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激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用 被引量：9
1
作者 潘开林 陈子辰 傅建中 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2002年第3期5-7,共3页
文章综述了当前MEMS各类微制造技术 ,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点 ,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等 ,以及它们在MEMS微制造中的应用。
关键词 激光微细加工 微机电系统 激光LIGA 微细立体光刻 微制造
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