多元化生产线中的机电制造系统集成方案设计

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作者 潘斌 郑祥举 《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》 2025年第2期082-085,共4页

自动化工业技术不断飞跃,多样化生产线需求日益旺盛,优化生产线,机电制造系统集成是核心技术支撑,已成为推动生产效率攀升、成本削减的核心动力,融合前沿技术运用,革新系统集成途径,加强生产线的灵活性及自动化水平。文章探讨了多元化... 自动化工业技术不断飞跃,多样化生产线需求日益旺盛,优化生产线,机电制造系统集成是核心技术支撑,已成为推动生产效率攀升、成本削减的核心动力,融合前沿技术运用,革新系统集成途径,加强生产线的灵活性及自动化水平。文章探讨了多元化生产线机电制造系统的综合集成途径,提出了依托尖端技术的综合发展路径,通过实例分析,其效果得到证实。 展开更多

关键词 机电制造 系统集成 多元化生产线 自动化技术 方案设计

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晶盛顺“市”而为填空白

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作者 邱敏秀 《经贸实践》 2013年第1期34-35,共2页

对于我国IC行业而言，2007年是一道分水岭。作为半导体的“心脏”，其基础材料硅单晶此前一直无法实现国产全自动化控制生产。在国内，单晶硅生长炉市场是一片巨大而无可奈何的空白。

关键词 “市” 填空 2007年 自动化控制 IC行业 基础材料 分水岭 半导体

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12英寸硅单晶生长过程中熔液面位置控制方法研究 被引量：2

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作者 朱亮 周旗钢 +3 位作者 戴小林 张果虎 曹建伟 邱敏秀 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1343-1347,1352,共6页

集成电路用12英寸硅单晶生长过程中,为满足晶体生长界面附近温度梯度的要求,需要测量并控制晶体生长过程中硅熔体液面位置。传统的设定坩埚上升速度和激光测距的方法有时不能适应直拉硅单晶生长技术的发展。本文提出并实现了一种采用CC... 集成电路用12英寸硅单晶生长过程中,为满足晶体生长界面附近温度梯度的要求,需要测量并控制晶体生长过程中硅熔体液面位置。传统的设定坩埚上升速度和激光测距的方法有时不能适应直拉硅单晶生长技术的发展。本文提出并实现了一种采用CCD图像捕捉和测量液面位置的方法,结合调节坩埚上升速度来控制液面高度,最终可以满足生长集成电路用12英寸硅单晶的需要。 展开更多

关键词 直拉法 硅单晶 液面位置

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450 kg泡生法蓝宝石晶体成功生长 被引量：3

4

作者 欧阳鹏根 张俊 +3 位作者 宋建军 付春雷 曹建伟 石刚 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2019年第6期990-991,共2页

采用自主研制的泡生法长晶炉,成功生长出全球最大的450kg蓝宝石晶体,可加工形成615mm×415mm大尺寸蓝宝石面板,气泡度达到A级以上。该晶体可产出6000mm长、4inch直径的LED级晶棒,单位毫米成本相比150kg晶体下降45%以上。

关键词 蓝宝石晶体 泡生法 蓝宝石面板 LED

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环形金刚石线锯开方单晶硅棒试验研究 被引量：2

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作者 高红刚 郑丽霞 《工具技术》 北大核心 2021年第6期89-93,共5页

通过环形金刚石线锯开方单晶硅棒试验,分析了影响环形金刚线锯切割能力的因素及其切割硅棒的能力和切割失效机理,结果表明:相同跑线方式下,相比于冷却水流量10L/min工况下,在20L/min时更有利于维持环形金刚石线锯切割能力;在张力100N、... 通过环形金刚石线锯开方单晶硅棒试验,分析了影响环形金刚线锯切割能力的因素及其切割硅棒的能力和切割失效机理,结果表明:相同跑线方式下,相比于冷却水流量10L/min工况下,在20L/min时更有利于维持环形金刚石线锯切割能力;在张力100N、线速度30m/s、进刀速度20mm/min的工况下,环形金刚石线锯总开方深度为2635mm,其失效形式主要为磨粒磨损与镀层磨损。在金刚线切割过程中,受张力以及切割时硅棒的反作用力影响,易导致金刚石磨粒和镀层开裂、磨粒脱落;同时,因导轮处反复折弯换向,钢线出现松散,最终引起环形金刚石线锯韧性断裂;随着切割深度的增加,环形金刚线锯开方后的硅棒表面粗糙度呈现先降后升的趋势,但变化幅度不大,表面粗糙度的数值均小于1μm,表面质量良好。 展开更多

