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功率半导体发展与测试技术研究
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作者 钟锋浩 《电子工业专用设备》 2024年第5期7-11,共5页
以GaN、SiC新材料功率半导体为代表的高性能功率器件和功率模块的出现,在太阳能光伏、风能、新能源汽车、高性能电源、储能、家电等领域广泛应用,其电压电流能力的提升,开关速度和功率密度的提升,对功率半导体的性能和可靠性提出了新的... 以GaN、SiC新材料功率半导体为代表的高性能功率器件和功率模块的出现,在太阳能光伏、风能、新能源汽车、高性能电源、储能、家电等领域广泛应用,其电压电流能力的提升,开关速度和功率密度的提升,对功率半导体的性能和可靠性提出了新的要求,对制造过程各阶段的测试要求也提出了新的挑战。通过分析新材料技术特点和生产工艺要求的研究,研究相关参数测试方法和测试流程,提出了降低功率模块制造成本、提高模块可靠性的基本要求和方法。 展开更多
关键词 功率半导体模块 氮化镓(GaN) 碳化硅(SiC) 测试技术 模块可靠性
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高精度电压电流源设计研究
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作者 钟锋浩 《中国集成电路》 2024年第10期56-59,72,共5页
电压电流源在集成电路自动测试设备是必配的资源,最大电压和电流的规格会有不同的要求,但都会对电压和电流的精度提出很高的要求。本文通过对电源线路原理的优化设计,解决了电源输出通过连接器和导线等不同路径对输出精度的影响,通过算... 电压电流源在集成电路自动测试设备是必配的资源,最大电压和电流的规格会有不同的要求,但都会对电压和电流的精度提出很高的要求。本文通过对电源线路原理的优化设计,解决了电源输出通过连接器和导线等不同路径对输出精度的影响,通过算法进一步提升了电源的精度和一致性,为测试机高精度电压电流源设计提供了有效的解决方案。 展开更多
关键词 电压电流源 精度 算法 自动测试设备(ATE)
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压缩机干气密封系统改进与优化
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作者 王家将 冯唐高 孙宏伟 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第11期018-021,共4页
煤化工是一种利用煤炭资源,经过一定的物理或化学过程,将其转化成各种能源和化工产品的生产工艺。甲醇作为煤炭工业的主要产品,其转化过程中产生的合成气需要经过压缩机增压才能实现甲醇的高效转化。为了防止合成气(一氧化碳、氢气等)... 煤化工是一种利用煤炭资源,经过一定的物理或化学过程,将其转化成各种能源和化工产品的生产工艺。甲醇作为煤炭工业的主要产品,其转化过程中产生的合成气需要经过压缩机增压才能实现甲醇的高效转化。为了防止合成气(一氧化碳、氢气等)泄漏到大气中,对环境造成污染,压缩机是一种重要的设备。通过对压缩机密封系统故障原因的分析,论述了怎样才能更好地改善压缩机密封系统。 展开更多
关键词 压缩机 干气密封系统 改进 优化
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基于压力自适应控制的IC分选设备的设计与实现
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作者 赵轶 韩笑 +2 位作者 刘震治 陈正大 周卫华 《微纳电子与智能制造》 2022年第1期101-104,共4页
本文提出了一种压力自适应控制的集成电路分选设备的设计与实现。首先,针对分选设备机械运动过程中复杂情况和压力实时监测需求,完成了分选设备测压机构的结构设计,下压的末端增加压力传感器,可实现压力的在线实时监测。其次,优化膜片... 本文提出了一种压力自适应控制的集成电路分选设备的设计与实现。首先,针对分选设备机械运动过程中复杂情况和压力实时监测需求,完成了分选设备测压机构的结构设计,下压的末端增加压力传感器,可实现压力的在线实时监测。其次,优化膜片缓冲装置,减少机构下压过程中压力的过冲、波动,提高响应速度。再次,研究不同工况、不同芯片应用场合下的压力自适应控制策略。最后,经过测试,制作的IC分选设备性能参数能满足工程应用的要求。 展开更多
关键词 压力自适应 膜片缓冲 分选设备
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晶圆探针台结构振动模态分析研究
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作者 韩笑 鲍军其 +2 位作者 张新 刘治震 周传平 《微纳电子与智能制造》 2022年第1期88-93,共6页
晶圆测试是芯片制造产业中十分重要的环节,是芯片良品率最主要的测试方法,探针台作为晶圆测试的主要设备,用来检测晶圆质量的好坏,在芯片制造过程中有着重要的作用。晶圆片尺寸的增大和晶圆密度的提高会导致探针台晶圆测试时间的增加,... 晶圆测试是芯片制造产业中十分重要的环节,是芯片良品率最主要的测试方法,探针台作为晶圆测试的主要设备,用来检测晶圆质量的好坏,在芯片制造过程中有着重要的作用。晶圆片尺寸的增大和晶圆密度的提高会导致探针台晶圆测试时间的增加,需要运行速度更快的机械装置和更加精确的机器视觉识别系统来执行测试工作。高速运行的机械装置给本就复杂的晶圆测试体系中额外增加了振源,以及其他设备引起的环境振动,使得晶圆测试不稳定性增加。本文采用有限单元仿真软件对探针台结构进行数学建模,通过施加探针台制造和运行过程中典型的动载荷对探针台中的典型部件进行动力学分析,得到了探针台各部件结构的固有频率和模态振型,进而研究影响探针台振动的主要物理因素,通过分析这些物理因素来优化探针台各部件的质量分布、刚度设计和阻尼设计。本文的研究可望为提升晶圆测试时受振动激励下的控制精度和稳定性提供数据支撑,为研发高速度、高精度、高自动化、高可靠性的全自动晶圆探针测试台提供理论支持和方法借鉴。 展开更多
关键词 探针台 晶圆测试 有限单元法 结构优化
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