高校微机电系统加工实验室的管理与运行 被引量：2

1

作者 王胜强 李冬玲 +1 位作者 尚正国 贺学锋 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2010年第11期16-20,24,共6页

微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验... 微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍,同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索。 展开更多

关键词 微电子机械系统 超净间 管理

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数字微镜光谱仪的互补S编码矩阵的设计及实验 被引量：3

2

作者 张智海 高玲肖 +2 位作者 郭媛君 王伟 莫祥霞 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期3429-3432,共4页

数字微镜光谱仪在应用中编码矩阵的选取至关重要。最佳的理论编码矩阵H矩阵存在非循环、编码复杂、双光路系统实现困难的问题而得不到广泛应用;而最佳实用S矩阵较H矩阵信噪比提高优势略逊。为此本文针对数字微镜光谱仪设计了一种互补S... 数字微镜光谱仪在应用中编码矩阵的选取至关重要。最佳的理论编码矩阵H矩阵存在非循环、编码复杂、双光路系统实现困难的问题而得不到广泛应用;而最佳实用S矩阵较H矩阵信噪比提高优势略逊。为此本文针对数字微镜光谱仪设计了一种互补S编码矩阵,介绍了其构造、实现过程以及对杂散光和暗电流噪声的削弱作用,通过对其噪声改善程度理论的分析,说明该算法结合了H矩阵与S矩阵的优点,达到了理论与实用的双优。经实验验证,该算法较S矩阵编码模板信噪比提高了2.05倍。 展开更多

关键词 数字微镜光谱仪 互补S矩阵 噪声分析 信噪比

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嵌入式多参数微小型水质监测系统的设计 被引量：7

3

作者 廖海洋 杜宇 温志渝 《电子技术应用》 北大核心 2011年第1期35-37,41,共4页

结合嵌入式技术和GPRS无线网络技术,提出一种新型多参数微小型水质监测系统。采用ARM9处理器S3C2440A作为主控制器,控制单片机工作﹑采集光谱数据和GPRS数据传输。单片机作为辅助控制器,对7种水质参数指标实时测量。采用触摸屏作为人机... 结合嵌入式技术和GPRS无线网络技术,提出一种新型多参数微小型水质监测系统。采用ARM9处理器S3C2440A作为主控制器,控制单片机工作﹑采集光谱数据和GPRS数据传输。单片机作为辅助控制器,对7种水质参数指标实时测量。采用触摸屏作为人机交互工具。 展开更多

关键词 多参数 微小型化 嵌入式技术 GPRS

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数字微镜光谱仪光谱能量理论的研究与实验 被引量：3

4

作者 张智海 高玲肖 张文凯 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第8期2532-2537,共6页

针对目前微型光谱仪器光通量低,不利于微弱信号检测分析的问题,设计了基于哈达玛变换的近红外光谱仪,提出一种互补S矩阵编码调制的方案;通过建立以数字微镜为核心的坐标体系模型,详细推导了互补S矩阵编码调制算法对于能量的增强理论。... 针对目前微型光谱仪器光通量低,不利于微弱信号检测分析的问题,设计了基于哈达玛变换的近红外光谱仪,提出一种互补S矩阵编码调制的方案;通过建立以数字微镜为核心的坐标体系模型,详细推导了互补S矩阵编码调制算法对于能量的增强理论。实验结果表明:S矩阵编码组合测量较逐次扫描测量光能量有了明显增强,但是依然丢失近一半的光谱能量;而互补S矩阵编码方案可以在S矩阵编码调制的基础上,补偿其关状态微镜单元上损失的能量;当光谱信号极其微弱时,逐次扫描方式所测得的光谱信号淹没于噪声信号中,而S矩阵编码与互补S矩阵编码测得的光谱信号依然可辨,并且在噪声抑制方面,互补S矩阵优于S矩阵,与理论分析基本吻合。 展开更多

关键词 数字微镜光谱仪 互补S矩阵 微弱信号处理 能量理论

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微流控细胞芯片LED诱导透射式荧光检测微系统 被引量：15