关键词 环形金刚石线锯 单晶硅 切割失效机理 冷却 表面粗糙度

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定拉速生长对Φ300 mm直拉硅单晶生长影响分析 被引量：2

6

作者 高宇 朱亮 +1 位作者 张俊 娄中士 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第5期811-814,823,共5页

作为集成电路制备的衬底材料,对硅单晶的均匀性以及微缺陷的尺寸、密度要求极高。传统直拉法生长硅单晶过程中,通过拉速变化控制晶体直径,因此拉速始终处于波动状态。恒定拉速对晶体均匀性及缺陷密度、尺寸的影响研究较少。本研究实现了... 作为集成电路制备的衬底材料,对硅单晶的均匀性以及微缺陷的尺寸、密度要求极高。传统直拉法生长硅单晶过程中,通过拉速变化控制晶体直径,因此拉速始终处于波动状态。恒定拉速对晶体均匀性及缺陷密度、尺寸的影响研究较少。本研究实现了在35±0.7 mm/h的拉速范围内生长出直径300 mm硅单晶,对晶体片间和片内电阻率分布以及FPD缺陷分布进行了检测,结果显示,在更小拉速波动阶段,晶体的电阻率均匀性得到改善,FPD缺陷密度降低。 展开更多

关键词 硅单晶 直拉法 提拉速度

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减持新规对上市公司董事和高管股权激励效果的影响 被引量：2

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作者 陆晓雯 《财会学习》 2019年第8期215-215,共1页

上市公司的股权激励是上市公司为引进和留住公司人才最常用的一种激励方式,减持新规颁布后对股权激励特别是董事和高级管理人员的激励效果带来了新的影响。

关键词 股权激励 减持新规 激励效果

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单晶炉炉室不同位置的磁导率的研究

8

作者 王巍 孙明 +4 位作者 沈兴潮 周建灿 倪军夫 俞安洲 沈建国 《现代制造技术与装备》 2016年第4期7-9,共3页

本文通过导磁率测量仪,测得不锈钢炉室内外壁和炉盖内外壁的磁导率,发现炉盖磁导率比炉体要高,外壁磁导率比内壁要高,并且在焊接处的磁导率要远高于未焊接处的磁导率。通过对炉体各处磁导率的测量,可以得到炉体对磁场分布的影响,为外加... 本文通过导磁率测量仪,测得不锈钢炉室内外壁和炉盖内外壁的磁导率,发现炉盖磁导率比炉体要高,外壁磁导率比内壁要高,并且在焊接处的磁导率要远高于未焊接处的磁导率。通过对炉体各处磁导率的测量,可以得到炉体对磁场分布的影响,为外加磁场的设计研究提供保证。 展开更多

关键词 单晶炉 磁场 磁导率 焊接

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基于自适应反演的超细金刚线张力控制系统 被引量：7

9

作者 周锋 郑丽霞 +1 位作者 沈烨超 金波 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第24期2995-3000,3007,共7页

针对多线切割机张力控制系统存在库仑摩擦和摆角耦合等较强非线性特征,以及收放卷轮直径变化引起的参数不确定问题,提出了一种基于自适应反演的非线性补偿控制方法。该方法结合实验辨识和自适应参数控制器设计方法分别对多线切割机的多... 针对多线切割机张力控制系统存在库仑摩擦和摆角耦合等较强非线性特征,以及收放卷轮直径变化引起的参数不确定问题,提出了一种基于自适应反演的非线性补偿控制方法。该方法结合实验辨识和自适应参数控制器设计方法分别对多线切割机的多轴电机同步运动控制系统和不确定系统参数进行简化分析和在线估计,使用李雅普诺夫稳定性理论保证了系统全局渐近稳定性以及系统状态的有界性。仿真和实验结果表明,所设计的自适应控制器可以实现多轴同步运动,并将张力摆角控制在较小的范围内,获得更高的张力控制精度。 展开更多

