期刊文献+
共找到10篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
面向MEMS红外光源的高辐射率纳米硅结构制备 被引量:3
1
作者 刘卫兵 谭秋林 +7 位作者 明安杰 孙西龙 毛海央 岱钦 张岳 姚俊 王玮冰 熊继军 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第6期7-10,82,共5页
通过制备面向MEMS红外光源的高辐射率多晶硅纳米柱状结构和单晶硅纳米孔结构,以提升红外源表面辐射率,降低器件功耗。制备方法分别为反应离子刻蚀(reactive-ion-etching,RIE)及等离子浸没离子注入(plasma immerse ion implantation,PIII... 通过制备面向MEMS红外光源的高辐射率多晶硅纳米柱状结构和单晶硅纳米孔结构,以提升红外源表面辐射率,降低器件功耗。制备方法分别为反应离子刻蚀(reactive-ion-etching,RIE)及等离子浸没离子注入(plasma immerse ion implantation,PIII)工艺对单晶硅以及铝电极掩膜的多晶硅表面调控修饰制备。并对2种纳米硅结构进行了吸收率测试,对铝电极掩膜进行了引线键合破坏拉力测试。测试表明,纳米硅结构在3~5μm波段的辐射率可以达到85%以上,暴露在刻蚀气氛后的铝电极掩膜引线键合强度可以达到器件工艺要求。 展开更多
关键词 MEMS红外光源 硅纳米结构 高辐射率 铝掩膜 反应离子刻蚀 等离子浸没离子注入
下载PDF
面向MEMS红外光源的辐射增强结构设计 被引量:1
2
作者 刘卫兵 明安杰 +5 位作者 谭秋林 孟莹 孙西龙 毛海央 王玮冰 熊继军 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2017年第11期1386-1391,共6页
针对常规TO封装下红外光源辐射量在一定光程下严重衰减的不足,基于自研的MEMS红外光源结构,提出了用于红外辐射增强的反射镜及用于光束准直的透镜封装结构,以期大幅提高光源有效辐射效率。本文基于Zemax软件对红外光源在光路中的辐射特... 针对常规TO封装下红外光源辐射量在一定光程下严重衰减的不足,基于自研的MEMS红外光源结构,提出了用于红外辐射增强的反射镜及用于光束准直的透镜封装结构,以期大幅提高光源有效辐射效率。本文基于Zemax软件对红外光源在光路中的辐射特性进行了模拟仿真。仿真结果表明:红外光源放置于9.52 mm口径、9.41 mm深度的抛物面反射镜的焦点位置,辐射能量提高了15.5倍;采用2.2 mm厚的BaF_2材料的双凸曲面辐射透镜,红外光线呈准直收敛辐射,辐射效率最大可以达到27.42%。本工作研究成果为红外光学气体传感器光源提供了合理的红外辐射增强结构尺寸参数,有效提高了系统的稳定性和光源的辐射效率。 展开更多
关键词 MEMS红外光源 气体传感器 抛物面反射镜 准直透镜 辐射增强
下载PDF
面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能
3
作者 刘卫兵 明安杰 +5 位作者 谭秋林 孟莹 孙西龙 毛海央 王玮冰 熊继军 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第6期379-383,389,共6页
为进一步提升红外气体传感器的性能,提出了一种可实现辐射自增强的多层纳米交叠复合非晶碳薄膜材料应用于红外光源,对材料制备的关键工艺及性能表征进行了深入研究,以期大幅提高光源的辐射效率,降低功耗。采用非平衡磁控溅射工艺制备了... 为进一步提升红外气体传感器的性能,提出了一种可实现辐射自增强的多层纳米交叠复合非晶碳薄膜材料应用于红外光源,对材料制备的关键工艺及性能表征进行了深入研究,以期大幅提高光源的辐射效率,降低功耗。采用非平衡磁控溅射工艺制备了含钛的周期性非晶碳复合薄膜,在不同退火条件下进行了方阻及光学吸收率测试表征。结果表明,多层纳米厚度交叠薄膜有效降低了薄膜的应力;氧等离子体表面刻蚀调控工艺实现了高辐射率纳米纤维材料的集成制备;制备的非晶碳纳米复合薄膜在高温800℃退火后呈现出良好的电阻热稳定性,在波长5~6μm内吸收率大于80%,最高接近84%。本工作为该辐射自增强的非晶碳薄膜应用于MEMS红外光源提供了一定的技术支持。 展开更多
关键词 非晶碳 红外光源 辐射自增强 辐射性能 吸收率
原文传递
