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粉末冶金法制备SiC_p/Al_2W_3O_(12)/Al复合材料及其热膨胀性能 被引量：2
1
作者 张琰琰 程晓农 +3 位作者 黎振兴 杨娟 徐凯 陈敏 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期257-261,共5页
通过添加适量的Al_2W_3O_(12)负热膨胀粉体来优化碳化硅颗粒增强铝基(SiC_p/Al)复合材料的热膨胀系数。实验采用固相法制备负热膨胀性能的Al_2W_3O_(12)粉体,并按10%,20%,30%的体积比添加至SiC_p/Al复合粉体中,利用粉末冶金工艺制备SiC_... 通过添加适量的Al_2W_3O_(12)负热膨胀粉体来优化碳化硅颗粒增强铝基(SiC_p/Al)复合材料的热膨胀系数。实验采用固相法制备负热膨胀性能的Al_2W_3O_(12)粉体,并按10%,20%,30%的体积比添加至SiC_p/Al复合粉体中,利用粉末冶金工艺制备SiC_p/Al_2W_3O_(12)/Al复合材料。实验结果表明:制备的复合材料组织分布均匀,致密度良好。室温到200℃内,在Al基体质量分数不变的前提下,Al_2W_3O_(12)的加入有效降低了复合材料的热膨胀系数。 展开更多
关键词 负热膨胀材料 Al2W3O12 SICP/AL 热膨胀系数
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新型压铸法制造铝基碳化硅复合材料影响因素的研究 被引量：1
2
作者 仝蒙 傅蔡安 +1 位作者 沈忱 季坤 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2013年第22期1-4,共4页
采用新型复合压铸法制备了铝基碳化硅复合材料。采用分次振动法充填一定比例不同颗粒细度的碳化硅粉末,装入成型模具压实后,浇铸铝液并采用新型压力渗透的方式压铸成型。使碳化硅的体积分数达62%,铝基碳化硅的制备效果随模具预热温度的... 采用新型复合压铸法制备了铝基碳化硅复合材料。采用分次振动法充填一定比例不同颗粒细度的碳化硅粉末,装入成型模具压实后,浇铸铝液并采用新型压力渗透的方式压铸成型。使碳化硅的体积分数达62%,铝基碳化硅的制备效果随模具预热温度的升高,铝液的渗透效果越好。碳化硅颗粒大小对铝基碳化硅的品质、制造产生直接影响,主要影响铝液在碳化硅颗粒间隙中的渗透能力,对后续制备铝基碳化硅IGBT基板的工艺要求造成影响。 展开更多
关键词 复合压铸 体积分数 SiC颗粒大小 ANSYS
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退火温度对磁控溅射Ru薄膜结构及膜基结合力的影响 被引量：2
3
作者 薛雅平 鞠洪博 +3 位作者 陈敏 郭丽萍 喻利花 许俊华 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期125-127,共3页
采用磁控溅射法在Mo衬底上制备了Ru薄膜,利用真空退火炉、EDS、XRD,台阶仪及纳米划痕仪等设备研究了不同退火温度对Ru薄膜化学成分、相结构、残余应力及膜基结合力的影响。结果表明,不同退火温度处理下的Ru薄膜呈六方Ru结构,具有(002)... 采用磁控溅射法在Mo衬底上制备了Ru薄膜,利用真空退火炉、EDS、XRD,台阶仪及纳米划痕仪等设备研究了不同退火温度对Ru薄膜化学成分、相结构、残余应力及膜基结合力的影响。结果表明,不同退火温度处理下的Ru薄膜呈六方Ru结构,具有(002)择优取向,当退火温度为600℃时,薄膜出现氧化相。退火处理能够改善薄膜结晶程度。随退火温度的升高,薄膜残余应力逐渐降低,膜基结合力先升高后降低,当退火温度为300℃时,膜基结合力最高,约为17.6 N。 展开更多
关键词 磁控溅射 Ru薄膜 退火温度 膜基结合力
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本底真空度对磁控溅射制备Ru薄膜微观结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响 被引量：2
4
作者 鞠洪博 贺盛 +4 位作者 陈彤 陈敏 郭丽萍 喻利花 许俊华 《材料开发与应用》 CAS 2016年第4期95-98,112,共5页
采用射频磁控溅射法在功率用半导体散热片Mo上制备了不同本底真空度的Ru薄膜,利用能谱仪、X射线衍射仪、纳米划痕仪及电化学工作站等仪器研究了本底真空度对Ru薄膜化学成分、微观结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响。结果表明,随着本底... 采用射频磁控溅射法在功率用半导体散热片Mo上制备了不同本底真空度的Ru薄膜,利用能谱仪、X射线衍射仪、纳米划痕仪及电化学工作站等仪器研究了本底真空度对Ru薄膜化学成分、微观结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响。结果表明,随着本底真空度的降低,Ru薄膜中氧含量逐渐降低,当本底真空度为6.0×10-4Pa时,薄膜中氧含量为0%(原子分数);当本底真空度为6.0×10-2Pa时,薄膜两相共存,即hcp-Ru+fcc-RuO_2,此时,薄膜中RuO_2的相对质量分数约为13.7%;随着本底真空度的降低,薄膜中fcc-RuO_2相对质量分数逐渐减少,当本底真空度为6.0×10-4Pa时,薄膜中fcc-RuO_2相消失,为hcp-Ru单一相结构;受RuO_2相的影响,薄膜晶粒尺寸及膜基结合力随本底真空度的降低而逐渐增加。研究表明,在3.5%Na Cl溶液,本底真空度为6.0×10-4Pa的Ru薄膜耐蚀性能优于Mo衬底。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 Ru薄膜 本底真空度 耐蚀性能
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