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低能等离子体轰击对单晶硅表面性能的影响
1
作者 余天翔 薛转转 +1 位作者 武鹏远 Oleksiy Penkov 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第2期89-97,共9页
为了研究低能等离子体轰击对单晶硅表面物理性能的影响。通过控制刻蚀时间和真空腔内气体压强等因素,使用低能等离子体对单面抛光单晶硅(100)进行刻蚀。通过测量刻蚀后硅片的刻蚀深度、硅片表面粗糙度、拉曼光谱以及接触角,研究硅片表... 为了研究低能等离子体轰击对单晶硅表面物理性能的影响。通过控制刻蚀时间和真空腔内气体压强等因素,使用低能等离子体对单面抛光单晶硅(100)进行刻蚀。通过测量刻蚀后硅片的刻蚀深度、硅片表面粗糙度、拉曼光谱以及接触角,研究硅片表面物理性能的变化。实验结果表明,随着刻蚀时间的增加,硅片刻蚀深度基本不变,而随着刻蚀压力的增加,硅片刻蚀深度先减小后增加。当刻蚀电流为0.1 A,气体压力为2 mTorr时,硅片表面粗糙度在刻蚀时间为40 s时达到极小值。对刻蚀后硅片的拉曼光谱进行测量,发现拉曼二阶峰在总体上随刻蚀时间的增加而略微降低。分别使用氩离子和氮离子对硅片进行刻蚀,发现两者在空气中保存一段时间后水滴角均会有不同程度的增加。将刻蚀后的硅片分别置于氩气、氮气和空气环境中保存,硅片表面水滴角变化趋势几乎完全一致。证明低温等离子体轰击在较短的刻蚀时间内对硅片厚度没有明显影响,对硅片表面的粗糙度有一定的提高效果,对硅片表面的润湿性也起到了一定的减小作用,其中氩离子轰击处理的硅片更是在保存一段时间后发生了由亲水性到疏水性的转变。 展开更多
关键词 单晶硅 等离子体轰击 刻蚀深度 表面粗糙度 拉曼光谱 接触角
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基于最小二乘法的振动监测系统测量噪声现场标定
2
作者 李宾宾 朱伟 +1 位作者 谢炎龙 朱作 《噪声与振动控制》 CSCD 北大核心 2024年第4期110-117,共8页
分析振动监测系统的测量噪声水平是结构健康监测设计的重要步骤,有利于优化测试方案和后期模态参数识别。本文从数据采集全过程入手分析测量噪声的主要来源和统计特性,基于最小二乘法原理,提出标定硬件噪声水平的“n信道”方法和估计多... 分析振动监测系统的测量噪声水平是结构健康监测设计的重要步骤,有利于优化测试方案和后期模态参数识别。本文从数据采集全过程入手分析测量噪声的主要来源和统计特性,基于最小二乘法原理,提出标定硬件噪声水平的“n信道”方法和估计多信道同步误差的方法。前者允许以任意数量的信道组合进行噪声估计,能够充分利用所有信道的信息,增强结果的稳定性;后者运用时滞测量信号的频域特性,通过互功率谱密度的比值实现信道间亚毫秒级同步误差估计。所提方法的正确性、鲁棒性和实用性通过某桥梁振动监测系统的测量数据得到验证。 展开更多
关键词 振动与波 结构健康监测 拾振器 测量噪声 同步误差 最小二乘法
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一种基于T型单元的混合器件四电平变换器
3
作者 韩如磊 董家展 +1 位作者 王超 李楚杉 《电力电子技术》 2024年第4期126-129,共4页
在变换器中应用以碳化硅(SiC)为代表的宽禁带半导体器件能够显著提升变换器的效率和功率密度,但同时带来半导体成本的大幅提升。基于SiC和硅(Si)分立器件的混合多电平技术在不显著提升半导体成本的情况下能够实现与全SiC设计相近的性能... 在变换器中应用以碳化硅(SiC)为代表的宽禁带半导体器件能够显著提升变换器的效率和功率密度,但同时带来半导体成本的大幅提升。基于SiC和硅(Si)分立器件的混合多电平技术在不显著提升半导体成本的情况下能够实现与全SiC设计相近的性能,是一种兼顾成本与性能的优化设计。然而,目前针对混合多电平变换器的研究大多基于三电平结构。此处提出了一种高频单元采用T型拓扑的SiC和Si器件混合型四电平变换器拓扑,低频单元使用低成本的Si器件,能够保持相对较低的成本。同时,提出了一种所有的高频开关动作都由SiC器件承担的混频调制策略,并且能够兼容对母线电容电压的主动控制。最后,通过实验验证了所提电路拓扑与调制策略的有效性。 展开更多
关键词 多电平变换器 混频调制 高频开关动作
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单点激振模态参数识别渐近不确定性及实验验证 被引量：2
