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T46X型硒镓银单晶炉的研制 被引量：1
1
作者 高利强 王建春 楚波 《电子工业专用设备》 2005年第3期28-30,45,共4页
介绍了TDR-46X型单晶炉的设计思路及工作原理,结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。
关键词 单晶炉 结构 BS法 炉室上升
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