划项目(cstc2015jcyj A70005)
材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金(2016CL13)
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文摘
利用直流非平衡磁控溅射技术,在100℃条件下,在单晶硅上制备了具有红外增透效果的类金刚石薄膜,研究了偏压对薄膜结构、机械性能和红外光学性能的影响,解释了薄膜结构与性能之间的关系。利用场发射扫描电镜(FESEM)、Dektak150型台阶仪、Raman光谱仪、纳米压痕仪、椭偏仪和傅里叶红外吸收光谱仪表征薄膜形貌、结构、硬度、折射率和红外光学性能。实验结果表明:在偏压为-100 V时,薄膜中sp3相含量最高,得到最大的纳米硬度14.8 GPa和最大折射率2.36,此时透光率为67.3%;在偏压为-200 V时,薄膜硬度为11.2 GPa,薄膜的折射率为2.06,最接近零反射膜所需折射率,此时透过率最大。
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关键词
红外窗口
类金刚石薄膜
脉冲负偏压
力学性能
光学性能
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Keywords
infrared window, diamond like carbon films, pulsed negative bias, mechanical properties,optical properties
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分类号
TN213
[电子电信—物理电子学]
TN214
[电子电信—物理电子学]
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