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基于AFM纳米加工机理和方法的研究进展 被引量：4
1
作者 朱守星 丁建宁 +1 位作者 蔡兰 杨继昌 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 2002年第3期8-13,共6页
作者介绍了近期基于AFM纳米加工方法的最新研究进展 ,探讨了AFM纳米加工过程中的机理 ,重点分析了利用AFM针尖诱导表面氧化 ,针尖诱导表面改性 ,纳米刻蚀加工 ,纳米化学反应 ,单分子、单原子操纵及纳米结构组装等 6种基于AFM的纳米加工... 作者介绍了近期基于AFM纳米加工方法的最新研究进展 ,探讨了AFM纳米加工过程中的机理 ,重点分析了利用AFM针尖诱导表面氧化 ,针尖诱导表面改性 ,纳米刻蚀加工 ,纳米化学反应 ,单分子、单原子操纵及纳米结构组装等 6种基于AFM的纳米加工方法 ,为今后纳米信息产品的研究和开发奠定了基础 纳米加工技术是一门综合性的交叉学科 ,研究内容涉及到物理学、化学、生物学、材料学以及机械学等许多方面 ,文中不仅指出了现阶段研究中存在的问题 。 展开更多
关键词 加工机理 纳米加工 原子力显微镜 AFM 纳米材料 纳米刻蚀
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超薄类金刚石膜纳米摩擦性能研究 被引量：4
2
作者 陈曦 丁建宁 +5 位作者 李长生 刘东平 范真 朱守星 邓新绿 杨继昌 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期47-50,共4页
使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究。结果表明:氢化非晶碳膜(a C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm... 使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究。结果表明:氢化非晶碳膜(a C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm以下薄膜的微观承载性能和膜厚存在明显的正比例关系。通过分析磨损深度和循环次数之间的关系以及对磨损区域的导电性研究,表明a C∶H膜表层的微观承载性能较其内层相差很大,表面存在着一层软膜。 展开更多
关键词 类金刚石膜 原子力显微镜 摩擦性能
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量子力对微、纳米级机构的影响研究
3
作者 常甦华 朱国华 丁建宁 《机械设计》 CSCD 北大核心 2005年第7期4-6,共3页
随着微机电系统的发展,机构的特征尺寸及相互间距通常处于微米、纳米量级,因此需要考虑量子力的影响,如Casimir力。首先对平行平面间的Casimir力进行分析,表明随着间距的减小Casimir力会迅速增大,然后根据实际情况得出微弹簧震子的结构... 随着微机电系统的发展,机构的特征尺寸及相互间距通常处于微米、纳米量级,因此需要考虑量子力的影响,如Casimir力。首先对平行平面间的Casimir力进行分析,表明随着间距的减小Casimir力会迅速增大,然后根据实际情况得出微弹簧震子的结构模型,通过对模型的受力和动力学研究发现,机构发生粘附效应不仅与其自身的特征参数C有关,还同被粘附构件的初始位置或初始能量有关。 展开更多
关键词 CASIMIR力 微机械 稳定性
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纳观摩擦机理研究进展 被引量：9
4
作者 陈骏 丁建宁 +1 位作者 蔡兰 杨继昌 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 2002年第3期23-28,共6页
摩擦是一个非线性的、远离平衡态的热力学过程 有关滑动摩擦的研究是物理学中最古老、应用上也最重要的问题之一 与此不相适应的却是人们对摩擦中基本纳观过程知之甚少 ,至今还没有一个被普遍接受的理论 ,既可以解释摩擦中的宏观现象... 摩擦是一个非线性的、远离平衡态的热力学过程 有关滑动摩擦的研究是物理学中最古老、应用上也最重要的问题之一 与此不相适应的却是人们对摩擦中基本纳观过程知之甚少 ,至今还没有一个被普遍接受的理论 ,既可以解释摩擦中的宏观现象又可以解释其纳观机理 因此 ,在原子分子尺度上研究物质相互接触以及在表面的纳观摩擦机理是摩擦学研究的一个重大拓展和深入 本文较系统地综述了纳观摩擦机理的研究中取得的一些重要成果 ,重点介绍了几种重要的摩擦理论模型和相关的研究结果 展开更多
关键词 纳观摩擦 能量耗散 FRENKEL-KONTOROVA模型 摩擦学
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硅烷对纳米硅薄膜微结构和光学性能的影响
5
作者 丁建宁 高晓妮 +2 位作者 袁宁一 程广贵 郭立强 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 北大核心 2010年第3期300-303,共4页
通过改变反应气体中硅烷体积分数,采用直流偏压辅助等离子体化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积本征氢化纳米硅薄膜.使用拉曼光谱仪、原子力学显微镜和紫外可见光透射仪对薄膜进行测试,研究不同硅烷体积分数对薄膜微结构和光学性能的影响.... 通过改变反应气体中硅烷体积分数,采用直流偏压辅助等离子体化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积本征氢化纳米硅薄膜.使用拉曼光谱仪、原子力学显微镜和紫外可见光透射仪对薄膜进行测试,研究不同硅烷体积分数对薄膜微结构和光学性能的影响.结果表明:当硅烷体积分数增加,晶粒尺寸增加,而晶态含量却随之下降.晶态含量的降低,使拉曼光谱中谱峰的强度降低,峰位发生蓝移,薄膜有序性随之降低;而且薄膜的光学禁带宽度随硅烷体积分数的增加而增加.当硅烷体积分数为1.3%时,沉积本征氢化纳米硅薄膜,薄膜中晶粒分布均匀,其生长存在取向性.此时晶态含量约为50%,晶粒尺寸约为2.6 nm;薄膜具有较大的光学禁带宽度,为1.702 eV,以及较高的电导率. 展开更多
关键词 纳米硅薄膜 晶态含量 晶粒尺寸 光学禁带宽度 电导率
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多晶硅微机械抗粘附结构参数设计 被引量：7
6
作者 丁建宁 范真 +1 位作者 李长生 温诗铸 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期274-277,共4页
讨论了在大气环境或有液体的环境下 ,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响 ,以及真空条件下 Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响。建立了 Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论。对不同表面力作用下的... 讨论了在大气环境或有液体的环境下 ,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响 ,以及真空条件下 Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响。建立了 Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论。对不同表面力作用下的抗粘附结构研究结果表明 ,微悬臂梁和薄膜微腔结构的稳定性和粘附与材料的弹性特性、材料的表面特性、结构的长度、厚度以及构件与基体之间的间隙有关 ,而与结构的宽度无关。 展开更多
关键词 多晶硅微机械 抗粘附结构参数设计 微型机械 表面张力 CASIMIR力 稳定性
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