4
作者 王佩祥 吴清泰 李宾宾 《工程力学》 EI CSCD 北大核心 2023年第S01期6-10,共5页
结构模态参数(频率、阻尼比、振型等)是结构健康监测和动力测试的关键参数,其识别不确定性的准确度量将显著增强结构损伤识别和状态评估的准确性和鲁棒性。着眼于“理解”而非“计算”模态参数识别不确定性,渐近不确定性在不依赖特定数... 结构模态参数(频率、阻尼比、振型等)是结构健康监测和动力测试的关键参数,其识别不确定性的准确度量将显著增强结构损伤识别和状态评估的准确性和鲁棒性。着眼于“理解”而非“计算”模态参数识别不确定性,渐近不确定性在不依赖特定数据和算法的条件下给出模态参数估计值变异系数的解析形式。该文介绍单点激振条件下结构的模态参数识别渐近不确定性,基于长数据和小阻尼比假设,给出结构的频率、阻尼比和振型后验变异系数的解析表达式,并结合一系列现场测试进行验证。该文提出的模态参数识别渐近不确定性可用于指导结构激振测试实践,致力于解决振动测试的盲目性和模态识别的被动性。 展开更多
关键词 振动测试 模态识别 强迫振动 不确定性 FISHER信息阵
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基于牙齿分布先验和症状表征的CBCT图像分割方法
5
作者 刘家祥 童霖杰 刘佐珠 《中国体视学与图像分析》 2023年第4期380-389,共10页
目的在牙科影像诊断中,锥形束CT(Cone beam CT,CBCT)图像分割已成为人工智能的关键应用领域。然而,多数现有分割技术忽略了与临床病症相关的关键表征,这会影响其分割性能。因此,本文提出了一种新方法,利用CBCT图像的分布先验信息和病症... 目的在牙科影像诊断中,锥形束CT(Cone beam CT,CBCT)图像分割已成为人工智能的关键应用领域。然而,多数现有分割技术忽略了与临床病症相关的关键表征,这会影响其分割性能。因此,本文提出了一种新方法,利用CBCT图像的分布先验信息和病症表征来提高不同临床病症下的牙科图像分割性能。方法为实现这一目标,本文提出了一种名为“牙齿先验引导数据增强(Dental Prior Guiding Data Augmentation,DGA)”的数据增强方法,利用牙齿分布先验信息来关注牙齿区域,忽略无关的区域。此外,本文还提出了一种“牙症状形状损失函数(Dental Symptom Shape Loss,DSL)”,用于学习不同病症下牙齿的形状。结果实验结果表明,所提出的方法显著提高了不同临床牙齿状况的分割性能,包括正常、接受过根管治疗、植入充填体、存在多生牙、拥有恒牙牙坯以及使用牙科假体的患者。实验结果显示,在不同的临床症状下,本文方法在多种症状的数据集上都超越了其他的方法。具体来说,相较于其他方法,本文方法在Dice指标平均提高了1.13%,而在IoU指标平均提高了2.00%。结论本文方法能够显著提高不同症状下的牙齿分割性能。 展开更多
关键词 CBCT分割 正畸学 病症表征 边界损失
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细胞刚度测试的技术与应用
6
作者 薛转转 胡欢 Oleksiy Penkov 《物理学进展》 2025年第2期55-70,共16页
细胞刚度的测量在生物学、医学和材料科学等多个领域具有重要意义。为理解细胞的生物力学性质及其功能,本文首先探讨了测量细胞刚度的重要应用领域,包括组织工程、软骨病诊断、癌症诊断以及药物的开发,其次详细介绍了五种主要的测量技术... 细胞刚度的测量在生物学、医学和材料科学等多个领域具有重要意义。为理解细胞的生物力学性质及其功能,本文首先探讨了测量细胞刚度的重要应用领域,包括组织工程、软骨病诊断、癌症诊断以及药物的开发,其次详细介绍了五种主要的测量技术:微柱阵列(MTFM)法、光镊(OT)法、磁镊(MT)法、原子力显微镜(AFM)测量法、生物膜力探针(BFP)测量法,并展望了这五种技术在现实应用中的潜力及挑战。AFM以其纳米级的空间分辨率和皮牛顿级别的力分辨率,已成为细胞力学测量领域中一个强大和独特的工具。因此,本综述重点介绍了AFM技术及其相关计算模型–微球–细胞接触的赫兹模型在此领域的应用及其重要性,并进一步详细阐述了各类现有AFM仪器的种类与特点,以及它们在细胞力学测量中的应用性能。 展开更多
关键词 细胞刚度测量 疾病诊断 微柱阵列法 光镊法 磁镊法 原子力显微镜测量法 生物膜力探针测量法
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