期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

《Journal of Microelectronic Manufacturing》

导出
作品数66被引量6H指数1
《Journal of Microelectronic Manufacturing》 查看全部目录封面
主要发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果，涵盖仿真建模、工艺、设计、量测、封装、材料、设备等全学术研究领域，期刊已被DOAJ、CrossRef、CAS、中国知网、维普等国...查看详情>>
  • 主办单位中国科学院微电子研究所
  • 国际标准连续出版物号2578-3769
  • 出版周期季刊

期刊信息

  • 主管单位中国科学院
  • 主办单位中国科学院微电子研究所
  • 总编/主编叶甜春
  • 地址北京市朝阳区北土城西路3号
  • 邮政编码100029
  • 电话010-82995779
  • 电子邮件jomm@jommpublish.org
  • 单价0
  • 定价0

期刊简介

主要发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果，涵盖仿真建模、工艺、设计、量测、封装、材料、设备等全学术研究领域，期刊已被DOAJ、CrossRef、CAS、中国知网、维普等国内外主流数据库收录。

收录情况

  • 瑞典·开放获取期刊指南
使用帮助 返回顶部