5

作者 顾雯雯 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2159-2165,共7页

构建了用于微流控细胞分析芯片的发光二极管(LED)诱导透射式荧光检测微系统,以克服现有荧光检测系统体积大、能耗高,以及激发光光路、检测区域和荧光收集光路间光学耦合效率低等问题。该系统的激发光光路和荧光收集光路互成135°,LE... 构建了用于微流控细胞分析芯片的发光二极管(LED)诱导透射式荧光检测微系统,以克服现有荧光检测系统体积大、能耗高,以及激发光光路、检测区域和荧光收集光路间光学耦合效率低等问题。该系统的激发光光路和荧光收集光路互成135°,LED发出的激发光经透镜聚焦和激发光滤色片滤光后,经直径为200μm的小孔光阑限束,然后投射到微流控芯片通道末端的检测区域;产生的荧光及杂散光经加工后置于微流控芯片底部的发射光高通干涉滤色薄膜后,被光电倍增管收集。以HepG2肝癌细胞为测试样本对该荧光检测微系统的有效性进行了评测,结果显示:当LED工作电流为200mA,PMT控制电压为3.5V时,可产生与背景噪声明显区分的峰值信号;用250s观测时间得到了8个平均峰高为0.7V的峰值信号,与荧光显微镜观察结果一致,实现了细胞的在线计数检测功能。提出的系统为新型微全细胞分析提供了一种新的技术途径。 展开更多

关键词 荧光检测 发光二极管(LED) 透射式光路 微流控芯片 细胞计数检测

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MOEMS微镜面阵光谱仪的优化设计与实验 被引量：1

6

作者 莫祥霞 温志渝 +1 位作者 张智海 郭媛君 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期3412-3416,共5页

MOEMS(micro optical electronic mechanical system)微镜面阵光谱仪主要利用微镜面阵分时选通实现单个探测器光谱测量,具有无需斩波器实现脉冲信号输出,无需机械模板实现哈达吗调制,象元分辨率高,体积小,成本低等优点。针对MOEMS微镜... MOEMS(micro optical electronic mechanical system)微镜面阵光谱仪主要利用微镜面阵分时选通实现单个探测器光谱测量,具有无需斩波器实现脉冲信号输出,无需机械模板实现哈达吗调制,象元分辨率高,体积小,成本低等优点。针对MOEMS微镜面阵光谱仪设计中,狭缝尺寸与光通量之间的矛盾,本文系统深入的分析该光谱仪微型结构引入的新影响因素,获取最优值,实现光谱分辨率改进。首先,提出了衍射限制,空间采样率和谱面内弯曲对分辨率的影响,模拟仿真,获取最优参数。最后,搭建实验,进行测试。结果表明:微型光谱仪中,谱面内弯曲影响较小;衍射受限导致光谱分辨率无法进一步改善;空间采样率要求光谱光学分辨力至少是象元分辨力的两倍;综合评价的狭缝最优值为1.818μm,象元分辨力为2.278 6nm。 展开更多

关键词 分辨率 微镜 光谱仪 MOEMS

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基于MEMS技术的三维氧化钌微电极准电容特性

7

作者 文春明 温志渝 +1 位作者 尤政 王晓峰 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2013年第1期74-78,共5页

为增强电极在单位底面积上的电荷储存能力,设计利用MEMS技术制作高深宽比三维微电极结构,以增大电极结构表面积,并在结构表面制作功能膜形成电极.以硅为基底,SU-8光刻胶为材料制作了三维微电极结构,在结构表面溅射金作为集流体,用两电... 为增强电极在单位底面积上的电荷储存能力,设计利用MEMS技术制作高深宽比三维微电极结构,以增大电极结构表面积,并在结构表面制作功能膜形成电极.以硅为基底,SU-8光刻胶为材料制作了三维微电极结构,在结构表面溅射金作为集流体,用两电极体系进行方波脉冲电沉积,在三维微电极结构表面沉积氧化钌作为活性物质,制备了三维微电极.用扫描电镜和能谱对微电极表面形貌和物质组成进行表征,用循环伏安法等对微电极的电化学特性进行测试,三维微电极的比容量达0.79 F/cm2. 展开更多