关键词 多线切割机 非线性 自适应控制 多轴同步 张力控制

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液压推进型水下机器人的运动控制方法研究 被引量：5

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作者 田烈余 周锋 +1 位作者 张培豪 陈宗恒 《机电工程》 CAS 北大核心 2018年第7期694-697,共4页

针对液压推进型水下机器人的定向控制问题,对液压推进器的比例滞环、机器人多自由度运动模型、控制器设计等方面进行了研究,提出了液压推进器转速PI控制与ROV定向PID控制相结合的控制方法;在Matlab/Simulink中建立了海马号水下机器人的... 针对液压推进型水下机器人的定向控制问题,对液压推进器的比例滞环、机器人多自由度运动模型、控制器设计等方面进行了研究,提出了液压推进器转速PI控制与ROV定向PID控制相结合的控制方法;在Matlab/Simulink中建立了海马号水下机器人的六自由度动力学模型,并设计了带螺旋桨转速PI闭环的定向控制器;该定向控制器包括控制手柄输入、定向PID控制器、推力分配及合成矩阵、螺旋桨转速PI控制器等,利用仿真试验模型对控制器进行了抗干扰测试。仿真结果表明:所提出的复合PID控制器可显著减小由于液压推进器推力不一致引起的定向角度控制误差,具有比常规PID控制器更好的控制性能。 展开更多

关键词 液压推进器 PID控制 转速闭环 运动控制

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高能喷丸304不锈钢应力腐蚀敏感性试验研究 被引量：4

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作者 黄六一 钟丰平 +3 位作者 王学斌 高红刚 张宏亮 卢志明 《浙江工业大学学报》 CAS 北大核心 2020年第6期670-674,共5页

高能喷丸(HESP)处理具有比普通机械喷丸更高的能量,因此表面强化效果更好。笔者对304不锈钢板状试样进行高能喷丸强化处理,采用X射线洐射(XRD)方法分析了试样表层的金相组织和晶粒大小。对经高能喷丸处理的试样进行了慢应变速率拉伸腐... 高能喷丸(HESP)处理具有比普通机械喷丸更高的能量,因此表面强化效果更好。笔者对304不锈钢板状试样进行高能喷丸强化处理,采用X射线洐射(XRD)方法分析了试样表层的金相组织和晶粒大小。对经高能喷丸处理的试样进行了慢应变速率拉伸腐蚀试验(SSRT),研究了喷丸压力和喷丸时间等工艺参数对304不锈钢应力腐蚀敏感性的影响。结果表明:304不锈钢板试样经高能喷丸处理后,在含氯离子溶液中的抗应力腐蚀开裂性能明显提高,随着喷丸压力增大(或喷丸时间的增加),试样应力腐蚀敏感性指数呈现先减小后增大的变化趋势。 展开更多

关键词 304不锈钢 高能喷丸 X射线衍射 应力腐蚀敏感性

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高频加热线圈台阶对区熔炉磁场的影响 被引量：2

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作者 曹建伟 傅林坚 +6 位作者 沈文杰 朱亮 张俊 石刚 欧阳鹏根 叶欣 邱敏秀 《机电工程》 CAS 2013年第11期1397-1400,共4页

区熔法是生长单晶硅的重要方法之一,针对区熔法生长单晶硅过程因多晶硅熔化表面热量不均匀而出现"冷针"的问题,利用有限元法对生长区熔硅单晶进行了数值模拟。区熔法生长单晶硅采用高频感应加热,高频加热线圈是区熔炉最为关... 区熔法是生长单晶硅的重要方法之一,针对区熔法生长单晶硅过程因多晶硅熔化表面热量不均匀而出现"冷针"的问题,利用有限元法对生长区熔硅单晶进行了数值模拟。区熔法生长单晶硅采用高频感应加热,高频加热线圈是区熔炉最为关键的部件之一,线圈的结构、尺寸直接影响到磁场及焦耳热的分布及熔区形状。基于此,建立了有台阶线圈和无台阶线圈下的两种模型,对比了两种模型下熔区附近磁场分布和焦耳热分布,着重分析了高频加热线圈的台阶对磁场及焦耳热分布的影响。研究结果表明,高频加热线圈的结构会直接影响到熔区附近磁场的分布,进而影响熔区生成的焦耳热分布,线圈台阶可使磁场在熔区附近分布得更均匀,从而有效地解决了"冷针"问题。 展开更多

