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题名氮化碳超硬防划伤镀膜玻璃的制备与研究
被引量：2
- 1
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作者
徐日宏
张忠义
张振华
王琦
姜宏
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机构
深圳市三鑫精美特玻璃有限公司
海南中航特玻科技有限公司
海南省特种玻璃重点实验室海南大学
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出处
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2017年第11期20-23,共4页
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文摘
采用工业磁控溅射设备在玻璃基板上依次沉积Al_2O_3/SiO_2/CNx多层复合纳米薄膜,并研究测试了其透过率、耐划性及耐酸碱性。结果表明,通过引入线性阳极层离子源,控制并形成新的磁控溅射镀膜工艺,膜层莫氏硬度达到8级,具有优良的防刮效果;膜层存在△T>0.6%的微弱增透效果;经过酸/碱处理,透过率衰减|ΔT|<0.1%。
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关键词
氮化碳薄膜
磁控溅射
超硬膜层
防刮伤
透过率
耐酸耐碱性
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Keywords
CNx film
magnetron sputtering
superhard film
anti- scratch
transmittance
acid and alkali resistance
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分类号
TB43
[一般工业技术]
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题名防蓝光纳米薄膜的磁控溅射制备技术及性能研究
被引量：4
- 2
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作者
张忠义
徐日宏
张振华
王琦
姜宏
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机构
深圳市三鑫精美特玻璃有限公司
海南中航特玻科技有限公司
海南大学海南省特种玻璃重点实验室
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出处
《真空》
CAS
2017年第5期35-38,共4页
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文摘
以稀土材料钬靶,采用中频反应磁控溅射法设计并制备防蓝光多层纳米薄膜,并研究其光学、力学及耐候性等性能。研究表明:膜层对整个蓝光波段反射率达到40%左右,实现蓝光部分阻隔;600~780nm可见光波段透过率高达98%以上,反射率低于1%以下;表面铅笔硬度达到8H,3500次橡皮摩擦无变化;膜层耐候性能优良。
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关键词
磁控溅射
钬靶
防蓝光膜
耐候性
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Keywords
magnetron sputtering
holmium target
anti blue film
weather resistance
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分类号
TB43
[一般工业技术]
O484
[理学—固体物理]
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题名一体化触控技术用ITO薄膜的一次成膜工艺研究
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作者
徐日宏
张忠义
张振华
王琦
姜宏
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机构
深圳市三鑫精美特玻璃有限公司
海南中航特玻科技有限公司
海南省特种玻璃重点实验室
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出处
《真空》
CAS
2017年第4期52-56,共5页
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文摘
通过对立式多箱体连续磁控溅射镀膜生产线的工艺方法和工艺装备的改进,改善现有OGS用ITO低温镀膜技术的各项缺陷,并使手机盖板ITO一次成膜工艺得以确定。研究表明:一次成膜工艺制品的热稳定性优良,在200℃下烘烤20min其方块电阻变化△R<4%;透过率均可达到91%左右,色差值△E<1.1,雾度值亦满足要求;一次成膜的生产工艺合格率达到了92~96%以上,可达量产要求。
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关键词
磁控溅射
ITO薄膜
成膜工艺:一体化触控
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Keywords
Magnetron sputtering
ITO film
Film forming process
One Glass Solution
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分类号
TB43
[一般工业技术]
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题名高透钻面玻璃在线连续镀膜技术研究
- 4
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作者
张忠义
徐日宏
张振华
王琦
姜宏
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机构
深圳市三鑫精美特玻璃有限公司
海南中航特玻科技有限公司
海南省特种玻璃重点实验室
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出处
《材料开发与应用》
CAS
2017年第4期107-112,共6页
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基金
国家重点研发计划项目(2016YFC0700804)
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文摘
使用立式连续直线镀膜生产线,采用真空磁控溅射技术在玻璃表面设计并镀制了Nb2O5/Si O2/Nb2O5/Si O2/CNx多层纳米硬质增透薄膜,并研究其透过率、硬度及理化性能。结果表明:通过引入线性阳极层离子源,控制并形成新的磁控溅射镀膜工艺,钻面玻璃产品的表面硬度达994.8 HV,是普通玻璃的2倍以上;在可见光透过率≥94%,具有一定的增透效果;经过酸/碱/溶剂/热处理后的透过率衰减ΔT<0.1%,理化性能优良。
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关键词
氮化碳薄膜
磁控溅射
高透减反膜
钻面玻璃
超硬膜层
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Keywords
carbon nitride films
magnetmn sputtering
high transmittance antireflection film
diamond-face glass
ultrahard film
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分类号
TB43
[一般工业技术]
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