-
题名大束流离子注入机能量污染的研究
被引量：1
- 1
-
-
作者
陈林
刘晓芝
-
机构
电子部第四十八研究所
长沙大学物理系
-
出处
《半导体情报》
1998年第4期52-55,共4页
-
文摘
能够精确控制离子注入的能量从而控制掺杂的深度是离子注入机的重要特征。本文讨论了大束流离子注入机能量污染，产生的原因及降低能量污染的方法。
-
关键词
大束流
离子注入机
能量污染
半导体器件
-
Keywords
Large beam ion implanter Energy contamination
-
分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名三维图像处理及应用研究
- 2
-
-
作者
陈林
刘晓芝
-
机构
电子部第四十八研究所
长沙大学物理系
-
出处
《传感器世界》
1998年第2期33-36,共4页
-
文摘
本文描述视觉传感器的三维图像处理方法及结果,简述了其应用前景.
-
关键词
三维图像
图像处理
视觉传感器
传感器
-
Keywords
3-Dimage,image progress,3-Dvision sensor
-
分类号
TP391.41
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名极谱催化波在硅酸盐岩石分析中的应用概况
被引量：1
- 3
-
-
作者
王修林
-
机构
电子部第四十八研究所
-
出处
《冶金分析》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期35-38,34,共5页
-
文摘
概述了我国８０年代以来，极谱催化波在硅酸盐岩石分析中的实际应用。引用文献４１篇。
-
关键词
硅酸盐岩石
极谱催化波
-
Keywords
Catalyti polarographic wave,Silicate rock
-
分类号
P578.94
[天文地球—矿物学]
P575.4
[天文地球—矿物学]
-
-
题名用于强流离子注入机的磁分析器电源设计
被引量：1
- 4
-
-
作者
孙雪平
-
机构
电子部第四十八研究所
-
出处
《微细加工技术》
1997年第4期19-24,共6页
-
文摘
本文简要介绍了该电源的指标及电路．并详细论述了提高电源稳定度和可靠性的方法和措施，最后给出了测试结果和运行情况。
-
关键词
强流离子注入机
磁分析器
电源
微电子技术
-
Keywords
high-current ion implanter
analyzer power supply
stability
reliability
-
分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
TN86
[电子电信—信息与通信工程]
-
-
题名束流纹波对全机械扫描离子注入机重复性的影响
- 5
-
-
作者
陈林
-
机构
电子部第四十八研究所
-
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期52-54,共3页
-
文摘
分析了束流纹波系数对全机械扫描强流离子注入机重复性的影响，并进行了定量的计算。计算结果表明，要使注入重复性达到小于或等于１％，束流纹波必须稳定在１０％以内。该结果已在ＬＣ－１１型强流离子注入机中得到了验证。
-
关键词
离子注入机
重复性
半导体器件
制造设备
-
Keywords
High current ion implanter Reproducibility
-
分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名多回路智能温控仪的研制
- 6
-
-
作者
高伟平
龙娟
-
机构
中南工业大学
电子部第四十八研究所计算机中心
-
出处
《计算技术与自动化》
1999年第3期15-17,共3页
-
文摘
本文介绍了以单片机为核心的多回路智能温控仪的研制。主要包括系统的总体结构，硬件设计、软件设计及可靠性设计，该温控仪在调试过程中获得了满意的结果。
-
关键词
智能温控仪
温度测控
可靠性
-
分类号
TH811
[机械工程—精密仪器及机械]
-
-
题名可编程控制器在强流离子注入机真空系统中的应用
- 7
-
-
作者
沈雨
-
机构
电子部第四十八研究所
-
出处
《电子器件》
CAS
1997年第1期482-487,共6页
-
文摘
本文介绍了以可编程控制器SYSMAC-C200H为核心的真空控制系统,描述了控制系统的要求、组成及系统软件、硬件的设计思想和故障指示.
-
关键词
可编程控制器
强流离子注入机
真空系统
-
Keywords
Programmable Controller, High Current Ion Implanter, Vaccum System
-
分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
TN105
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名TK—65型特种油扩散泵
- 8
-
-
作者
龚汩清
林曼印
尹秋琴
-
机构
电子部第四十八研究所
-
出处
《微细加工技术》
1993年第1期61-67,共7页
-
文摘
本文简要介绍了TK—65型特种油扩散泵的研制背景、指标、结构和特点,着重报导了该泵的测试结果及其分析。
-
关键词
彩象显象管
排气
油扩散泵
-
Keywords
diffusion pump
structrue
pumping speed
-
分类号
TN141.320
[电子电信—物理电子学]
-
