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SOI高温压力传感器研究进展及应用
1
作者 刘沁 李新 唐惠 《世界仪表与自动化》 2008年第4期24-26,共3页
常规扩散硅压阻式压力传感器依靠PN结实现敏感电阻间的电学隔离，基于单晶硅良好的弹性形变性能和显著的压阻效应进行压力测试，以其特有的体积小、灵敏度高、工艺成熟等优点，成为应用最广泛的压力传感器。不过，当工作温度超过125℃... 常规扩散硅压阻式压力传感器依靠PN结实现敏感电阻间的电学隔离，基于单晶硅良好的弹性形变性能和显著的压阻效应进行压力测试，以其特有的体积小、灵敏度高、工艺成熟等优点，成为应用最广泛的压力传感器。不过，当工作温度超过125℃时，电阻与衬底间的PN结漏电加剧，使传感器特性严重恶化以至失效，不能准确测量压力。因此，把能在高于125℃条件下工作的硅压阻式压力传感器，称为扩散硅高温压力传感器。 展开更多
关键词 压力传感器 高温 SOI
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自主研发的传感器应实现产业化：硅电容压力传感器及其产业化 被引量：3
2
作者 徐开先（特约主持人） 《世界仪表与自动化》 2008年第4期20-23,共4页
传感器——能感受规定的被测量，并按照一定的规律转换成可用的输出信号的器件或装置。通常有敏感元件和转换元件组成。 传感技术——研究传感器的材料、设计、工艺、性能和应用等的综合技术。 压力测量是工业过程控制中3大重要测量... 传感器——能感受规定的被测量，并按照一定的规律转换成可用的输出信号的器件或装置。通常有敏感元件和转换元件组成。 传感技术——研究传感器的材料、设计、工艺、性能和应用等的综合技术。 压力测量是工业过程控制中3大重要测量参数之一．压力传感器在工业自动化仪表中尤显重要，这次本栏目向读者介绍的3种压力传感器产品： 展开更多
关键词 电容压力传感器 产业化 自主研发 工业自动化仪表 工业过程控制 传感技术 测量参数 输出信号
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硅基力敏传感器及其工业应用（下）
3
作者 徐开先 《世界仪表与自动化》 2009年第5期33-35,共3页
四硅基力敏传感器应用时的选用原则及应用 1。力敏元件及传感器的选用原则 a．按性能指标要求选用 （1）量程的选用：传感器量程的选用一般以被测量参数经常处在整个量程的80％～90％为佳，最大工作状态点不能超过满量程。这样能有... 四硅基力敏传感器应用时的选用原则及应用 1。力敏元件及传感器的选用原则 a．按性能指标要求选用 （1）量程的选用：传感器量程的选用一般以被测量参数经常处在整个量程的80％～90％为佳，最大工作状态点不能超过满量程。这样能有效地保证传感器处在安全区并能使传感器的输出达到最大、精度达到较佳、分辨率较高，且具有较强的抗干扰能力。 展开更多
关键词 硅基力敏传感器 膜片 测量 选用原则
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硅基力敏传感器及其工业应用（上）
4
作者 徐开先 《世界仪表与自动化》 2009年第4期18-21,共4页
一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅（单晶或多晶）材料为基础，利用MEMS工艺，其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、... 一 硅基力敏传感器的现状 硅基力敏传感器是指以硅（单晶或多晶）材料为基础，利用MEMS工艺，其特性参数受外力或应力变化而明显变化的敏感元件制成的传感器。这里的力包括重力、拉力、压力、力矩、压强等物理量。力敏传感器包括力、压力、差压、液位传感器等。 展开更多
关键词 传感器 硅基力敏传感器 力敏元件
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