关键词 MEMS 三维微电极 氧化钌 SU-8光刻胶 超级电容器

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用于FAIMS系统的微电流检测电路 被引量：5

8

作者 闫书江 唐飞 +2 位作者 王晓浩 王帆 杨涛 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2011年第8期711-715,共5页

为解决电容积分式电流检测法不能满足FAIMS快速测量要求的问题,设计了一种用于FAIMS系统的微电流检测电路。该设计运用I/V电阻反馈法对信号进行放大。通过屏蔽和滤波等设计,有效地降低了FAMIS系统对检测电路的高频电磁干扰。考虑到前端... 为解决电容积分式电流检测法不能满足FAIMS快速测量要求的问题,设计了一种用于FAIMS系统的微电流检测电路。该设计运用I/V电阻反馈法对信号进行放大。通过屏蔽和滤波等设计,有效地降低了FAMIS系统对检测电路的高频电磁干扰。考虑到前端电路的噪声来源,采用合理的元器件和电路设计,运用两级放大将FAIMS系统中的pA级电流放大并转换到mV量级。通过采集卡,利用LabVIEW对测得的电流信号进行采集和数据处理。实验结果表明,该电路的测量精度优于0.1 pA,采样频率高于15 Hz。进行了FAIMS系统实验,测得系统输出的背景噪声为0.2 pA。以乙醇为实验样品,在载气(N2)流量为0.8 L/min的情况下,得到了乙醇的FAIMS谱图,证明了该微电流检测电路可用于FAIMS系统。 展开更多

关键词 FAIMS 微电流检测 电阻反馈法 放大电路 LABVIEW

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基于MOEMS扫描微镜的近红外光谱仪分光系统结构 被引量：2

9

作者 罗彪 温志渝 +2 位作者 温中泉 陈李 钱蓉蓉 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期3154-3157,共4页

针对近红外光谱仪由于红外CCD导致的红外光谱仪高成本问题,提出用MOEMS微镜阵列进行光路结构改进,并且解决了红外光谱仪成像像斑不规则从而难以采用MOEMS微镜阵列进行光谱扫描的问题,设计了一种新的分光成像结构。该结构基于全息凹面光... 针对近红外光谱仪由于红外CCD导致的红外光谱仪高成本问题,提出用MOEMS微镜阵列进行光路结构改进,并且解决了红外光谱仪成像像斑不规则从而难以采用MOEMS微镜阵列进行光谱扫描的问题,设计了一种新的分光成像结构。该结构基于全息凹面光栅理论来规则光谱成像的像斑,采用光学设计软件ZEMAX和针对特定像差评判标准的优化算法,按照像斑规则化的要求设计并优化了光路结构。该光路结构中的平场全息凹面光栅工作波长范围为900～1 400nm。对设计结果分析表明:在宽度为50μm缝光源情况下,分光系统的理论分辨率优于6nm,像斑的可用尺寸约为0.042mm×0.08mm。验证实例表明,该设计满足了像斑规则化的要求,可以使用MOEMS微镜进行光谱反射扫描,验证了新型实用化MOEMS微镜阵列光谱仪模型的可行性,在最后对探测器所处位置与微镜最大偏转角的关系进行了分析。 展开更多

关键词 近红外光谱仪 平场凹面光栅 像散 ZEMAX 微镜

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MOEMS扫描微镜的测试实验与分析 被引量：1

10

作者 罗彪 温志渝 +2 位作者 陈李 钱蓉蓉 梁玉前 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2012年第4期307-312,共6页

针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角度、驱动电压、谐振频率和传感器输出参数的测试.并且为了提高数据的可靠性,利用几何光学理论和误差理论... 针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角度、驱动电压、谐振频率和传感器输出参数的测试.并且为了提高数据的可靠性,利用几何光学理论和误差理论的方法对该测试系统进行了详细分析,以此作为测试的系统误差与测试随机误差进行了误差合成.误差分析表明,该微镜在驱动电压为0.7 V时,最大偏转角为±8.704 15°,测试误差为±0.045 605°.此外,还对测试过程中扫描微镜谐响应频率随扫描模式及扫描电压而变化的现象进行了分析. 展开更多