关键词 区熔法 线圈台阶 数值模拟

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反射环对区熔炉温度场的影响 被引量：1

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作者 傅林坚 曹建伟 +6 位作者 沈文杰 朱亮 张俊 石刚 欧阳鹏根 叶欣 邱敏秀 《机电工程》 CAS 2014年第1期62-66,共5页

针对悬浮区熔法生长较大直径的单晶硅时,单晶硅外部的轴向温度梯度比内部温度梯度大很多,从而导致硅单晶径向电阻率不均匀及生长裂纹的问题。通过有限元法对生长区熔硅单晶的温度场进行了数值模拟,建立了有反射环和无反射环的两种模型,... 针对悬浮区熔法生长较大直径的单晶硅时,单晶硅外部的轴向温度梯度比内部温度梯度大很多,从而导致硅单晶径向电阻率不均匀及生长裂纹的问题。通过有限元法对生长区熔硅单晶的温度场进行了数值模拟,建立了有反射环和无反射环的两种模型,得到了两种模型下的单晶温度分布图,并对比分析了两种模型下的单晶外表面温度分布及纵向温度梯度分布。研究结果表明,反射环可改善温度场分布,降低单晶硅外表面轴向温度梯度,使晶体径向温度趋于一致,提高硅单晶径向电阻率均匀性,并有效解决了生长过程中单晶硅易出现裂纹的问题。 展开更多

关键词 悬浮区熔法 反射环 数值模拟 温度场

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企业的机械设备技术改造与创新探究 被引量：2

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作者 郑丽霞 《中国设备工程》 2021年第18期180-181,共2页

随着社会主义市场经济逐渐趋向于新常态化发展,各领域企业面临的竞争压力逐步增大。为从根本上提升企业实际生产水平,获得最大化经济效益,需着重开展机械设备技术改造与创新工作,借助先进技术设施,推动企业现代化发展进程。本文就针对此... 随着社会主义市场经济逐渐趋向于新常态化发展,各领域企业面临的竞争压力逐步增大。为从根本上提升企业实际生产水平,获得最大化经济效益,需着重开展机械设备技术改造与创新工作,借助先进技术设施,推动企业现代化发展进程。本文就针对此,以机械设备技术改造内涵及重要意义为切入点,提出机械设备技术改造及实际创新方法,以供参考。 展开更多

关键词 企业 机械设备技术改造 创新

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机械制造企业项目管理应用分析 被引量：1

15

作者 郑丽霞 《工程建设与设计》 2020年第11期288-289,共2页

机械制造企业项目管理的应用情况直接影响整个机械制造业的水平,加快机械制造企业项目管理工作模式的普及、推广仍旧任重道远。论文阐述了机械制造企业项目管理工作的内涵与传统管理的差异及应用影响要素,进一步分析了机械制造企业项目... 机械制造企业项目管理的应用情况直接影响整个机械制造业的水平,加快机械制造企业项目管理工作模式的普及、推广仍旧任重道远。论文阐述了机械制造企业项目管理工作的内涵与传统管理的差异及应用影响要素,进一步分析了机械制造企业项目管理应用的情况。 展开更多

关键词 机械制造企业 项目管理 差异 影响 应用

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基于学科视角下企业标准体系与企业运营管理耦合之探索

16

作者 何俊 《首席财务官》 2023年第9期19-21,共3页

本文立足学科视角,深入探究企业标准体系和企业运营管理耦合发展,分析企业标准体系与企业运营管理耦合面临的挑战,依托耦合机理构建出企业集成标准体系,旨在探讨利用企业标准体系与企业运营管理耦合性,助力企业实现经济效益最大化。

