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射频磁控反应溅射制备TiO_2薄膜 被引量:1
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作者 陈浩 李金泽 +1 位作者 厉以宇 苏晓东 《苏州大学学报(自然科学版)》 CAS 2010年第2期51-55,共5页
研究采用射频磁控溅射的方法在石英玻璃基片上制备TiO2薄膜的最佳工艺条件.薄膜的相组成和微观组织分别采用XRD、SEM和AFM来分析.实验表明:在450℃的基片温度下,使用0.8 Pa的工作气压和20∶2的Ar∶O2流量比可以获得单一锐钛矿相的TiO2薄... 研究采用射频磁控溅射的方法在石英玻璃基片上制备TiO2薄膜的最佳工艺条件.薄膜的相组成和微观组织分别采用XRD、SEM和AFM来分析.实验表明:在450℃的基片温度下,使用0.8 Pa的工作气压和20∶2的Ar∶O2流量比可以获得单一锐钛矿相的TiO2薄膜.紫外光照射分解甲基橙的实验表明具有单一锐钛矿相的TiO2薄膜具有较好的光催化能力,可以有效降解有机分子. 展开更多
关键词 TIO2薄膜 射频磁控溅射 光催化
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La掺杂对TiO_2薄膜性能的影响 被引量:1
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作者 李金泽 黄洁 +2 位作者 陈浩 厉以宇 苏晓东 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期546-549,共4页
用溶胶-凝胶法制备TiO_2以及La掺杂TiO_2的前驱体凝胶,将其均匀旋涂不同层数制备出不同厚度的薄膜,研究了La掺杂对TiO_2薄膜结晶性能、表面形貌、光学特性和亲水性能的影响.结果表明:在500℃可以获得结晶性良好的锐钛矿相TiO_2薄膜;随... 用溶胶-凝胶法制备TiO_2以及La掺杂TiO_2的前驱体凝胶,将其均匀旋涂不同层数制备出不同厚度的薄膜,研究了La掺杂对TiO_2薄膜结晶性能、表面形貌、光学特性和亲水性能的影响.结果表明:在500℃可以获得结晶性良好的锐钛矿相TiO_2薄膜;随着La掺杂量的增加,薄膜中TiO_2晶粒会变大,同时引起紫外可见光谱中吸收边的蓝移.掺La的TiO_2薄膜经紫外照射后其接触角明显高于未掺杂样品,主要原因是到达表面的活性载流子相对减少.一方面,大的TiO_2晶粒使得光生载流子到达光催化表面的路程变长,电子-空穴对的复合几率也随之变大;另一方面,未完全替代Ti的La可能成为光生电子-空穴对的复合中心.因此,通过La的掺杂可以有效调节TiO_2晶粒尺寸和光致接触角. 展开更多
关键词 无机非金属材料 溶胶-凝胶法 TIO2薄膜 LA掺杂 接触角
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