关键词 MOEMS 微镜 角度传感器 误差分析 测试

原文传递

声表面波器件测量牙种植体微扭矩的三维有限元仿真

11

作者 李伟 王光宗 +2 位作者 杨峰 梁玉前 汪昆 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1713-1718,共6页

为了利用微扭矩准确、非破坏性地测量牙种植体的稳定性,采用三维有限元分析方法研究了声表面波器件(SAW)检测牙种植体稳定性的可行性。首先,在梯度剪切应力场下建立了SAW器件的谐振频率和扭矩之间的理论模型。然后,利用ANSYS有限元软件... 为了利用微扭矩准确、非破坏性地测量牙种植体的稳定性,采用三维有限元分析方法研究了声表面波器件(SAW)检测牙种植体稳定性的可行性。首先,在梯度剪切应力场下建立了SAW器件的谐振频率和扭矩之间的理论模型。然后,利用ANSYS有限元软件对梯度剪切应力场下SAW器件的谐振频率变化情况进行谐振响应分析。最后,对比分析了理论模型和仿真得到的数据。分析结果表明:SAW器件谐振频率的变化量与最大剪切应力呈线性关系,但两者之间存在3%的误差;种植体的微扭矩与SAW器件的谐振频率呈线性关系。因此,在理论上能够利用SAW器件测量种植体的微扭矩,从而实现对种植体稳定性的检测。 展开更多

关键词 声表面波器件 牙种植体 扭矩测量 ANSYS 谐振频率

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基于紫外光谱分析的水质监测技术研究进展 被引量：36

12

作者 曾甜玲 温志渝 +2 位作者 温中泉 张中卫 魏康林 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期1098-1103,共6页

基于紫外光谱分析的水质监测技术具有实时在线、无试剂、无需样品预处理、无二次污染、体积小、成本低等特点,在对饮用水、地表水、工业废水等水体的在线监测中具有显著优势,已成为现代水质监测技术的一个重要发展方向。本文介绍了基于... 基于紫外光谱分析的水质监测技术具有实时在线、无试剂、无需样品预处理、无二次污染、体积小、成本低等特点,在对饮用水、地表水、工业废水等水体的在线监测中具有显著优势,已成为现代水质监测技术的一个重要发展方向。本文介绍了基于紫外光谱分析的现代水质监测技术的原理、特点、现状及发展的新趋势,并提出亟待解决的关键技术问题。 展开更多

关键词 紫外光谱分析 水质监测 微型光谱仪 多参数

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微型近红外光纤光谱仪用于奶粉中蛋白质脂肪的定量检测研究 被引量：16

13

作者 张中卫 温志渝 +2 位作者 曾甜玲 魏康林 梁玉前 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1796-1800,共5页

提出利用微型近红外光谱仪、结合Y型光纤探头,在900～1 700nm范围内对奶粉中蛋白质、脂肪含量进行快速、无损检测的漫反射光谱检测方法。基于Unscrambler 9.7化学计量学软件,选择合适的光谱波段,通过PLS算法分别建立了蛋白质、脂肪的校... 提出利用微型近红外光谱仪、结合Y型光纤探头,在900～1 700nm范围内对奶粉中蛋白质、脂肪含量进行快速、无损检测的漫反射光谱检测方法。基于Unscrambler 9.7化学计量学软件,选择合适的光谱波段,通过PLS算法分别建立了蛋白质、脂肪的校正模型,得到蛋白质、脂肪校正模型的决定系数R2分别为0.987和0.986,均方根误差RMSC分别为0.385和0.419。利用所建模型对预测样本数据集进行预测验证,得到蛋白质的标准差SEPProtein=0.768、脂肪的标准差SEPFat=1.109,表明所建模型具有较高的预测能力,已基本达到实用化要求。 展开更多

关键词 近红外光谱 NIR 光纤光谱仪 奶粉 偏最小二乘法

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微型MOEMS阿达玛变换近红外光谱仪 被引量：11

14

作者 张智海 莫祥霞 +1 位作者 郭媛君 王伟 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1975-1979,共5页