基于可编程多轴控制器的红外传感器片上测试系统设计 被引量:1
4
作者 叶雨欣 焦斌斌 +2 位作者 孙灵芳 孔延梅 刘瑞文 《科学技术与工程》 北大核心 2014年第34期213-218,共6页
探针测试台是一种传统半导体工艺中间测试设备,用于在硅片划片前测试电子器件性能、良率,并给出其在晶圆上分布的映射图表。目前国内外自动或半自动探针测试台都是针对传统IC电路设计,采用封闭式结构,无法根据传感器多变的特性、复杂的... 探针测试台是一种传统半导体工艺中间测试设备,用于在硅片划片前测试电子器件性能、良率,并给出其在晶圆上分布的映射图表。目前国内外自动或半自动探针测试台都是针对传统IC电路设计,采用封闭式结构,无法根据传感器多变的特性、复杂的测试环境需求完成对器件的片上测试。采用美国Delta Tau公司推出的PMAC可编程多轴运动控制器作为核心控制系统,构建了一套针对红外热电堆器件特殊测试需求的批量化片上测试系统。该测试系统具有响应速度快、控制精度高、可扩展性强的特性,不仅可满足红外热电堆器件的片上批量化测试需求,还可通过定制性的模块删减以满足不同传感器的片上测试。 展开更多
关键词 可编程多轴控制器(programmable MULTI-AXIS controller PMAC) 自动探针台 开放式数控系统
下载PDF
晶圆级热电堆探测器测试技术的研究 被引量:2
5
作者 叶雨欣 焦斌斌 +2 位作者 孔延梅 刘瑞文 陈志强 《制造业自动化》 2015年第18期1-5,共5页
MEMS热电堆红外探测器在消费电子、医疗保健、智能家居、工业等领域的应用越来越广泛,其需求量也日益增加。因此如何降低器件的生产成本争取市场份额便成了器件生产商最关心问题。当前MEMS热电堆红外探测器的测试成本占据了其总成本的... MEMS热电堆红外探测器在消费电子、医疗保健、智能家居、工业等领域的应用越来越广泛,其需求量也日益增加。因此如何降低器件的生产成本争取市场份额便成了器件生产商最关心问题。当前MEMS热电堆红外探测器的测试成本占据了其总成本的一半以上。由于目前测试技术及设备的限制,其测试基本都是由人工逐一完成,从而限制了其成本。针对这一产业需求,研制一种热电堆探测器的批量化自动测试系统具有明确的市场价值。围绕热电堆红外探测器的工作特性,特别是环境温度及激励温度对器件工作的影响,构建了一套针对晶圆级红外热电堆探测器特殊测试需求的批量化测试系统。 展开更多
关键词 红外测试技术 热电堆探测器 晶圆级测试
下载PDF
非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化(英文) 被引量:2
6
作者 张强 刘瑞文 +6 位作者 吕文龙 侯影 魏德波 刘超 薛惠琼 傅剑宇 王玮冰 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第9期617-624,共8页
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列(IRFPA)的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数(VTC)对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结... 灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列(IRFPA)的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数(VTC)对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结结面积是两项重要因素。因此,设计出6个串联"阱"形pn结的二极管结构,并对具有该结构的热敏二极管型红外焦平面阵列进行了流片。测试结果表明,在10μA正向偏置电流下,二极管结构的电压温度系数为8.2 mV/K,单个像素的灵敏度为19.1μV/K。不同结面积结构的测试结果表明,增加结面积能有效提升二极管结构的电压温度系数和灵敏度。 展开更多
关键词 电压温度系数(VTC) PN结二极管 红外焦平面阵列(IRFPA) 灵敏度 微电子机械系统(MEMS)
原文传递
无TEC制冷电路下的红外成像温度补偿方法 被引量:1
7
作者 徐梦龙 王玮冰 李佳 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1132-1136,共5页