关键词 学科视角 企业标准体系 企业运营管理 耦合性

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风险管理在经济管理决策中的应用研究

17

作者 石志良 《中文科技期刊数据库（全文版）经济管理》 2023年第9期51-53,共3页

在当今复杂多变的经济环境中,风险管理在经济管理决策中的应用变得愈发重要。全球化、市场竞争和技术进步等因素带来了众多的风险和不确定性,给企业和组织的经营活动带来了挑战。因此,有效的风险管理成为经济管理决策不可或缺的组成部... 在当今复杂多变的经济环境中,风险管理在经济管理决策中的应用变得愈发重要。全球化、市场竞争和技术进步等因素带来了众多的风险和不确定性,给企业和组织的经营活动带来了挑战。因此,有效的风险管理成为经济管理决策不可或缺的组成部分。风险管理旨在识别、评估和应对各种风险,以保障企业和组织的长期稳定发展。它涉及对市场风险、财务风险、操作风险、法律风险等各个方面进行全面的分析和管理。通过风险管理,企业可以及时应对潜在的风险事件,降低风险对业务的不利影响,并优化资源配置,提高经济效益。 展开更多

关键词 风险管理 经济管理 决策

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05Cr19Ni6Mn4MoCu2N奥氏体不锈钢的焊接工艺

18

作者 谷河 王龙权 《机械制造文摘（焊接分册）》 2022年第4期45-48,共4页

室温下,以铬-锰-镍-氮系奥氏体不锈钢材料05Cr19Ni6Mn4MoCu2N试板为研究对象,采用手工TIG填丝焊接方法、V形对接坡口形式,以ER316L低碳焊丝为焊接材料,并采用小电流、快速焊的工艺施焊;借助万能试验机、光学显微镜等测试设备进行焊接工... 室温下,以铬-锰-镍-氮系奥氏体不锈钢材料05Cr19Ni6Mn4MoCu2N试板为研究对象,采用手工TIG填丝焊接方法、V形对接坡口形式,以ER316L低碳焊丝为焊接材料,并采用小电流、快速焊的工艺施焊;借助万能试验机、光学显微镜等测试设备进行焊接工艺评定试验。结果表明,05Cr19Ni6Mn4MoCu2N焊接接头未见气孔、裂纹、夹杂、过烧等缺陷,质量优良;焊接接头平均抗拉强度690 MPa,优于母材;焊接接头弯曲试验受拉面均未出现裂纹,焊接接头的强度、塑韧性均满足标准要求。故05Cr19Ni6Mn4MoCu2N试板的焊接工艺,为该项目的焊接生产提供技术支持和应用指导。 展开更多

关键词 奥氏体不锈钢 焊接材料 焊接工艺

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300 mm单晶硅生长过程中直径的功率控制方法 被引量：3

19

作者 张俊 林勇刚 +2 位作者 高宇 李阳健 曹建伟 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期687-694,共8页

直拉法硅单晶生长过程微缺陷的形成和长大遵循Voronkov提出的V/G(V是晶体生长速度,G是晶体生长界面的轴向温度梯度)理论。在G由热场设计和液面位置决定的前提下,单晶硅生长过程中晶体提升速度的精确控制是生长无空洞型原生微缺陷大尺寸... 直拉法硅单晶生长过程微缺陷的形成和长大遵循Voronkov提出的V/G(V是晶体生长速度,G是晶体生长界面的轴向温度梯度)理论。在G由热场设计和液面位置决定的前提下,单晶硅生长过程中晶体提升速度的精确控制是生长无空洞型原生微缺陷大尺寸单晶硅的关键。为控制晶体的提升速度处于无原生微缺陷单晶硅生长所需的范围内,同时获得±1 mm的直径控制效果,需要解决复杂的热传递过程导致晶体直径变化相对于功率调节大滞后性的问题。研究了通过调节加热功率控制晶体直径的时滞系统理论模型,提出了模糊比例、积分、微分(PID)控制结合Smith预估控制器的控制策略。结果表明,Smith预估控制器能有效消除系统迟滞对控制器的影响,大幅提高系统的稳定性。同时结合Smith预估控制器,普通PID控制策略和模糊PID控制策略均有较好的控制效果,且模糊PID响应更为快速,系统鲁棒性和抗干扰能力更强。在30 mm·h^(-1)晶体提升速度的条件下,降低晶体内流动图形缺陷(FPD)密度,并实现了直径300 mm单晶硅晶体直径的精确控制,精度达到±1 mm。 展开更多

关键词 直拉法(CZ) 单晶硅 无空洞型原生微缺陷(COP) 直径控制 恒定拉速 加热功率

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