提出一种运用微光机电系统（micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS）闪耀光栅,动态产生阿达玛变换模版的微型近红外光谱仪。它具有体积小、价格低、扫描速度快等突出优点。分析了这种新型近红外光谱仪的结构和工作原理,通过对MO... 提出一种运用微光机电系统（micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS）闪耀光栅,动态产生阿达玛变换模版的微型近红外光谱仪。它具有体积小、价格低、扫描速度快等突出优点。分析了这种新型近红外光谱仪的结构和工作原理,通过对MOEMS闪耀光栅编程,动态生成了63阶阿达玛模版。实验得到的光谱波形与岛津光谱仪测量结果吻合。检测波长范围为900-1 500 nm,分辨率为19 nm,单次扫描时间2.4s,信噪比为44.67∶1,光路尺寸为70 mm×130 mm,总体重量〈1 kg,符合实时、便携的要求。 展开更多

关键词 近红外光谱仪 阿达玛变换 微光机电系统 闪耀光栅

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硅基微型超级电容器三维微电极结构制备 被引量：6

15

作者 文春明 温志渝 +3 位作者 尤政 王晓峰 李东玲 尚正国 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第5期42-45,59,共5页

为增大硅基微型超级电容器电极结构表面积,以提高电极的电荷存储能力,采用感应耦合离子刻蚀(ICP)技术制备了超级电容器三维微电极结构,研究了刻蚀、钝化气体流量和射频功率及电极电压等工艺参数对所制电极结构的影响。要取得较理想的结... 为增大硅基微型超级电容器电极结构表面积,以提高电极的电荷存储能力,采用感应耦合离子刻蚀(ICP)技术制备了超级电容器三维微电极结构,研究了刻蚀、钝化气体流量和射频功率及电极电压等工艺参数对所制电极结构的影响。要取得较理想的结果,须根据刻蚀的一般规律和所用设备的具体特点,结合实际要求来确定工艺参数。在掩膜宽度为25μm时,所制三维电极结构表面规则平整,比二维电极结构表面积增大8.38倍。 展开更多

关键词 超级电容器 三维微结构 硅 MEMS 电极

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库区水质在线监测数据采集控制系统设计 被引量：9

16

作者 李宇航 廖海洋 +1 位作者 温志渝 杜宇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第2期61-63,共3页

库区水质在线监测系统是一种能对水中的铬、铅、A表面活性剂、化学耗氧量(COD)、氨氮、总磷、挥发酚等参数进行在线检测的集成化仪器装置。阐述了水质在线监测系统的系统组成和总体结构。以C52单片机为核心进行系统控制电路的设计,实现... 库区水质在线监测系统是一种能对水中的铬、铅、A表面活性剂、化学耗氧量(COD)、氨氮、总磷、挥发酚等参数进行在线检测的集成化仪器装置。阐述了水质在线监测系统的系统组成和总体结构。以C52单片机为核心进行系统控制电路的设计,实现对数据采集部分各功能模块的控制,并与系统核心板进行通信。阐述了控制程序设计。通过实验测试,数据采集控制系统达到了预期的性能指标要求。 展开更多

关键词 水质监测 数据采集 控制电路 三峡库区

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基于量子级联激光器的气体检测系统的发展与应用 被引量：9

17

作者 温志渝 王玲芳 陈刚 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期2043-2048,共6页

量子级联激光器(QCLs)的快速、灵敏和选择性气体检测等独特优点,使其成为2.5～25μm波长范围内中红外气体检测的理想光源。中红外QCLs在气体检测方面的应用已成为世界各国的研究焦点。尤其是在大气环境监测、太空探索和反恐防恐等领域... 量子级联激光器(QCLs)的快速、灵敏和选择性气体检测等独特优点,使其成为2.5～25μm波长范围内中红外气体检测的理想光源。中红外QCLs在气体检测方面的应用已成为世界各国的研究焦点。尤其是在大气环境监测、太空探索和反恐防恐等领域的应用表现出了其他红外检测系统无可比拟的优势。该文重点介绍了基于量子级联激光器的气体检测系统工作原理、应用及发展趋势。 展开更多