在红外成像系统中去除制冷电路来降低功耗和体积的方法已成为红外热成像仪的配置主流,但在无制冷电路的情况下,红外成像效果会受到环境温度以及自身发热的影响。本文设计了一种温度补偿的校正方法,采用了先标定后补偿的处理方案,在基于F... 在红外成像系统中去除制冷电路来降低功耗和体积的方法已成为红外热成像仪的配置主流,但在无制冷电路的情况下,红外成像效果会受到环境温度以及自身发热的影响。本文设计了一种温度补偿的校正方法,采用了先标定后补偿的处理方案,在基于FPGA结合温度传感器以及FLASH存储芯片的硬件平台上,实现了对红外探测器输出图像在无TEC制冷电路情况下的温度补偿校正。实验结果表明该设计方案有效地抑制了在无制冷电路情况下红外探测器所处环境温度的起伏对红外输出成像效果所造成的干扰。 展开更多
关键词 红外成像 无TEC 温度补偿校正 FPGA
下载PDF
基于补偿算法的红外探测器非均匀性校正 被引量:1
8
作者 张秋旋 王玮冰 李佳 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第7期621-625,共5页
由于工艺条件的限制,红外焦平面探测器各像元的非均匀性严重影响了红外图像质量,由红外焦平面非均匀性所导致的成像效果变差的问题已成为制约红外成像技术应用的瓶颈。基于FPGA为数据处理核心的硬件平台,采用领域平均算法结合加权滤波... 由于工艺条件的限制,红外焦平面探测器各像元的非均匀性严重影响了红外图像质量,由红外焦平面非均匀性所导致的成像效果变差的问题已成为制约红外成像技术应用的瓶颈。基于FPGA为数据处理核心的硬件平台,采用领域平均算法结合加权滤波算法以及温度补偿算法依次实现了对红外图像的盲元校正与实时补偿处理。实验结果表明此算法能够实时处理图像补偿过程中产生的大量数据,显著地提高了红外图像质量,并且仅用FPGA完成所有数据处理,构成了精简的最小系统,有效地降低了成本。 展开更多
关键词 红外焦平面 非均匀性校正 补偿算法 FPGA
下载PDF
适用于MEMS振动陀螺仪的相位读出自校准方法 被引量:1
9
作者 许建军 王玮冰 李佳 《微型机与应用》 2017年第19期41-44,共4页
相比于传统陀螺仪,MEMS振动陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、价格低廉等优势,但是由于其本身结构的局限性和工艺加工水平的限制,其在性能上还处于低精度陀螺仪的行列。目前已有若干MEMS自校准方案可以应用于MEMS振动陀螺仪以提高其... 相比于传统陀螺仪,MEMS振动陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、价格低廉等优势,但是由于其本身结构的局限性和工艺加工水平的限制,其在性能上还处于低精度陀螺仪的行列。目前已有若干MEMS自校准方案可以应用于MEMS振动陀螺仪以提高其精度指标,然而已有的技术存在着只能消除某一种因素对精度的影响、需要高精度转台系统支撑或者校准的灵敏度不高等不足。为解决上述问题,设计并提出了一种基于相位读出的MEMS振动陀螺仪自校准方案,该方案能消除工艺误差、器件老化、外部环境变化对陀螺仪精度的影响,而且该方案不需要高精度转台系统支撑、能够消除绝大部分因素对精度的影响、校准的灵敏度更高。实验仿真结果表明,该方案能实现MEMS振动陀螺仪的自校准,提高测量精度,扩大MEMS振动陀螺仪的适用范围。 展开更多
关键词 微机械振动陀螺仪 自校准 精度 电信号
下载PDF
基于神经网络的MEMS红外热电堆自校准响应分析
10
作者 黄宽 王玮冰 李佳 《微型机与应用》 2017年第20期48-50,70,共4页
为克服MEMS红外热电堆原有自校准响应分析方法存在的考虑参数单一、故障覆盖率低、校准精度低等缺点,全面考虑多个相关参数影响,采用RHPNN神经网络提高其故障覆盖率,再用小波神经网络提高校准精度,最后用FPGA实现了该算法。与传感器结... 为克服MEMS红外热电堆原有自校准响应分析方法存在的考虑参数单一、故障覆盖率低、校准精度低等缺点,全面考虑多个相关参数影响,采用RHPNN神经网络提高其故障覆盖率,再用小波神经网络提高校准精度,最后用FPGA实现了该算法。与传感器结合实验结果表明,本方案故障覆盖率达到92%,自校准后的测温绝对误差降到0.03 K。 展开更多
关键词 红外热电堆 MEMS 自校准 响应分析 神经网络
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部