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SOI高温压力传感器的研究现状 被引量：9
1
作者 张书玉 张维连 +1 位作者 张生才 姚素英 《河北工业大学学报》 CAS 2005年第2期14-19,共6页
SOI(silicononinsulator)高温压力传感器是一种新型的半导体高温压力传感器,具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点,能够解决石油、汽车、航空、航天等领域对高温压力传感器的迫切需求,在高温领域有很大的潜力.本文论述了SOI材料的制备方... SOI(silicononinsulator)高温压力传感器是一种新型的半导体高温压力传感器,具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点,能够解决石油、汽车、航空、航天等领域对高温压力传感器的迫切需求,在高温领域有很大的潜力.本文论述了SOI材料的制备方法-特别是硅片直接键合技术(SDB),简单介绍了SOI压力传感器的优势、制作工艺以及SOI压力传感器的发展现状. 展开更多
关键词 压力传感器 SOI SiO2层 各向异性腐蚀 硅片直接键合 硅单晶片
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