关键词 量子级联激光器 气体检测 光谱分析系统

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钝体绕流的分隔板控制技术研究进展 被引量：9

18

作者 张力 丁林 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2011年第4期391-399,共9页

钝体是工程中一种常见结构,流体绕过钝体时产生的旋涡脱落易诱发结构振动,进而导致结构破坏.钝体后安装分隔板是一种典型的被动控制技术,分隔板推迟钝体尾流区剪切层之间的相互作用,进而有效改变钝体后旋涡脱落及尾迹特性,延长结构寿命... 钝体是工程中一种常见结构,流体绕过钝体时产生的旋涡脱落易诱发结构振动,进而导致结构破坏.钝体后安装分隔板是一种典型的被动控制技术,分隔板推迟钝体尾流区剪切层之间的相互作用,进而有效改变钝体后旋涡脱落及尾迹特性,延长结构寿命,并且可以利用钝体-分隔板结构进行能量收集.本文全面回顾了利用分隔板进行流动控制和能量收集的研究及应用现状,分析了分隔板长度及分隔板与钝体的距离对钝体受力情况和旋涡脱落频率的影响,比较了各种不同形状的钝体在安装分隔板后的受力和尾迹特性,并指出利用钝体-分隔板结构设计能量收集系统是扩展清洁能源开发利用的一个研究重点. 展开更多

关键词 分隔板 钝体 旋涡脱落 流动控制 能量收集

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柔性梁颤振机理在压电式微型风能收集器设计中的应用 被引量：9

19

作者 赵兴强 温志渝 《重庆大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期145-150,共6页

提出了基于颤振机理的微型风能收集器,采用颤振的柔性梁牵引锆钛酸铅(PZT)压电梁发生振动。通过风洞实验研究了柔性梁颤振发生的过程,发现颤振发生在切入临界风速与切出临界风速之间。分析了柔性梁的长和宽对器件性能的影响,发现随柔性... 提出了基于颤振机理的微型风能收集器,采用颤振的柔性梁牵引锆钛酸铅(PZT)压电梁发生振动。通过风洞实验研究了柔性梁颤振发生的过程,发现颤振发生在切入临界风速与切出临界风速之间。分析了柔性梁的长和宽对器件性能的影响,发现随柔性梁长度增加,收集器的临界风速、颤振频率、输出电压和功率等性能都减小;随着宽度增加,临界风速基本不变,而颤振频率、输出电压和功率都增加。微型风能收集器的最低临界风速为6.4m/s,最大输出功率为1.30mW。结果表明柔性梁结构降低了PZT梁的切入临界风速,提高了输出功率,证实了基于柔性梁颤振结构的微型风致振动能量收集器的可行性。 展开更多

关键词 颤振 风致振动 柔性梁 压电换能器 收集器

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脉冲式DFB中红外量子级联激光器的气体检测系统(英文) 被引量：5

20

作者 王玲芳 温志渝 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第11期2147-2152,共6页

采用了脉冲式中红外分布反馈（DFB）量子级联激光器（QCL），其可调工作波长范围为1248-1257cm^-1。在2．6cmq的可调光谱范围内，通过每个温度下的硫化氢光谱来描述QCL系统的温度调谐特性。利用所采集的标准具信号来校准频率，解析信号... 采用了脉冲式中红外分布反馈（DFB）量子级联激光器（QCL），其可调工作波长范围为1248-1257cm^-1。在2．6cmq的可调光谱范围内，通过每个温度下的硫化氢光谱来描述QCL系统的温度调谐特性。利用所采集的标准具信号来校准频率，解析信号特性可得出系统的分辨率。采用直接光谱吸收技术，并结合系统中多反腔所提供的长达20m的光程，基于QCL的气体检测系统对甲烷（cH4）气体进行检测，得出高分辨率的中红外波段甲烷光谱，并和基于标准数据库HITRAN的模拟结果进行了比较，得出较好的印证结果，并为空气中有毒有害气体的检测奠定良好基础。 展开更多

关键词 气体传感 系统特性 量子级联激光器

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